Способ контроля размеров и формы объектов

(".1) Лл виси мо От даг. свдетсльстосударственный коми Совета Министров СС по делам изобретениии открытий.7 ата оиубсиковдция опислция 23 Авторы ЗООРЕТЦ 51 Г. Власов, 3. Г. Ссмецсв и 6, 11. П 1)ссиод. Р;.,1оражеКТОВц ектов,цц д ОШС Спо О )ДЗО).Образцовое (эталоццос) и коцтролцрусмоцздегП 5 Освеца 10 т КОГсрецтцы)1 ц.л 1 свис)1, отрджеццое от образцового (этллоццого) контролируемого цзделий излучецис совмсцдют 1 фокусируют цд повсркцость квддрдтичцог детект 01)а, цд котоом здццсьВдОт голограмму, причем пучки, отрлжеццыс от этдлонного и кочтролцруемого изделий цспол.- зуют, как опорные, по отношению друг к дру- Г" ,и как Ооъектые по Отцовсии 0 к цц) самим. Таки: ) Ооразоы, ВО Врея первой экспозиции ца голограмме фиксируется1 ц(;з(Х У)г Х(Х,д) г-: " ) г Изобрстсцис относится к оптическим изасрециям ца основе голографии и прсдцазцачецо для бескоцтдктцого контроля размеров и форъы обьсктов, цапримср, сершцык изделий, путем срдвцсция с этдлоццз ооъсктом, для Оцтроля раз пото:1 цицостц 00 ьектов, коцтроля дсфоръдици цсследмемьк ОоъсктоВ по сравцецию с деформациями или эталонного объекта, или другими частями исследуемык объектов, для цсслсдовация формы объектов методдмц сдвцговой ццтерфсрометрии.Известен способ контроля размеров и формы объектов путем освещения эталоццого и коцтролируе.,ого объектов когерецтцым излучецием по;угасия голограммы при помощи оптиеского сов)сцсиия пучков, Отражеццык от указаццых объектов и опорного пучков методом двойцой экспозиции или в реальцо масштабе времсци получают голограмму и восстацдвливдот изображение, причем после первой экспозиции измсцяют путь в части голографическоц скемы, содержащей источник освещающего излучения, голограмму, эталонцый и контролируемый объект и по получаемой ца восстацовлеццом изобракеции картице полос судят о разцице в размерах, форме между котролцр) емым ц эталоццым объектааи.1-1 едостдтком известного спосооа является цедостаточцдя точцость контроля, обусловълль 1) Коцтрлстйа по 1 Ос, цл 0;пиим.грани ч вствцтельцост 1 рсгцстрцр с 0 риборов или зрсция црц В:3,;1, о де)ии.ЦОВЬЦЦСЦЦ:; 0 ЦОС".1 КО.00351ом спо:обе в процессеЛсц ГО. - ы цд цсе фокус,руОт совм "цсц:ц.ция эталонного и ко;тролируемого оив трис) Нукц, ОтрлКеццыс )т этц ОбъЦ С П О Л ЬЗ М ОТ, К Л и О и О П Ц Ы С Ц 0 О 110 ЦС рмГ к д)Гу, ц, кдк ОоъскТ:в 111 с цо ОТИО К ЦЦ) СЛ)1 Ц)1.соб реализуется слсдук)и 1 м оЗаказ 6171 Тираж 782 Подписное ЦНИИПИ Государственного коыитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д 451 ереповецкая городская типография гдс. У, (х,у)1) и Ук(х,у)1КОМП.СКСП 1 С ЯМП,ИТУДЫ В П:10 СКОСТИ ИЗООРЯ- женил для эталонного и контролируемого изделий соответственно, - (х,у) включает в сеОоя случайную начальную фазу, характеризующую диффузно отражающую поверхность изделий, а и (ог средние и пространственныс частоты, на которых происходит совмещение изображений, Требуемое совмещение и фокусировку с образованием несущей пространственой частоты можно осуществить различны 11 п способямп, например, при помощи двуапертурной белизны. Следующую операцию - изменение оптического пути в части голо 15 графической схемы также можно осуществить несколькими методами, например, исследуемый объект поместить в кювету, заполненную газом пли жидкостью, На голограмму записывают дважды, изменяя между экспозициямп коэффициент преломления РкдкостР илп газа, и получают на восстаповлспном пзобрая(спин интерференционные полосы, образующие контурные картины, характеризующие геометрические параметры обьекта. В прототипе в ковету помещают эталонный и коптролируемьш объекты, и па со;мещенных восстановлейных изображениях получают картин полос, ягляОПР юся муяро дв) х контурных карт, 80Изменение коэффициента преломления па дп между экспозицпямп к тому, что во время второй экспозиции па голограмму зафикспруется интенсивность.-,а,у)вх, Л .(х,у)ц,(,. ) .,(х,у) . ц1)(х,у)и.х1 ,1(Х)у)з (2) где: 1расстояние От передней стскп иОвсты до поверхности изделия. Прп восстановлении используют один пз первых порядков дифракцип на голограмме восстанавливающего пучка, а матемятичес 1(и 1 з амплитудное пропускание в указанном порядке описывается как)Х 1 +"3)Восстановленное изображение пропорционально распределению взаимной интенсивност 1 на совмещенных изображениях объектов,полученная голограмма является голограммои интенсивности, Наблюдение или фотографирование восстановленного изображенияматематически оппсывастся возведением (3)в квадрат:Р(Х,д) з= /(., (Х,д) (.":, (Х,У)2 п 12(4)Таким ооразом, согласно изобретениюразличие в размерах и форме образцового иконтролируемого изделий получают в видеиптерференционных, а не муаровых полос, Водном направлении (первый порядок дифракнпп) распрострапяотся не четыре, а два волновых поля, поэтому контраст интерференцпонпых полос возрастает, приближаясь (безучета шумов рсгпстрируошей среды) к макс и ы я л ь и О В 0 3 110 Рк и 0 м у 3 и а 1 е н Р 1 1 О, т. с. к ед и 11 ЦС,Исследование возможно пс только методом;воИой экспозиции, по и в реальном масштабе времени.Предмет изобретенияСпособ контроля размеров и формы объектов путсз освсщспия эталонного и контролируемого объектов когер ентны м излучениег,получения голограммы с помощью оптического совмещения пучков, отраженных от указа;ых обьсктов и опорного пучков и восстановления изоорякенп 51, по котор 01 у су;1 ят Оразнице и размерах и форме между контрогРрусмыз и эталонным объектами, отлчивиисл тем, что, с целью повышения точностиконтроля, в процессе записи голограммы напсе фокусируют совмещенные изображенияэталонного и контролируемого объектов, причем пучки, отраженные от этих объектов используют, как опорные по отношению друг кдругу, и, как объектные по отношению к пимсамим,