Устройство для дозирования

Номер патента: 552513

Авторы: Гришин, Морозов, Новичков

ZIP архив

Текст

(5 л, С 01 Г 11 киисоединени 3) Приоритет Государстееннье кемитеСовета Министров СССР(53) УДК 66,028(088 но 30.03,77. Бюллетеньикования описания 15.04.77 публико ата опу пв делам иавбветвн н открытий) Заявител ИРОВАНИЯ 4) УСТРОЙСТВО Д форсунки, капля по слой фоторезистора данной операции.Цель изобретения надежности дозиров ся к области дозиро уктов и может бы водстве полупро егральных схем. ие устройства, сод ь с магистралями сти, а также доз и элементами.изобретению явл ее герметичную р ль подачи рабочег ва ть вод ение относитвязких продо при произборов и инты дозирующдную емкостия и жидкос заторнымее близкимо, содержащть, магистра овышение точности ния ержа- пода- ируюЭто достигается тем, что магистральчи давления выполнена в виде введеннверхнюю воздушную полость расходной10 сти патрубка с отогнутым вверх своботорцом, над которым в крышке расходнокости выполнено большего диаметрастие с запорным клапаном, связаннымпрограммное устройство с дозирующим15 паном выхода. подаого в емкодным й ем- отверчерезклается ход дав Для такого устройства характерны отсутствие всасывания остатков жидкости на выходе и невысокая надежность.Известно также устройство для дозирования фоторезистора, состоящее из герметичной расходной емкости с крышкой и входным штуцером, дозирующего пневматического клапана, форсунки. Оно управляется программным устройством. Фоторезистор заливается в расходную емкость и все время находится под определенным давлением воздуха, поступающего через входной штуцер. При открывании дозирующего клапана фоторезистор подается из расходной емкости через форсунку на полупроводниковую пластинку, Далее идет процесс центрифугирования,После дозирования на конце форсунки остается капля фоторезистора. Отрываясь от На чертеже показана схема устроиства для дозирования.Устройство для дозирования состоит из расходной емкости 1, дозирующего клапана 2, форсунки 3, крышки расходной емкости 4, входного патрубка 5, запирающего клапана 6.Устройство работает следующим образом.В расходной емкости 1, заполненной фото- резистором, постоянно поддерживается давление Р, очищенного технологического газа, например азота, поступающего через патрубок 5, при этом отверстие 7 в крышке 4 перекрыто запирающим клапаном 6, а отверстие форсунки 3 закрыто дозирующим клапаном 2. 25 Изобрет жидких и пользован ковых при Извести щие расхо чи давлен щий узел Наибол устройств ную емкос ления.дает на уже нанесенный и приводит к браку на552513 Составитель Б. Херсонскехред А, Камыгиникова рректор Л. Брахи Редактор С. Заика ПодписноСССР Тираж 899комитета Совета Министрбретепий и открытий-35, Раушская паб., д. 4/5 Типографии, пр. Сапунова,3При подаче воздуха под давлением Р в дозирующий клапан 2 открывается отверстие форсунки 3, и фоторезистор под действием давления газа Р, поступает через форсунку, По окончании процесса дозирования запирающий клапан 6 срабатывает и открывает отверстие 7. Технологический газ через патрубок 5 и отверстие 7 поступает в атмосферу, при этом за счет эжекции газа создается разряжение в расходной емкости 1, подача фото- резистора прекращается, оставшаяся капля 8 фоторезистора втягивается через форсунку в расходную емкость. После этого последовательно закрываются дозирующий клапан 2 и запирающий клапан 6 и в расходной емкости создается избыточное давление Рь аказ 689/24 Изд. М 304 4 НИИПИ Государственного по делам изо 113035, Москва, КФормула изобретения Устройство для дозирования, содержащеегерметичную расходную емкость, магистраль 5 подачи рабочего давления, дозирующий клапан и форсунку, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности, магистраль подачи давления выполнена в виде введенного в верхнюю воздушную полость 10 расходной емкости патрубка с отогнутымвверх свободным торцом, над которым в крышке расходной емкости установлен запорный клапан, связанный через программное устройство с дозирующим клапаном выхода, 15 причем проходное отверстие запорного клапа.на выполнено с диаметром большим, чем диаметр выходного отверстия патрубка.

Смотреть

Заявка

2120028, 04.04.1975

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5594

НОВИЧКОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, МОРОЗОВ ВИКТОР ВЛАДИМИРОВИЧ, ГРИШИН ЛЕВ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01F 11/28

Метки: дозирования

Опубликовано: 30.03.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-552513-ustrojjstvo-dlya-dozirovaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для дозирования</a>

Похожие патенты