Состав для шлифования полупроводниковых структур
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(61) Дополн 1 ггельное к авт, свид-ву 21) 2139649,125 2. аявлено 0присосди ием заявки М Гасударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийн открытий(23) Приорит бликовано 30.01,77. Бюллетень М 4 53) УДК 621.382(088.8) Дата опубликования описания 11.02.7. Пинчук и В. М. Рюмши 71) Заявите 54) СОСТАВ ДЛЯ ШЛИФОВАНИ ЛУПРОВОДН ИКОВЫХ СТРУКТ 2 кую скорость шлифов я вать Врез 1 сцс.1, иоэтомм во фовка.Цель изобретения - и снижение элсктриче контакта.Поставленная цель дост состав введен глицерин пр ношении компонентов в вес.Абразивньш порошок М ГлицеринВода цо регулироца псрешлир.моя пов СКО циение прочности о сопротивления гает1 СЛЕог .о тем, чтощем со 20 - 30 20 - 40Остальное иковые пластины осле операций дифеси, термического и, диффузии доцорютолитографии подй обработке в вод%):ч 0 - 40 П р и м е р. Полупровод 5 гг - типа проводимости пфузии акцепторцой прим окисления, фотолитографи ной примеси и финишной г вергают гидромеханическо О ной суспензии состава (весГлицеринАоразивный порошок М Вода 20 - 30стальное оораоогкц сузукту 1 ы отмь в а ц 11 с и он и ации методо Послековые стзвуковойметаллизвора,ценз вают олупроводццдной ультраца операцию 1 я из растгеи и в во пают ждец с.ту оса Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, преимущественно при получении контактных покрытий на многослойных полупроводниковых структурах со сложным рельефом.Известен травитель для обработки поверхности полупроводниковой структуры перед операцией нанесения контактов, содержащий насыщенный раствор бихромата калия в плавиковой кислоте и травитель, содержащий натриевую и калиевую щелочь.К недостаткам известного травителя относится следующее.Раствор бихромата калия в плавиковой кислоте воздействует на поверхность кремния и на разделительные окисные слои, он также полирует поверхность полупроводника, ограничивая предельную толщину осаждаемого покрытия,Обработка в смеси натриевой и калиевой щелочей (тактике как и предыдущий трави- тель) снижает концентрацию легирующих примесей в приконтактной области и полирует поверхность структуры.Наиболее близким техническим решение.;1 является состав для шлифования полупроводниковых структур со слокиым рельефом, например, окисцым, содержащий аоразивный порошок и воду. Однако состав требует постоянного иеремешивания, кроме того, высо(51) М. Кл.з Н 011. 2130545017 Формула изобретеиия 10 Составитель Е. Бычков Тскрсд Е. Петрова Корректор Л, Денискина Редактор Н, Коляда Заказ 112/13 Изд. Ьо 67 Тира)к 1019 Подписное Ц.1 ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР но делят нзоб)рстсни и с гкрп)тий 13035, Москва, Ж, 1 яугискяя иаб., д 4,5Тиногр)фия, пр. Сапунова, 2 Рсализацп 51 прсдг 10 жсииОГО спосооа поз 130- лп 0013 ысиг 1 ироцсит 3 ыкода, иадежиость и циклос гойкость иолупроводниковык приборов, снизить прямое иадеиис иаиряжсиия и тепловое сопротивлеиис. Состав для шлифования полупроводииковыкструктур со сложиым рельефом, иапример окиси ык, Содержа 010 Й ОбразивиыЙ 130130 и)ок и ВОДМ, О 1 Г И и Ь Го 0 И И С 5 СМ, 1 О, С ЦСГЬ 10 И- 130 исипя п 130 ч 1 Ости и сижсии 51 злскт)исско- ГО сопротивлсии 51 коитакГа, в СОста 13 Ввсдси глицерин при следуОгци соотпошевияк инградиситов в вес. %:
СмотретьЗаявка
2139649, 02.06.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6517
ПИНЧУК ЯКОВ МОИСЕЕВИЧ, РЮМШИН ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/302
Метки: полупроводниковых, состав, структур, шлифования
Опубликовано: 30.01.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-545017-sostav-dlya-shlifovaniya-poluprovodnikovykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для шлифования полупроводниковых структур</a>
Состав для удаления жиромасляных загрязнений с поверхности текстильных изделий
Номер патента: 411187
Опубликовано: 15.01.1974
Авторы: Изобретени, Кириллова, Мельникова
Метки: жиромасляных, загрязнений, поверхности, состав, текстильных, удаления
...кислоты.0 Важно, что содержание частиц во введенном в состав трепеле в зависимости от их величины составляет:Частицы, величиной1 - 70 мк Не менее 90%1 астицы, величинойменее 1 мк Не более 10%.Состав имеет вид твердого порошка и готовится путем пропитки измельченного трепела эмульсией, содержащей остальные компо ненты состава,Заказ 1816/1 Изд.1367 Тираж 506 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 Состав удаляет за 10 - 30 мин как свежие, так и застарелые жиромасляные загрязнения с текстильных изделий на основе различных волокон. На обработку 1 см поверхности расходуется около 3 г порошка.П р и м ер, На образцы ткани нз...
