Ультразвуковой способ измерения толщины пленки

О П И С А Н И" ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51) 6 01 В 17/02 осударственныи комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий Приоритет 3) Опубликовано 0 5) Дата опуолико 3) УДК 531.717В. Д. Базаров,И. Г. Симаков,72) Авторы изобретени Институт естественных наук Бурятского филиал Сибирского отделения АН СССР) УЛЬТРАЗВУКОВОИ СПОС Изобретение относится к контрольнсизмерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок.Известны способы измерения толщины пленок и скорости их роста, основанные на различных принципах: измерения времени распространения ультразвука в изделии; измерения затухания в изделии и др. 11.Все эти способы или сложны, или не обладают необходимой чувствительностью и точностью измерения.Наиболее. близким по технической суш.- ности к предложенному изобретению является способ измерения толщины пленки, заключающийся в измерении затуханий ультразвуковых колебаний, вносимыхнаносимой между двумя преобразова упругих поверхностных волн 2 ).Однако этот способ не позволяет с дотем, что по предл Это достигается ному способу дополн второго излучателя, пленкой и приемнико ют упругие поверхн толщине пленки судя налу изпучателей, пр ком,ительно с помощью расположенного между м, синфазно возбуждаостные колебания, а о т по суммарному сигинимаемому приемни 10 На чертеже изображена блок-схемаустановки для реализации способа, содержащая подложку 1, генератор 2 упругих колебаний, основной излучатель 3, дополнительный излучатель 4, приемник 5, уси 15 литель 6 и регистрирующее устройство 7.Способ заключается в следующем.На подложку наносят три одинаковыхпреобразователя упругих поверхностных волн, на два из которых (излучатели) по дается одинаковый (синфазный) сигнал, ана третьем (приемнике) регистрируется интерференционная картина от первых двух или возмущение этой картины, вносимое пленкой, наносимой между ними. Расстоя ние между двумя излучателями выбираетпленкои, тел ями толщ а, осдесятанесенных пленок, скоренно тонких, при толщинов ангстрем,Бель изобретения - повышети измерения толщины пленки ость их ах порядк нотаточнои точностью изм ЗМЕРЕНИЯ ТОЛШИНЫ ПЛЕНКИ538223 Формула изобретения ся таким образом, чтобы сигнал от основного излучателя приходил на дополнительный в противофазе и на приемнике фиксировался минимум интерференционной картины,При нанесении пленки в зазор междуизлучателями интерференция нарушается,подученный сигнал с приемника усиливаечся усилителем 6 и регистрируется устрои 10ством 7, которое можно проградуироватьпо толщине наносимой пленки. Данный способ повышает точность иэ 15 мерения толщины, поскольку, в отличие от прототипа, измеряет искомые величины не по затуханию ультразвуковых колебаний, что невозможно для очень тонких пленок, а по возмущению, вносимому наносимой пленкой в интерференционную картину от двух преобразователей. Изобретение позва ляет регистрировать адсорбированный слой воздуха или любого другого газа, что наблюдается уже при вакууме 10 мм рт.стол- ба. Ультразвуковой способ измерения толщины пленки, заключающийся в том, чтов подложке, на которую нанесена пленка,возбуждают упругие поверхностные колебания с помощью излучателя и принимаютпосредством приемника колебания, прошедшие через подложку с пленкой, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности, дополнительно с пмощью второго излучателя, расположенного между пленкой и приемником, синфазновозбуждают упругие поверхностные колебания, а о толщине пленки судят по суммарному сигналу излучателей, принимаемому приемником.Источники информации, принятые во внь.мание при экспертизе:1, Палатник Л, С., Зайчик Р. И., Гладких Н. Т., Коткевич В. И. Методы измерения толщины тонких пленок, обзор,ж. "Заводская лаборатория", 1968 г., 34М 9 2, стр. 180-190,2. Авторское свидетельство М 198691,кл. Я 01 В 17/02, 1963 г.Составитель Т. Головкина Редактор И. Бродская Техред О, Луговая Корректор В. Куприянов Заказ 5708/23 Тираж 844 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам йзобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4