Способ определения степени шероховатости поверхности

Оп ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(43) Опубликовано 15,0 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий(088.8) 5) Дата бликования описания 1. ф. Берковская, Я, П. Бернштейн, С. Б, Гуревич, . М. Купиманина, Л. А. Луизова и Б. Г. Подпаскин 2) Авторы иэобрете Ордена Ленина физико-технический институим. А, ф. Иоффе(71) Заявитель ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТЕПЕНИ РОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ(54 Основныма является условленная ботки сформ димостью ис пользования задержки и степени шероховатости сти вна ерх Пи.лвгаемый спос рферограмму Я участков ается тем, сти раздеверхц преобр учвстк то и взуют оптиа интерфероческий сигяют н еский игнап е ч Предпагвемое изобретение относится к области автоматики и вычислительной техники и может быть испопьзовано дпя автоматического определения степени шероховатости поверхности по ее интерферограмме, получаемой, например, в интерференционных микроскопах.Известны способы анапиза степени шэроховатости, основанные на преобразовании геометрического рельефа поверхности сначала в пространственное распределение интенсивности светового потока, отраженного о т анапизи руем ой поверхности, а затемм во временную последовательность электрических сигнапов и анализе этих сигнал ов 1Нвиб опее близким и о техцическ ому решению к дацггому является способ, соглаоцо которому степень шероховатости поверхнэсти опредепяют путем формирования ицтерферэграммы поверхности в результате сравнения ее с этвпоцной и преэбразования оптического сигнала, содержашегося ца ицтерферэгрвмме, в электрический сит цвп .1. достатком данного спосокая скорость анализа,ложностью логической оброввнных сигналов и необзапоминания сигналов. Цепь изобретения - повышение скьграммы поверхности в эп ктринап и подученные эпектри еские сигналы суммируют.Устройство для определения степени шерохэввтости поверхности по данному способу сэдержит бпок оптическог о восп роизведения интерферограммы, мцогсстрочный сквнистор с Ц вытянутыми ф топриемцыми ппошадк ми, бцок, эбеспечи ваюший эпектрическэе гк цги овацие вдэп строк многострочногокацпстора, и внапизатор видеосигцвцов, Прц этом фото615506 Составитель В. ВерховскийРедактор Л. Жаворонкова Техред А, Алвтырев Корректор Н, Тупица Заказ 3912/40 Тираж 826 П однисно ПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по дел.1 м изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рвушскля нвбд. )/5,гГгчувствитепьные строки ориентированы перпендикулярно интерференционным полосам.Входы анализатора соединены порознь с Кстроками фотоприемника. К контактам параппельно подключен источник постоянного напряжения, создающий равномерное 5распределение потенциала в высокоомномслое, выполняющем роль делителя напряжения источника. Линии равного потенциала рвспопагаются в высокоомном споепараплельно электрическим шинам от величины/2 до+ (2. Последовательнос источником постоянного напряжения ис р-И -р структурой включен источникком мутируюшего пипообразного напряжения,изменяющий свою амппитуду эа время ком .мутации ото: /2 до-Е (2,По мере измененйя пилообразного нап;ряжения граница нулевого потенциала,возникающего между р слоями параллельно шинам, продвигается вдоль структурымногострочного сквнистора, увеличиваяпо мере роста плошадь фотодиода, включенного в цепь пилообразного напряжения,При этом ток в этой цепи увеличиваетсяв соответствии с распределением освещенности вдоль строк сканистора, т.е, образуются видеосигналы. Пусть на фотоприемник спроектирована интерференционнаякартина, соответствующая мвпой шероховатости поверхности. Зв время 1" нв Й Зошинах формируются видеосигналы с )хстрок сканистора, совпадвюшие во времени. Затем осуществляется перемножениеН видеосигнапов. и интегрирование завремя ф 1 . В этом спучае коэффициенткорреляции сигнала с М строкС 1 фК = - :3.Х Свах 7 гав си)ф 11)йп 1;1)Й)Т величина этого интеграла, соответсь вующая случаю идеального совпадения .видеосигналов. 45В случае неидевльности интерференционной картины видеосигналы с Й строк не совпадают по времени и нв выходе стройствв получимстахК = сК с(сС прх 2Таким образом, вепичинв коэффициента корреляции показывает степень сходства интерференционной картины от шеро ховвтой поверхности с,идеальной и тем самым позволяет определить степень шерохова тости п оверхн ости. По предлагаемому способу классификации 20 образцов по четйрем классам осуществлялась 20 мин, причем основное время затрачивалось на установку образца. Сам анализ одного образца занимал 100 мксек. Этот способ не требует использования ЭВМ ипи бопьших систем памяти и логической обработки видеосигнала. ф ормулв из обре тення Способ определения степени шероховатости поверхности путем формирования интерферограммы поверхности и преобразования ее оптического сигнала в электрический сигнал, о т л и ч а ю ш н йс я тем, что, с целью повышения скорости анализа, интерферогрвмму поверхности разделяют на Н участков, .преобразуют оптический сигнал каждого участка интерферограммы поверхности в электрический сигнал и полученные электрические сигналы суммируют. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССРИо 434617, кл. Н 04 Й 5/30, 14.03.72.2. Бурдонский Н, В. и др. Обработкаоптических интерферогрвмм на ЭВМ.