Мера толщины пленок

СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 80143 О 7 В 7/06 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Г ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Таллинский политехнический институт(56) Авторское свидетельство СССРУ 813129, кл. С 01 В 7/06, 1977,(57) Изобретение применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий и относится к метрологии. Цельюданного изобретения является повышение точности поверки толщиномеров,предназначенных для контроля трубчатых изделий, Мера толщины пленок имеет трехслойную цилиндрическую подложку 1, на наружной и внутренней поверхностях которой имеются участки длянастройки на "0" толщиномеров, На наружной и внутренней поверхностях под"ложки имеются два паза, донья которых удалены от поверхностей подложкина величину, равную требуемой толщине пленки или покрытия. Пленка заполняет эти пазы так, что у нее свободные цилиндрические поверхности совпадают соответственно с наружной иливнутренней цнлиндрической поверхностью подложки. 2 ил.Изобретение относится к метрочогии, а именно к средствам для гйверки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий,Целью изобретения является повы-. шение точности поверки толщиномеров трубчатых изделий путем исключения влияния кривизны поверхностей подложки и пленки при измерении толщин пленок на цилиндрических и трубчатых изделиях.На фиг. изображена мера толщины пленок, вид спереди; на фиг,2 - то же, вид сверху. 5Мера толщины пленок состоит из подложки 1, выполненной из трех трубчатых элементов, сопряженных между собой, на поверхностях которой имеются участки 2 для настройки на "О" толщи номеров покрытий, На верхней (наружной) поверхности подложки 1 выполнен паз 3, дно которого удалено от верхней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину Ь равную требуемой 25 толщине пленки 4, Пленка 4 заполняет паз так, что ее поверхность совпадает с наружной цилиндрической поверхностью подложки 1. Кроме того на внутренней поверхности подложки выполнен второй паз 5, дно которого удалено.от внутренней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину Ь , равную требуемой толщине пленки 16 меры, Пленка 6 заполняет второй Паз так, что ее поверхность совпадает с внутренней цилиндрической поверхностью подложки 1, пазы 3 и 5 образованы сквозными прорезями в наружном и внутреннем элементах под ложки 1, Прочие линейные размеры меры толщины пленок определяются исходя из размеров и характеристик датчиков поверяемых толщиномеров покрытий; а также исходя из кривизны поверхнос тей, контролируемых этими толщиномерами. Меру толщины пленок изготовляют следующим образом,Для подложки 1 выбирают три труб 50 чатых элемента с разными диаметрами и толщинами стенок; Ь, равной требуемой толщире пленки на наружной поверхности подложки Ь , равной требуемой толщине пленки на внутренней Поверхности подложки, и Н, равной миНимально допустимой толщине подложки или больше ее. Обрабатывают цилиндрические поверхности трубчатых элементов, подложки 1 в соответствии с требованиями допусков и соединяют элементы в одно целое с небольшим натягом, Далее на наружной и внутренней поверхностях подлокжи 1 выполняют пазы 3, 5, Для этого из собранной подложки 1 вырезают куски материала шириной Ь и толщиной Ьи Ь. Так как подложка 1 собрана с небольшим натягом, то куски подложки 1 снимаются легко. Для исключения влияния материала основы на результаты поверки все три элемента желательно изготовлять из одного материала, т,е, из материала деталей, на которых намечается измерение толщин пленок и покрытий,После выполнения описанных выше операций аттестуют с высокой точностью глубину обоих пазов 3, 5 по направлению радиуса кривизны, например, с помощью оптических методов, Далее наносят в наружный паз 3 пленку 4 так, чтобы ее поверхность совпадала с наружной поверхностью подложки 1, Проверяют цилиндричность наружной поверхности меры, контролируя совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1. После этого наносят пленку 6 во внутренний паз 5 подложки 1 так, чтобы ее поверхность совпадала с внутренней поверхностью подложки 1, Проверяют цилиндричность внутренней поверхности меры. Несовпадение цилиндрических поверхностен допускается в пределах до 17. от толщины пленки и учитывается в аттестате меры толщины пленок, После этих операций мера готова к применению.Проверку и градуировку толщиномеров покрытий с помощью предложенной меры осуществляют следующим образом.Нулевую точку шкалы или показания на табло толщиномера поверяют,устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок 2 наружной поверхности меры толщины пленок.Затем перемещают датчик на участокмеры с пленкой 4, Показания толшино-мера при нахождении датчика на этомучастке сравнивают с аттестованнойтолщиной пленки,При поверке толщиномеров для измерения толщин покрытий на внутренних цилиндрических поверхностях или31430732в трубах датчик поверяемого толщино- Ф о р м у л амера устанавливают на любой участок2 внутренней поверхности меры. Далее Ме.ра толщиустанавливают датчик толщиномера на В 813129, о5участок меры, где имеется пленка 6, что, с цельюВ обоих случаях сравнивают показания ки толщиномертолщиномера с аттестованным значени- подложка выпоем толщины пленки 4 или 6 меры и по ных между собнаибольшей разнице судят о годности 1 О на внутреннейповеряемого толщиномера. выполнен втор изобретения Составитель И,Рекуно Техред А,Кравчук рректор Н,К Редактор А,Маковска 0 Тираж 680 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и от 13035, Москва, Ж, Раушскаяакаэ 5330 Подписита СССР ытиинаб., д, 4/5 к приятие, г, Ужгород, ул ктна Использование изобретения позволяет проводить с высокой точностьюповерку и градуировку толщиномеров, измеряющнх толщины пленок и покрытий на криволинейных поверхностях,оиэводственно-полиграфическо ны пленок по авт.св,т л и ч а ю щ а я с я тем,повышения точности поверов трубчатых изделий,лнена иэ трех сопряженой трубчатых элементов,поверхности подложкиой паз, аттестованный поглубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхность совпадаетс внутренней поверхностью подложки,а пазы образованы сквозными прорезями в наружном и внутреннем элементахподложки.