Способ изготовления кварцевых резонаторов

ОПИСАННЫЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Со 1 оз Советских Социалистических Республик2) Заявлено 31,12.74 ( присоелинением зая Гаайдаратввнный наынтвтСаввта Министров СССРао авлаы иаобрвтвнийи атнрытнй 3) Приоритет(45) Дата опубликоВания описания 1).0178 2) Авторы изобретени В.И. Дюжиков, Л.А. Любимов, Н.Г. Васини Н.М. Литинская Чурси 1) Заявит(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНА -ТОРОВ 2 Изобретение относится к электронной технике и может быть использованопри изготовлении кварцевых резонаторов.Известен способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шли-.фовке, ультразвуковой химической очистке, прокалке, сортировке по чистоте имягком травлении кварцевых кристаллических элементов)11.Однако использование этого способадля неполированных кварцевых элементов приводит к получению резонаторов.и монолитных Фильтров с неидентичнымиэлектрическими параметрами и низкойстабильностью по частоте,Цель изобретения - повышение воспроизводимости электрических параметрови улучшение стабильности частоты,Для этого в способе изготовлениякварцевых резонаторов после прокладкикварцевые кристаллические элементыподвергают глубокому химико-динамическому травлению в интенсивном травителе, например насыщенном растворе биФторида аммония. При этом кварцевымкристаллическим элементам сообщаюткруговое поступательное движение соскоростью от 0,05 до 0,2 м/сек. Глубокое химико-динамическое травлениейроводят вначале при повышенной температуре от +75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий трем величинам высоты микронеровностей их поверхности, а затем - при температуре от +20 до +30 С; стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей.Технология способа состоит в следующем.Производят ориентировку кварцевых кристаллических элементов, затем пред варительную механическую обработку (резку, грубое шлифование). После окончательного алмазно-абразивного шлиФования кварцевых кристаллических элементов, ультразвуковой химической очистки и прокалки кварцевые кристаллические элементы подвергают дополнительному глубокому травлению с переменным уровнем травления, сообщая в процессе травления круговое поступательное движение в плоскости, параллельной главным поверхностям элементов со скоростью 0,05-0,20 м/с.Травле ние осуществляется в интенсивном травителе например в насыщенном растворе бифторида аммония, в два этапа: при температуре 75 - 85 С стравливает587601 Формула изобретения Составитель Е. ПогибловТехред З.Фанта Корректор СШекмар Редактор А. Мурадян г Тираж 1085 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ 151/45 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 ся слой кварца толщиной, равной трем велйчинам высоты микронеровностей шлифованной поверхности кристаллического элемента (первый этап травления), при температуре 20-30 С стравливаетсяФслой кварца толщиной, равной двум величинам высоты микронеровностей шлифованной поверхности кристаллического элемента (второй этап травления),На первом этапе травления шброхо ватость поверхности не изменяется. Температура раствора на втором этапе травления снижается, с целью исключения раста и уменьшения микро" неровностей поверхности кристалличес- ц ких элементов. Движение кристаллов в травителе в указанном выше режиме по" эволяет сохранить геометрическую форму главных поверхностей шлифованного элемента в процессе глубокого травленияеПосле этого производят дискретную сортировку по частоте, завершающее параллельное мягкое травление, вжиганиесеребросодержашей пасты, сборку и монтаж основйого элемента резонатора в держатель, вакуумную термообработку, нанесение электродов, герметизацию, вакуумировайие и окончательное измерение параметров готового резонатора.30Предлагаемый способ позволяет значительно сократить-время обработки кристалла и уменьшить трудоемкость подготовительных,работ (скорость удаления кварца, О,З мкм/мин, т.е. почтина порядок выше, чем при известном способе) . 1. Способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шлифовке, ультразвуковой химической очистке, прокалке,сортировке по чистоте и мягком травлении кварцевых кристаллически элементов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения воспроизвс димости электрических параметров и улучшения стабильности частоты, после прокалки кварцевые кристаллические элементы подвергают глубокому химико- динамическому травлению в интенсивном травителе, например насыщенном растворе бифторида аммония, при этом кварцевым кристаллическим элементам сообщают круговое поступательное движение со скоростью от 0,05 до 0,2 м/с.2. Способ изготовления кварцевых резонаторов по п, 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что глубокое химика- динамическое травление производят вначале при повышенной температуре от +75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий трем величинам высоты микронеровностей их поверхности, а затем - при температуре от +20 до +30 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР9 462272, КИф К ОЗ,Н 3/02, 1972.