Датчик толщины пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1 11 462979 союз Соввтсхих Социалистнчесхих Ргспублнх(51) Л иооединением заявки Государственный квинтет Совета Министров СССР ов делам нзобретени 3) Приоритет(54) ДАТЧИК ТОЛЩИНЫ что торцовая стенка, на которой закреплен свидетель, имеет диаметр 0=48 мм, а отверстие в противоположной стенке имеет диаметр д=8 мм. Высота усеченного конуса 1=96 мм. Толщина торцовых и боковых стенок не более 2 мм.Отверстие, расположенное в торцовой стенке, прилегающей к свидетелю, соосно с его электродами, а диаметр его равен диаметру электрода. Размеры элементов конуса Р, д идолжны быть таковы, чтобы исключалось окисление частиц пара внутри конуса и искажение полета их траектории.Размеры конуса выбирают в соответствии с соотношениями Изобретение относитсронной размерометрии изовано для активного коных покрытий.Известен датчик толщины пленок, содержащий кварцевый резонатор и диафрагму. Однако конструкция диафрагмы относительно сложная, так как при активном контроле толстопленочных покрытий она выполняется в виде нескольких последовательно установлен ных пластин с отверстиями по их периферии.Целью данного изобретения является упрощение конструкции датчика, для чего диафрагма выполнена в виде объемного тела, например полого усеченного конуса с торцевыми 15 донышками, имеющими отверстия, а размеры конуса выбраны в соответствии с соотношени- ями З 6 и - )11.( Коэффициент экран20по отношению - , О1)конструктивных погрешустановки датчика знследует уточнять экспе овки К определяетсяднако для исключе где Л - высота0 - диамет д - дна мет ностей и погрешчение коэффициериментально. онуса;большего основания;отверстия в донышке остеи На чертеже сх толщины пленок. Свидетель 1 реплен на верхне Металлический пДатчик толщины пленок, содержащии цевый резонатор и диафрагму, о т л и0 щи й с я тем, что, целью упрощения кон квартрукематично изображен датчик(кварцевыи резонатор) зак й торцовой стенке конуса 2 олый конус 2 выполнен так Предмет изобретения4527 Ц- =12; - 6,й ( Составитель А. Духаниндактор В. Смирягина Техред М. Семенов Корре сов Тираж 782го комитета Совета Министров СССзобретений и открытий5, Раушская паб., д. 4/5 каз 1559/3ДНИ дписпо Типография, пр. Сапунова, 2 ции при использовании его для контроля толстослойных пленок в процессе напыления, диафрагма выполнена в виде объемного тела, например полого усеченного конуса с торцовыми донышками, имеющими отверстия, а размеры конуса выбраны в соответствии с соот- ношениями Изд,647 осударственно по делам 1 Москва, )К
СмотретьЗаявка
1935802, 29.06.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3987
ОЛЕШКЕВИЧ ВИКТОР ДЕМЬЯНОВИЧ, БУЙЛИН АНАТОЛИЙ СТЕПАНОВИЧ, ФОМИН АНАТОЛИЙ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/06
Метки: датчик, пленок, толщины
Опубликовано: 05.03.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-462979-datchik-tolshhiny-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик толщины пленок</a>
Предыдущий патент: Устройство для контроля магнитной ленты
Следующий патент: Электромеханический тензометр
Случайный патент: Штамм вируса гриппа ан13 n6 для получения диагностического антигена и диагностических сывороток