Способ контроля размеров и формы объектов

Номер патента: 470699

Авторы: Власов, Пресняков, Семенов

ZIP архив

Текст

(".1) Лл виси мо От даг. свдетсльстосударственный коми Совета Министров СС по делам изобретениии открытий.7 ата оиубсиковдция опислция 23 Авторы ЗООРЕТЦ 51 Г. Власов, 3. Г. Ссмецсв и 6, 11. П 1)ссиод. Р;.,1оражеКТОВц ектов,цц д ОШС Спо О )ДЗО).Образцовое (эталоццос) и коцтролцрусмоцздегП 5 Освеца 10 т КОГсрецтцы)1 ц.л 1 свис)1, отрджеццое от образцового (этллоццого) контролируемого цзделий излучецис совмсцдют 1 фокусируют цд повсркцость квддрдтичцог детект 01)а, цд котоом здццсьВдОт голограмму, причем пучки, отрлжеццыс от этдлонного и кочтролцруемого изделий цспол.- зуют, как опорные, по отношению друг к дру- Г" ,и как Ооъектые по Отцовсии 0 к цц) самим. Таки: ) Ооразоы, ВО Врея первой экспозиции ца голограмме фиксируется1 ц(;з(Х У)г Х(Х,д) г-: " ) г Изобрстсцис относится к оптическим изасрециям ца основе голографии и прсдцазцачецо для бескоцтдктцого контроля размеров и форъы обьсктов, цапримср, сершцык изделий, путем срдвцсция с этдлоццз ооъсктом, для Оцтроля раз пото:1 цицостц 00 ьектов, коцтроля дсфоръдици цсследмемьк ОоъсктоВ по сравцецию с деформациями или эталонного объекта, или другими частями исследуемык объектов, для цсслсдовация формы объектов методдмц сдвцговой ццтерфсрометрии.Известен способ контроля размеров и формы объектов путем освещения эталоццого и коцтролируе.,ого объектов когерецтцым излучецием по;угасия голограммы при помощи оптиеского сов)сцсиия пучков, Отражеццык от указаццых объектов и опорного пучков методом двойцой экспозиции или в реальцо масштабе времсци получают голограмму и восстацдвливдот изображение, причем после первой экспозиции измсцяют путь в части голографическоц скемы, содержащей источник освещающего излучения, голограмму, эталонцый и контролируемый объект и по получаемой ца восстацовлеццом изобракеции картице полос судят о разцице в размерах, форме между котролцр) емым ц эталоццым объектааи.1-1 едостдтком известного спосооа является цедостаточцдя точцость контроля, обусловълль 1) Коцтрлстйа по 1 Ос, цл 0;пиим.грани ч вствцтельцост 1 рсгцстрцр с 0 риборов или зрсция црц В:3,;1, о де)ии.ЦОВЬЦЦСЦЦ:; 0 ЦОС".1 КО.00351ом спо:обе в процессеЛсц ГО. - ы цд цсе фокус,руОт совм "цсц:ц.ция эталонного и ко;тролируемого оив трис) Нукц, ОтрлКеццыс )т этц ОбъЦ С П О Л ЬЗ М ОТ, К Л и О и О П Ц Ы С Ц 0 О 110 ЦС рмГ к д)Гу, ц, кдк ОоъскТ:в 111 с цо ОТИО К ЦЦ) СЛ)1 Ц)1.соб реализуется слсдук)и 1 м оЗаказ 6171 Тираж 782 Подписное ЦНИИПИ Государственного коыитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д 451 ереповецкая городская типография гдс. У, (х,у)1) и Ук(х,у)1КОМП.СКСП 1 С ЯМП,ИТУДЫ В П:10 СКОСТИ ИЗООРЯ- женил для эталонного и контролируемого изделий соответственно, - (х,у) включает в сеОоя случайную начальную фазу, характеризующую диффузно отражающую поверхность изделий, а и (ог средние и пространственныс частоты, на которых происходит совмещение изображений, Требуемое совмещение и фокусировку с образованием несущей пространственой частоты можно осуществить различны 11 п способямп, например, при помощи двуапертурной белизны. Следующую операцию - изменение оптического пути в части голо 15 графической схемы также можно осуществить несколькими методами, например, исследуемый объект поместить в кювету, заполненную газом пли жидкостью, На голограмму записывают дважды, изменяя между экспозициямп коэффициент преломления РкдкостР илп газа, и получают на восстаповлспном пзобрая(спин интерференционные полосы, образующие контурные картины, характеризующие геометрические параметры обьекта. В прототипе в ковету помещают эталонный и коптролируемьш объекты, и па со;мещенных восстановлейных изображениях получают картин полос, ягляОПР юся муяро дв) х контурных карт, 80Изменение коэффициента преломления па дп между экспозицпямп к тому, что во время второй экспозиции па голограмму зафикспруется интенсивность.-,а,у)вх, Л .(х,у)ц,(,. ) .,(х,у) . ц1)(х,у)и.х1 ,1(Х)у)з (2) где: 1расстояние От передней стскп иОвсты до поверхности изделия. Прп восстановлении используют один пз первых порядков дифракцип на голограмме восстанавливающего пучка, а матемятичес 1(и 1 з амплитудное пропускание в указанном порядке описывается как)Х 1 +"3)Восстановленное изображение пропорционально распределению взаимной интенсивност 1 на совмещенных изображениях объектов,полученная голограмма является голограммои интенсивности, Наблюдение или фотографирование восстановленного изображенияматематически оппсывастся возведением (3)в квадрат:Р(Х,д) з= /(., (Х,д) (.":, (Х,У)2 п 12(4)Таким ооразом, согласно изобретениюразличие в размерах и форме образцового иконтролируемого изделий получают в видеиптерференционных, а не муаровых полос, Водном направлении (первый порядок дифракнпп) распрострапяотся не четыре, а два волновых поля, поэтому контраст интерференцпонпых полос возрастает, приближаясь (безучета шумов рсгпстрируошей среды) к макс и ы я л ь и О В 0 3 110 Рк и 0 м у 3 и а 1 е н Р 1 1 О, т. с. к ед и 11 ЦС,Исследование возможно пс только методом;воИой экспозиции, по и в реальном масштабе времени.Предмет изобретенияСпособ контроля размеров и формы объектов путсз освсщспия эталонного и контролируемого объектов когер ентны м излучениег,получения голограммы с помощью оптического совмещения пучков, отраженных от указа;ых обьсктов и опорного пучков и восстановления изоорякенп 51, по котор 01 у су;1 ят Оразнице и размерах и форме между контрогРрусмыз и эталонным объектами, отлчивиисл тем, что, с целью повышения точностиконтроля, в процессе записи голограммы напсе фокусируют совмещенные изображенияэталонного и контролируемого объектов, причем пучки, отраженные от этих объектов используют, как опорные по отношению друг кдругу, и, как объектные по отношению к пимсамим,

Смотреть

Заявка

1920472, 03.05.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8584

ВЛАСОВ НИКОЛАЙ ГЕОРГИЕВИЧ, СЕМЕНОВ ЭРИК ГЕРШОНОВИЧ, ПРЕСНЯКОВ ЮРИЙ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 9/02

Метки: объектов, размеров, формы

Опубликовано: 15.05.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-470699-sposob-kontrolya-razmerov-i-formy-obektov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля размеров и формы объектов</a>

Похожие патенты