Способ получения спеченных фотопроводящих слоев

О П И С А Н И Е,ц 466481ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Сониалистических Республик(32) ПриоритетОпубликовано 05.04.75, Бюллетень13Дата опубликования описания 04.12.75 1) М. Кл. б 03 д 5/ Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам изобретенийи открытий) Авторы изобретения йнкман, Г, А. Федорус и А. М. Павелец роводников АН Украинской ССР г 1Ф Заяви Институт полуп(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СПЕЧЕННЫХСЛОЕВ ОПРОВОДЯЩ Изобретение относится к способу получения спеченных фотопроводящих слоев сульфида, селенида и сульфоселенида кадмия, применяемых в автоматике, оптической электронике и вычислительной технике. 5Известен способ получения спеченных фотопроводящих слоев путем приготовления водной суспензии мелкодисперсного порошка сульфида, селенида или сульфоселенида кадмия,плавня хлорида кадмия и соли металла в 1 О активатора, например меди, серебра, с последующим нанесением ее на подложку, высушиванием, отжигом и охлаждением слоя в ограниченном объеме воздуха.Однако известным способом нельзя полу чить воспроизводимые высокофоточувствительные слои с заданными фотоэлектрическими параметрами, поскольку не учитывается необходимость подбора концентрации плавня хлорида кадмия в точном соответствии с кон центрацией металла - активатора и влияние кислорода воздуха, в котором отжигаются слои, на фотоэлектрические параметры последних.Цель изобретения - получение воспроизво димых высокофоточувствительных слоев с заданными фотоэлектрическими параметрами - достигается тем, что используют суспензии, содержащие 5 10 - 2 - 3 10 -моль плавня хлорида кадмия и 2 10 - 4 - 1,5 10 -г-атом меди 30 или серебра на 1 моль исходного порошка прп постоянном соотношении между ними, а отжиг и охлаждение слоя ведут при концентрации хлорида кадмия 1 10 - 4 - 2 10 - 4 г/см ограниченного объема.Соотношение между концентрациями плавня хлорида кадмия и металла-активатора предпочтительно равно 2 10 в- 2,5 10-.Отожженные слои обычно охлаждают в темноте в ограниченном объеме воздуха со скоростью 90 - 100 С/мин.В указанных условиях получают качественно спеченные, механически прочные, хорошо сцепленные с подложкой фотопроводящие слои, обладающие высокой фоточувствительностью (р,/рф - 10 - 10) .Другие характеристики спеченных слоев (спектральное распределение фототока, инерционность, холловская подвижность электронов, температурный коэффициент фототока) зависят не только от соотношения, но и от абсолютных значений концентраций легирующих примесей (хлорпд кадмия и металл-активатор).Для получения воспроизводных слоев контролируют величину объема, в котором отжигают и охлаждают слои. Величину объема выбирают в зависимости от состава легирующих примесей и общего веса отжигаемых слоев таким образом, чтобы первоначальное количе466481 Предмет изобретения Составитель Л. Иванова Текред Е, Подурушина Корректор В, Брыксина Редактор Т. Шарганова Заказ 3125/9 Изд. Мв 632 Тираж 559 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Типография, пр, Сапунова, 2 ство плавня хлорнда кадмия, входящес в состав отжигаемого слоя, составляло 1 10 -- 2 10 -г на 1 см объема.При отжиге в процессе спекания слоев плавень хлорида кадмия испаряется, кроме того, образуются продукты окисления основного материала порошка, поэтому атмосфера над слоями состоит в основном пз газообразного хлорида кадмия.Контроль состава атмосферы и режима охлаждения слоев позволяет контролировать влияние кислорода на формирование фотоэлектрических свойств слоев, что повышает воспроизводимость параметров слоев до 90 - 100%,П р и м е р. Суспензию 100 г порошка сульфида кадмия, 15 г плавня хлорида кадмия и 55 мг азотнокислого серебра в 400 мл воды наносят пульверизатором на ситалловую пластинку до желаемой толщины слоя, высушивают, взвешивают, рассчитывают содержание плавия хлорида кадмия в слое, отжигают 10 мин при б 00 С в ограниченном объеме, обеспечивающем концентрацию хлорида кадмия 110 - " - 2 10 -г/см объема, и охлаждают в темноте со скоростью 90 - 100 С/мин в том же объеме,1. Способ получения спеченных фотопроводящих слоев путем приготовления водной сус пензии мелкодисперсного порошка сульфида,селенида илп сульфоселенпда кадмия, плавпя хлорида кадмия и соли металла-активатора, например меди, серебра, нанесения ее на подложку, высушивания, отжига и охлаждения 10 в ограниченном объеме воздуха, о тл и ч а ющ и й с я тем, что, с целью получения воспроизводимых высокофоточувствительных слоев с заданными фотоэлектрическими параметрами, используют суспензии, содержащие 5 10 -- 15 3 10 в моль плавня хлорида кадмия и 2 10-4 -1,5 10г-атом меди или серебра на 1 моль исходного порошка при постоянном соотношении между ними, а отжиг и охлаждение слоя ведут при концентрации хлорида кадмия 20 110 в " - 2 10 в " г/см ограниченного объема.2. Способ по п. 1, отличающийся тем,что соотношение между концентрациями плавня хлорида кадмия и металла-активатора равно 2 10- 2,5 10-.25 3. Способ по п. 1, отличающийся тем,что слои охлаждают в темноте в ограниченном объеме воздуха со скоростью 90 - 1 00 С/м и н.