Способ осаждения покрытий из паровой фазы

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Сощизписткчески м Республик/02 руцг.,;.ц 3 цгэцрв6 ииг Мили ИЮяс гц 1 с(51 ., ю П,нкбвЯ;0 75 сч;) Лата пи бликова 621,7 (088 ня описания г 2,78) АБТОРЬ И 306 ЕТбийй Костенков, Г.А.Домрачев, Б.В.Жук и В,Я.Крашениннико филиалРСКОГОня и Хн Н ау ч н О- и с сл ед ОВ а т ел ь с к О ГИНСТИТУТа ХИМИЧЕСКОГОстнтут химии АП СССР Дзержинский 1 констрУКТО машиностроен 1) чаявит=л": ИЯ ПОКРЫтийФАВБ(54) СПОСОБ ОСАЖД ИЗ ПАРОВОтение относПОКРЫТИЙ Иастности кложения неу раэложеодуктыостаткииз эонытемпераасти овой к об о-га ласти еойчивых атуры и верхней здается мируютс вдоль очее венения мепоступает ется до евышаюцей уемого ра- -20 С ни 6 его раэпускают нагретого ьной темпе" шихся панаконец,трого ох-100 С и продук" авших особесоростиать рав 2 Иобре 1Я Л нанесения з пар э Фазы, В ч об рмического раз ст унт. еи ческих соедиений.1 звестен Спосб осаждения покрытий из ггаровой фазы путем пропуска- ния житХОГО металлоорганическо;о осе динення Вдоль пОкрываемОЙ пОВерхности изделия, нагретого до температуры; ггревьт 2 ающей температуру: тер.:1- ческого разложения рабочего. Вещества При этом жидкость ЙОцают самотеком вдоль поверхности осаждения на расстоянии, обеспечивающем нагревание и испарение раэлагаемого соединения под Воздействием теплоиэлучения нагретого изделия, а также созгание паровой Фазы на всем протяжении .по- крываемОГО изделия.Огнако известный способ не печивает достаточно ВысОкОЙ ск осаждения и не позволяет получ номерных покрытий,С целью повышения производигельности процесса и получения равномерности покрытий исходный металлоорганический состав непосредственно г.еред введением его В зону Осаждения нагревают до температуры на. 10-20 фС ниже минимальнои температуры ния образующихся паров, а пр реакции и 1 депрореагировавшие рабочего Вещества на выходе осаждения резко осаждают до туры на "0-100 дС ниже темпер конденсации. При этом между и нижней зонами осаждения со температурный градиент и Фор ьысокоскоростные потоки пара пОВерхнОсти Осаждения. Согласно изобретению раб щество в виде жидкого соеди талла или неметалла сначала В зону нагрева, где нагрева температуры, значительно пр температуру кипения использ бочего соединения, но на 10 же минимальной температуры ложения, после чего его про вдоль поверхности образца, до температуры Выше минимал ратуры разложения образовав ров рабочего соединения, и, оно проходит через зону быс лаждения с температурой на ниже температуры кОнденсаци тов распада и непрореагиров татков вещества,Температурный градиент между зоной испарения и зоной конденсации, направленный вдоль покрываемой подложки, обуславливает возникновение высокоскоростного потока паров в том же направлении и градиента давления, спо" собствующих обильной подаче паров рабочего вещества в зону реакции и тем саьым повышению скорости осаждения покрытия и его равномерности. Процесс ведут при давлении в системе Ю 100" 10 ми рт.ст.Нагрев зоны испарения осуществляют резистнвным нагревателем, наГреВ Образца - инфракрасным излучателем или индукционным методом, Возможно 16 применение других методов нагрева. Охлаждение зоны конДенсации мОжет быть осуществлено с помощью жидкого азотау сухого льданли водой. Для покрытия изделий, имеющих узкие отверстия, мо- Э 3 жет быть оьзван Осаждение В режиме самопроизвольного остывйния на гретого образца. После окончания процесса осаждения поток рабочего веще" ства перекрывается, температура во щ всех зонах Выравнивается и в камеру напускается инертный газ.П р н м е р 1. Поток бис-зтилбензолхрома последовательно пропускают через зону испарения, нагретую до 150 С, ВДоль поверхности поДложки из меди, стали или стекла, нагретой до температуры 400 С, и через зону кон" денсации, температура которой 70"С. Получены блестящие пленки хрома тол 35 щиной 10-1000 мкм при скорости осаждения 50 мкммин, неравномерность толщины по длине изделия в два диаметраменее 10, содержание углерода в осадке составляет 2.П р и м е р 2. Поток триизобутилалюминия последовательно пропускаютчерез зону испарения, нагретую до130 фС, вдоль поверхности подложки,нагретой до 320 фС, и через зону конденсации, температура которой 180"С.Получены белые с матовым блескомпленки алюминия толщиной 100-500 мкмпри скорости осаждения 50 мкм/мин,содержание углерода в осадке ие превьпаает 0,5 Ъ,Все зто повиаает производительностьпроцесса в 2,5-5 раз и равномерностьпокрытий В 2 разаеФормула изобретенияСпособ осаждения покрытий из паровой Фазы путем провуекания жидкогометаллооргаиического соединения вдольповерхности изделиянагретого до температуры, превышающей температуру егоразложенияу .О т ли ч а ю щ и,й с ятем, что, с целЬю повышения произво"дительности процесса и обеспеченияравномерности покрытий, металлоорганнческое соединение перед подачей кизделию нагревают до температуры на10-20 фС ниже температуры его разложения, а продукты реакции и непрореагировавшие остатки охлаждают дотемпературы на 50-100 С ниже температуры их конденсации, Составитель А,РычаговРедакто Е.Полионова Тех е 3, Фанта ко енто С,ПатрушеваЫ 2 Д 1- - 22 - И.лк,1 з 1 48/22 Тираж 1177 Подписное ЦНИИИИ Государственнсго комитета Совета Министров СССР по депам изобретений и открытий 113035 Москва ЖРа шская наб. . 4/5 Филиал ИИИ Патент, г, ужгород, ул. Проектная, 4