Устройство для визуализации магнитного рельефа на поверхности объекта
Номер патента: 634185
Опубликовано: 25.11.1978
Авторы: Довгялло, Кравцов, Перепелкин
МПК: G01N 27/84
Метки: визуализации, магнитного, объекта, поверхности, рельефа
...магиичувствительный порошок, расположенный натой части, и оптикоэлектронный индикаторэаимодействующий с этим порошком 2. обретения является пов особности устройства. о камера выполнена в вс электропроводной ди е, обхватывающего эту й фокусировки, люмин роводного покрьпий на есте с диафрагмой вкл4масштабе, определяемом конструкцией и режимом возбуждения узла магнитной фокусировки.Посредством этого узла получают увеличен. ные иэображения распределения порошка, что обеспечивает повышение разрешающей способ. ности устройства. Формула из об рет ения Устройство для визуализации магнитного рельефа на поверхности объекта, содержащее камеру, контактируемая с объектом часть ко. торой выполнена немагнитной, магннточувстви. тельный...
Устройство для визуализации магнитного рельефа на поверхности объекта
Номер патента: 787979
Опубликовано: 15.12.1980
Авторы: Довгялло, Кожаринов, Перепелкин
МПК: G01N 27/84
Метки: визуализации, магнитного, объекта, поверхности, рельефа
...представлена схема устройства.Устройство для визуализации магнитного рельефа на поверхности объек" тасодержит вакуумную колбу 1, на днище которой нанесено люминисцентное покрытие 2 и контактирующее с ним электропроводное покрытие 3, на горловине колбы размещена диафрагма 4, выполненная из немагнитного металла, на которой с внутренней стороны нанесен магнитный порошок 5, узел 6 магнитной Фокусировки и ультразвуковой излучатель 7. При контроле колба 1 устанавливается на объект 8, прн этом диафрагма 4 плотно с ним койтактирует, а излучатель .7 размещается на поверхности объекта, для достижения оптимального эффекта - под диафрагмой.Устройство работает следующим образом.Под действием магнитного поля объекта в соответствии с имеющимися...
Датчик для контроля анизотропных сред со сложным рельефом поверхности
Номер патента: 1688209
Опубликовано: 30.10.1991
Авторы: Серебренников, Твердоступ, Хандецкий
МПК: G01R 33/02
Метки: анизотропных, датчик, поверхности, рельефом, сложным, сред
...вследствие впадины рельефа происходит удлинение Ферритового стержня, одновременно в отверстие шайбы,1 входит все большая доля утолщенной части стержня, при этом зазор между шайбой и стержнем уменьшается и результирующее магнитное сопротивление Кц остается неизменным. При вталкиваниистержня выпуклостью рельефа в отверстие шайбы входит утонченная часть стержня и увелицивающийся зазор компенсирует уменьшение В.ц от укорочения стержня,Если в начальном положении один боковой Ферритовый стернень своим рабочим торцом лежит на оси Х, а другой - на оси У (см.фиг.2), то приповороте датчика вокруг своей оси егоиндуктивность будет изменяться, прицем это изменение достигает максимального значения при угле поворота= 7 /12, Дальнейший поворот...
Состав для удаления жиромасляных загрязнений с поверхности текстильных изделий
Номер патента: 404912
Опубликовано: 01.01.1973
Метки: жиромасляных, загрязнений, поверхности, состав, текстильных, удаления
...используемым в ка честве пятнозыводителей,Известен состав для удаления жиромасляных загрязнений с поверхности текстильных изделий, содержащой силикатный адсорбент, перхлорэтилен и этанол нлн циклогексанон. Известный состав предназначен для использования в качестве усилителя химической чистки текстильных изделай.В качестве адсорбента г, этом составе иснользован кнзельгур, получаемый промышлен ным путем н обладающий отосительно невысокой адсорбционной способностью. Известный состав таким образом недостаточно эф фективно удаляет жиромасляные пятна с поверхности текстильных изделий. Известно, что многие используемые в хикической чистке,природные минеральные адсорбенты обладают недостаточной адсорбционной способностью и требуют...
Предыдущий патент: Способ обнаружения примесей в газонаполнителе газонаполненных разрядников
Следующий патент: Многозондовая измерительная головка
Случайный патент: Способ получения водорастворимыхгалогенидов кобальтициния илиего гомологов