Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плпзме образцов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ ш 1 47889 Союз Советских Социалистических Республик) 1929489/2 присоединением заявкиГосударственный комите Совета Министров СССта опубликования описания 10.10.7 Авторыизобретени В, А. Сычик и А, В. НиколаевМинское производственно-техническое объединение Горизонт 71) Заявител) НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДОГРЕВА ОКИСЛ В КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ОБРАЗЦО 1 Х грева окисразцов, соым элеменимеет низяемых обржит корпусладки 2, на столика и Изобретение относится к тонкопленочноймикроэлектронике.Известен нагреватель для подоляемых в кислородной плазме обдержащий столик с нагревательнтом.Однако известный нагревателькую равномерность нагрева окислразцов.Цель изобретения - повышение равномерности нагрева окисляемых образцов.Для этого нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика,герметически закрытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столиквыполнен из неокисляемого термостойкого материала, например, из нержавеющей стали.На чертеже показан предлагаемый нагреватель,Предлагаемый нагреватель соде1 столика, диэлектрические прокгревательный элемент 3, крышкувакуумный токоввод 5.Корпус 1 столика выполнен из теплопроводящего неокисляемого и термостойкого материала, например из нержавеющей стали. Нагревательный элемент выполнен из тугоплавкого металла (вольфрам, молибден и т. д.)плоской формы и размещен в выфрезерованном окне корпуса столика, причем одной сторонои он жестко соединен с корпусом столика, а другой - с вакуумным токовводом 5. Вакуумный токоввод 5 выполнен по стандартной технологии и жестко закреплен на крышке 4 5 столика. Вторым токовводом является контактповерхности столика с корпусом установки, Крышка 4 столика вакуумно плотно соединена с его корпусом 1 с помощью вакуумного уплотнения - металлической прокладки 6.10 Диэлектрические прокладки 2, служащиедля предотвращения короткого замыкания нагревательного элемента и максимальной передачи от него тепла на стенки корпуса, изготовлены из тугоплавкого вакуумного и теплопро водящего диэлектрика (например, окисноберрилиевой керамики).С целью осуществления процесса получениянеобходимой окисной пленки диэлектрическая подложка 7 с нанесенным слоем окисляемого 20 вещества 8 жестко закрепляется на столике иподводится к окну плазменного генератора 9.Процесс подогрева образцов осуществляетсяследующим образом.В момент достижения оптимальной толщи ны окисной пленки в кислородной плазме осуществляется нагрев подложки с целью обеспечения дальнейшего роста окисла в процессе подачи на нагревательный элемент электрического напряжения. В начальный момент про- ЗО цесса окисления используются токи высокой478893 Предмет изобретения дислоро Составитель Л. Слащинина Техред 3. Тараненко Корректор Е, Рогайлина Редактор В. Булдаков За,каз 2503/13 Изд.1681 Тираж 966 Подписное ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 плотности, в результате чего происходит скоростной нагрев столика, поскольку выделяемая тепловая энергия расходуется только на его нагрев, причем поверхность столика равномерно нагревается по всей плоскости соприкосновения с подложкой благодаря высокой теплопроводности диэлектрических прокладок 2 и минимальному объему, занимаемому плоским нагревателем внутри столика.После достижения необходимой температуры расход электроэнергии снижается в связи с уменьшением плотности тока нагревателя до значения, требуемого для поддержания оптимальной температуры подложки. Нагреватель для подогрева окисляемых вкислородной плазме образцов, содержащий 5 столик с нагревательным элементом, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения равномерности нагрева окисляемых образцов, нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика, герметически за крытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столик выполнен из неокисляемого термостойкого материала, например из нержавеющей стали.
СмотретьЗаявка
1929489, 31.05.1973
МИНСКОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ГОРИЗОНТ"
СЫЧИК ВАСИЛИЙ АНДРЕЕВИЧ, НИКОЛАЕВ АЛЕКСАНДР ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: кислородной, нагреватель, образцов, окисляемых, плпзме, подогрева
Опубликовано: 30.07.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-478893-nagrevatel-dlya-podogreva-okislyaemykh-v-kislorodnojj-plpzme-obrazcov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плпзме образцов</a>
Ребристый элемент для нагревательных приборов от отопления и вентиляции
Номер патента: 22878
Опубликовано: 30.09.1931
Автор: Шлезингер
МПК: F24H 9/14
Метки: вентиляции, нагревательных, отопления, приборов, ребристый, элемент
...ков 2, имеющих нных между собкоробки элеме ние отдельных ченЖ полезной дится посредст пелях 1 тройни резьбу и связа ством муфт 3 ы ы ет изо та для и вен, н выа торне со. осред- трой- помобристоборов опо патчторасполки ипроизвох наежду со В патенте6595 описан ребристый элемент для нагревательных приборов отопления и вентиляции, в котором входное и выходное отверстия его размещены у диагонально противолежащих углов плоской чугунной коробки, тогда как ребра на одной стороне последней смещен относительно ребер другой ее сторон на половину расстояния между ними.В предлагаемом видоизменении входные и выходные отверстия .расположен в торцевых частях коробки, а соседние эл менты соединяются между -собой посре ством тройников с нипелями и...
