Патенты с меткой «плпзме»

Номер патента: 478893

Опубликовано: 30.07.1975

Авторы: Николаев, Сычик

МПК: C23C 13/12

Метки: кислородной, нагреватель, образцов, окисляемых, плпзме, подогрева

...является контактповерхности столика с корпусом установки, Крышка 4 столика вакуумно плотно соединена с его корпусом 1 с помощью вакуумного уплотнения - металлической прокладки 6.10 Диэлектрические прокладки 2, служащиедля предотвращения короткого замыкания нагревательного элемента и максимальной передачи от него тепла на стенки корпуса, изготовлены из тугоплавкого вакуумного и теплопро водящего диэлектрика (например, окисноберрилиевой керамики).С целью осуществления процесса получениянеобходимой окисной пленки диэлектрическая подложка 7 с нанесенным слоем окисляемого 20 вещества 8 жестко закрепляется на столике иподводится к окну плазменного генератора 9.Процесс подогрева образцов осуществляетсяследующим образом.В момент...