Диэлектрический состав для межслойной изоляции

щ 574776 Сени Соеетскик Социалистических Республикрпсоединенпем заявки Государственныи комитет овета Министров СССР(23) ПриоритетОпубликовано 30,09.77, Бюллетень3 УДК 621 315(08 изобретенийкрытий по лев публикования описания 03.1) Заявител ого соможет толсто- альных ие касается диэлектриче мекслойной изоляции ьзовано при изготовлени больших гибридных интеИзоорететава дляыть исполленочныххем.Известенлойной изоледующего диэлектрическийляции, включающсостава, вес. %:т 02102РЬ 2 меж- емент оставий стек 20 - 38 2 - 20 0 - 15 0 - 5 21 - 42 4 12 5 1 - 25 0 - 20 0 - 5 0 - 5 0 - 5 0 -добав 8% эти а 1, остава ции та атора кого ст ляют инерт лцеллюлозь К ную и 92 Нту затем ржащую ого масл анного с е изоля е конден основе та 25 является то, кого стекло- и термостой- еклоцемента чтоцемекостнедо 16 - 240,05 - 0,30,03 0,2 РЬОВаОЬгОСс 10А 1,0 зХпОг 02Яп 02Та 20 зЬ 20 зстеклоцеменсвязку, соде4) ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СОСТАВ ДЛЯ МЕЖСЛОИН ИЗОЛЯЦИИИзвестен также стеклокристаллический состав 2 для изоляции интегральных сем, содержащий РЬО, ХПО, 5102, Т 102, в следующем соотношении, вес. %:РЬО 35 - 50%02 25 - 40ХпО 15 - 25Т 02 3 - 5Термостойкость такого состава тоже недостаточна, а растекаемость паст, приготовленных на его основе, превышает норму.Прототипом изобретения является диэлектрический состав 3 для межслойной изоляции, включающий 50 - 95 вес. % ситаллоцемента и 5 - 50 вес. % окиси алюминия.Недостатком этого диэлектрического состава являются неудовлетворительные электрофизические свойства пзготавляемых на его основе паст.Целью изобретения является улучшение электрофизических свойств диэлектрического состава для межслойной изоляцин.Поставленная цель достигается тем, что известный диэлектрический состав содержит в качестве наполнителя окись кремния, окись марганца и окись хрома при следующем соотношении компонентов, вес, %;Окись алюминияОкись кремнияОкись марганца574776 178 26,610 - 4013 17,9 10 15 20 25 1,2 30 35 40 3,6 Окись хрома 0,1 - О,ЗСиталлоцемент ОстальноеП р и м е р 1. Приготовляли диэлектрическую композицию, содержащую ситаллоцементследующего состава, вес. %: РЬО 44,5, ЫгО29,5, ХпО 18,5; ТЮ, 4,0; А 1 гОз 2,5 в количестве75 вес, %, окиси алюминия марки ГК а-формы в количестве 20 вес, % и наполнителя в виде порошка следующего состава,вес. %: А 1 гОз 95; 5 Юг 2,2; МпО 2,14; СггОз0,47 в количестве 5 вес. %: Полученные наоснове этого материала пасты и пленки имели следующие свойства:Вязкость паст, мм 1 8,0Температура вжигания, С 750Растекаемость, мкм 18Удельная емкость при толщинеслоя 50 - 60 мкм, пф/см 180дб(при =1 МГц 1=20 С) 24,0 10 -Сопротивление изоляции, ом 1 013Электрическая прочность, кв/мм 13,6Л 1 дб (при 1 = 1 МГц) после длительного воздействия влаги 5,8(98% относительной влажности,1=40 С, 30 сут)Л 1 дб после термоциклирования 1,4(Е=125 С, г= - 60 С, 5 цикловпо 30 мин)Л 1 ф после двенадцати термообработок(при 1=750 С),П р и и е р 2. На основе предлагаемой диэлектрической композиции, содержащей ситаллоцемент, состав которого указан в примере 1, в количестве 70 вес. %, окиси алюминия марки ГКя-формы 29 вес. % и 1 вес. %наполнитсля в виде порошка следующего состава, вес, %: А 1,0 з 90; 510 г 2,0; МпО 2,5;Сг,О, 0,27, получены пленки и пасты со следующими свойствами;Вязкость паст, мм 20Температура вжигания, С 750Растекаемость паст, мкм 19,5Удельная емкость (при толщине50 - 60 мкм), пф/см 1901 ф (при )= 1 МГц, 1 = 20 С) 29,5 10 - 4Сопротивление изоляции, ом03Электрическая прочность, кв/мм 14,51 дб после длительного воздействия влаги(1=125 С, 1 г= - 60 С, 5 цикловпо 30 мин)1 дб после 12 термообработокпри 1=750 С 2,3Пример 3.На основе предлагаемой диэлектрическойхомпозиции, содержащей 80 вес. % ситаллоцемента состава, вес. %: РЬО 44,5; ЬОг 29,5;УпО 18,5; Т 10 г 4,0; А 1 гОз 2,5; и 15 вес. % окиси алюминия марки ГКа-формы и 5 вес. %наполнителя в виде порошка состава, вес. %; 4А 1 гОз 90; 810 г 3:, МпО 3; СггО, 0,6 полученыпасты и диэлектрические пленки со следующими свойствами:Вязкость паст, мм 18,5Температура вжигания, С 750Растекаемость, мкм 19Удельная емкость (при толщине50 - 60 мкм), пф/см1 дб (при 1=1 МГц, =20 С)Сопротивление изоляции, омЭлектрическая прочность, кв/ммЛ(дб после длительного воздей.ствия влаги 5,7(при 1=750 С).11 редлагаемый диэлектрический материалдля межслойной изоляции имеет следующиеэлектрофизические свойства:Вязкость паст, мм 18 - 21Удельная емкость (при толщине 50 - 60 мкм) пф/ом 178 - 1901 дб (при 1=1 Мгц, 1=20 С) 24 - 30 10 -Л 1 ф (при 1=1 МГц) последлительного воздействиявлаги (98% относительнойвлажности, 1=40 С,30 сут) 3,6 - 5,8Л 1 дб после термоциклирования (11=125 С, 1 г=бОС,5 циклов до 30 мин) 1,2 - 4,4Л 1 ф после 12 термообработок при 1=750 С 1,2 - 2,5Сопротивление изоляции, ом) 10" Формула изобретения 1, Диэлектрический состав для межслойной изоляции, включающий ситалло цемент и окись алюминия в качестве наполнителя, 45 отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических свойств, он содержит дополнительно в качестве наполнителя окись кремния, окись марганца и окись хрома при следующем соотношении компонентов, 50 ввес,%:Окись алюминияОкись кремнияОкись марганцаОкись хрома55 Ситаллоцемент Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3656984, кл. 106-53, 1972. 2. Авторское свидетельство СССР372187,кл, С ОЗС 3/00, 1971. 3. Авторское свидетельство СССР 41075,кл. С ОЗС 3/00, 1972,