Способ испытаний тонкопленочных конденсаторов

УО ева СоветскаОвравиетич вски Республик АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ)М.Клз 6 Государственный комите Совета Министров ССС(53) УДК 537,226(088.8) 7, Бюллете Опубликовано 30 Дата опубликов елам изобретении и открытий, Ерохин, Д. А, Ерохин и А. ф, Слюнявчико 71) Заявител ОБ ИСПЫТАНИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ(54 в п из Изобретение относи- ся к технологии производства радиоэлементов и может быть использовано при производстве тонкопленочных конденсаторов ( П 1 К).Известен способ испытаний конденсаторов, 5 при котором конденсаторы подвергаются воздействию повышенного импульсного напряжения, амплитудой близкой к пробивной, а длительностью импульса, уменьшенной до нескольких микросекунд. 1 10Однако существующий способ не приемлем для испытаний ТПК, которые имеют малые толщины диэлектрика и обкладок, а, следовательно, и низкие пробивные напряжения. Наличие дефектов в такой структуре при подаче 15 высокого напряжения вызывает образование распространяющегося пробоя, приводящего к выгоранию части диэлектрика и обкладок конденсатора.Наиболее близким техническим решением к 20 изобретению можно считать способ испытания материалов, заключающийся в том, что на обкладки конденсаторов подают последовательность импульсов возрастающего напряжения, 2 2Недостатком этого способа является то, чтороцессе испытания происходит разрушениеоляции путем пробоя.Целью изобретения является улучшение качества и увеличение срока службы конденса торов. Поставленная цель достигается тем, что на конденсатор подают линейно возрастающее напряжение до возникновения микропробоя, а по окончании микропробоя вновь подают напряжение до амплитуды, соответствующей следующему микропробою, указанные операции повторяют до получения амплитуды, соответствующей двойному рабочему напряжению и одновременно проводят регистрацию количества микропробоев, по которому судят о качестве конденсаторов.Предлагаемый опособ испытаний поясняется чертежом, на котором дан график испытательного напряжения как функции времени, где Я - количество микропробоев, / - амплитуда испытательнаго напряжения, Т - время, т - время достижения амплитуды испытательного напряжения равного 2 (/рав, т время выдержки конденсатора при удвоенном рабочем напряжении, Т,= 1 + т - общее время проведения испытания, 1, 2, 3 и -- 1 п - число происшедших микропробоев, Ь 1 С з С 3С р амплитуда напряжения на конденсаторе, при котором происходит первый микропробой, второй микропробой и так далее до и-го микропробоя.Как видно из графика, в момент возникновения микропробоя испытательное напряжение сбрасывается с нуля, в результате чего ограничивается мощность, выделяемая в локальной области микропробоя, что предотвра570854 0 (исп (,гор Ьг 5 Составитель С. Ерохин Техред А. Степанова Корректор Е. Хмелева Редактор Н. Коляда Заказ 1931/19 Изд, М 688 Тираж 1109 Подписное ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 щает возникновение новых дефектных мест в объеме диэлектрика,Величина времени 1 определяется количеством микропробоев, вызванных плохим качеством изготовления конденсаторов. В случае большого количества микропробоев, вызванного низким качеством, время может значительно возрасти, поэтому число микропробоев ограничивается максимальным числом ЛГмакс 5 к, определяемым заранее для данной площади конденсатора 5. При этом общее время испытаний Ти,п будет лежать в пределах: где 1 - время, в течение которого происходитЛмакс 5 к микропробоев,После достижения а = Умакс 5 к испытаниепрекращается и конденсатор отбраковывается.Величина максимального количества микропробоев для конденсатора данной площади5, определяется из зависимости, которую вобщем виде можно выразить:М,5, = Г (5 Рт,л 1,где Рт - вероятность безотказной работылконденсатора в течение срокаслужбы.Предлагаемый способ позволяет повыситьэффективность испытания за счет более полного выявления недоброкачественных конденсаторов, а также повысить надежность работы и увеличить срок службы конденсаторов за счет устранения имеющихся в объеме диэлектрика дефектов, Все это, вместе взятое, позволяет повысить надежность радиоэлектронной аппаратуры, в состав котрой входят тонкопленочные конденсаторы. Фор мул а изобретения10Способ испытаний тонкопленочных конденсаторов, заключающийся в том, что на обкладки конденсаторов подают последовательность импульсов возрастающего напряжения,15 отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности испытаний, подают линейно возрастающее напряжение до возникновения микропробоя, а по окончании микропробоя вновь подают напряжение до ампли 20 туды, соответствующей следующему микропробою, указанные операции повторяют дополучения амплитуды, соответствующей двойному рабочему напряжению и одновременнопроводят регистрацию количества микропро 25 боев, по которому судят о качестве конденсаторов.Источники информации, принятыево внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР112133,30 кл, 6 01 К 31/12, 1960,2. Авторское свидетельство СССР156245,кл. .т 01 К 31/12, 1962.