Способ получения порошка нитрида кремния

Номер патента: 505337

Авторы: Ричард, Роланд

ZIP архив

Текст

(33) Великобритания Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийи открытий(72) Авторы изобретения Иностранцы Роланд Джон Ламби и Ричард Фредерик Хорсли(Великобритания) Иностранная фирма Джозеф Лукас (Индастриз) Лимитед(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА НИТРИДА КРЕМНИЯ Формула изобретения 1Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к производству порошка нитрида кремния.Известен способ получения порошка нитрида кремния, включающий азотирование порошка кремния в печи с газовой атмосферой и поддержание заданной температуры в процессе реакции кремения с азотом. При этом азотирование осуществляют при температуре 1300 в 15 С, а заданную температуру поддерживают путем уменьшения подвода тепла к печи. Образующийся в результате реакции ннтрид кремния содержит значительное количество Р-фазы.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, с пелшо повышения качества нитрнда кремния, азотнрованню подвергают смесь порошков кремния и нитрида кремния в к-фазе, а поддержание температуры, реакции осуществляют разбавлением газовой атмосферы аргоном или откачкой ее из печи.Ниже приведен предпочтительный вариант осуществления предлагаемого способа.Смесь порошков кремния и 10% по массе нитрида кремния в а-фазе загружают на под печи так, чтобы плотность смеси составляла 0,45 г/см, Печь заполняют газовой атмосферой, содержащей 90/о азота и 10% водорода. Температуру в печи поднимают до 1150 С, когда начинается реакция азотирования кремния. Поскольку эта реакция является экзотермической, происходит дополнительный разогрев смеси. При подъеме температуры смеси до предельно допустимого значения, например до 1350 С, газовую среду разбавляют путем напуска аргона. При этом парциальное давление азота в печи снижается, выделение тепла при реакции уменьшается и при этом автоматически снижается температура азотируемой 10 смеси,Если выделение тепла при реакции является очень сильным и разбавлением атмосферы не удается обеспечить надежное регулирование температуры, атмосферу частично откачи вают из печи. Это сопровождается более эффективным снижением температуры азотнрования, При затухании реакции подачу атмосферы, содержащей азот, возобновляют. Введение в состав азотируемого слоя нптрпда 20 кремния в а-фазе повышает управляемостьэкзотермической реакцией.Применение описываемого способа позволяет получить практически весь нитрид кремния в а-фазе.25 Способ получения порошка нитрида крем 30 пия, включаюший азотирование исходного ма505337 Составитель И. КиянскийТекред Е. Подурушина Корректор А, Степанова Редактор Е. Шепелева Заказ 1031,9 Изд. Мо 1234 Тираж 1003 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, и териала, содержащего порошок кремния, в газовой атмосфере и изотермическую выдержку в процессе реакции кремния с азотом, о тл ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества порошка, в исходный материал вводятнитрид кремния в а-фазе, а поддержание температуры реакции осуществляют разбавлением газовой атмосферы инертным газом.

Смотреть

Заявка

1965105, 05.10.1973

РОЛАНД ДЖОН ЛАМБИ, РИЧАРД ФРЕДЕРИК ХОРСЛИ

МПК / Метки

МПК: B22F 9/00

Метки: кремния, нитрида, порошка

Опубликовано: 28.02.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-505337-sposob-polucheniya-poroshka-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения порошка нитрида кремния</a>

Похожие патенты