Способ выполнения противопучинного элемента
Номер патента: 1834952
Опубликовано: 15.08.1993
Авторы: Захаров, Калинин, Кленин, Клюсов, Крылов, Санников
МПК: E02D 27/34
Метки: выполнения, противопучинного, элемента
...давлений при замораживании засчет образования ледяных линз;давление, развиваемое при замораживании в интервале температур слоя сезонного промерзания (-2, -5, -10 и -15 С),характеризующее противопучинистые свойства при различной степени обводнения(В/Т= 0,5; 1,0; 2,0); 20даление, развиваемое при выдавливании образцов при замораживании (-2, -5, -10и -15 С) из цилиндрической металлическойформы, характеризующее степень сцепления - развития касательных напряжений 25при расположении материала вокруг теласваи в слое сезонного и ромерзания при различных ВIТ,Определение седиментационной устойчивости проводилось в соответствии с известной методикой, Для этого, напзоимер,берут 500 г рыхлого песка и 500 см воды,что соответствует Б/Т...
Способ выполнения железобетонных элементов сооружений
Номер патента: 68854
Опубликовано: 01.01.1947
Автор: Пельтинович
МПК: E04C 5/06, E04G 21/12
Метки: выполнения, железобетонных, сооружений, элементов
...бетоном необходимой прочности.На фиг, 1 изображена схема элемента, сооружаемого по предлагаемому способу; на фиг. 2 - деталь узла Ж элемента с верхним поясом из круглой стали, на фиг. 3 - разрез по А - Б фиг, 1; на фиг, 4 - возможный вариант узла Ж элемента с применением уголкового металла в верхнем поясе; на фиг. 5 - поперечный разрез по В - Г фиг. 4; на фиг, б - другой вариант узла Ж с применением круглой стали в верхнем поясе и на фиг. 7 - поперечный разрез по Д - Е фиг, б.При возведении железобетонного элемента по предлагаемому способу несущая способность каркаса усиливается для воспринятия монтажных нагрузок дополнительно поставленной арматурой. Арматура соединяется тем или иным образом с остальной арматурой в узлах каркаса (во всех...
Способ выполнения магнитных элементов или устройств
Номер патента: 149617
Опубликовано: 01.01.1962
Автор: Леокене
МПК: G11C 11/08
Метки: выполнения, магнитных, устройств, элементов
...может быть также путем последовательного соединения обмоток несколь шек, сердечники которых имеют различные петли гистерези смещения в этих сердечниках создают посредством применен нительных обмоток. В результате оказывается возможным по предлагаемому с выполнить магнитные элементы или устройства с требуемым за изменения дифференциальной динамической магнитной проница во время их перемагничивания и получить заданные их вольтамг характеристики. Сердечники, входящие в магнитные элементы ил. 149617 Предмет изобретения Способ выполнения магнитных элементов или устройств, отлич а ю щ и й с я тем, что, с целью получения сложной, наперед заданнсй кривой намагничивания, получения на их выходах э. д, с. индукции нужной формы, а также...
Способ выполнения струйных элементов
Номер патента: 251245
Опубликовано: 01.01.1969
Авторы: Лезин, Телауридзе, Шевченко, Шолохов
Метки: выполнения, струйных, элементов
...направление отсасывающего потока, которое 25 обеспечивает стабилизацию движения частицгаза в зоне взаимодействия струй б. Величина дросселирующего канала 4 определяет количество отсасываемого газа, которое выбирается оптимальным в смысле уменьшения коле- ЗО баний давления на выходе 7 без уменьшения2 Ы 248 гурации непосредственным подключением на выход этих элементов эжектирующих устройств.Элемент с эжектирующим каналом (см. фиг. 4), в котором 1, 2, 3, 4 - питающий, управляющий, выходной (приемочный) и атмосферный( дросселирующий) каналы соответственно, 10 - эжектирующий канал.Отса сывающий поток организуется через канал 10 частично из самого приемного канала, частично из зоны взаимодействия струй, причем отсос организуется поочередно...
Предыдущий патент: Способ газового борирования
Следующий патент: Моечно-сушильное устройство
Случайный патент: Способ огнезащитной отделки волокнистого материала