Мера толщины пленок

(57) ИзобрЛОГИИ И ПРи поверки г к ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ИСАНИЕ ИЗО(71) Таллиннский политехци ТОЛИНЫ ПЛЕНОКетецие относится к 1 етроимецяется для грдпуировкитолщицомеров покрытий. Изобретецие относится к метролоии, а именно к средствам для повери и градуировки средств измерециятолщин пленок и покрытий.Целью изобретеция является повышение точности при поверке вихретоконых толщиномеров с проходными преобразователями,На чертеже схематично представлена предлагаемая мерл толщины пленок,вид спереди.Мера толщины плецок содержит подложку 1 н виде полого цилицдрд, нанаружной и внутренней поверхностяхкоторого имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров покрытий,На наружной поверхности подложки 1выполнен паз, дцо 3 которого удалено от наружной цилиндрической поверх Цель изобретешш - 1 оц 1 пцец 1 е точности при поверке ш 1 хре 1 О 1;Оц 1 хО 11 щ 11 иомеров с прохо 1 цы.я 1 г 1 реобрдзовдтет 1 ями.Мера толщ 1 и 1 ы пленок ц 5 Ос т и 1 д:1 ожку ивиде полого 1 ц 1 лиц; И 1, и: и 1 ужиойповерхцости которыми имгются уцдскидля настройки 1 д ноль то 51 г 111 ио.1 ер и.На цдружцо 1внутрешей иоиерхц.сахпо;510 жки 11.екс 5 /вд пдзд в 1 цп ко:11, -цевых кдцдО 1, доья кот 111 хот поверхностей по 51 лг ж 1;и д и.:ици,",равную требуемой толщ 1 1 ии и 1 и.Пленка згио:1 цяет зт 11 1 д 1, 1,1 , гоЕЕ Сцободцк 1 Е и ИИР 1:"Г К.1 ИГЕрки -сти совид 1 дют сои и 1 . г ил 1 Г идцор 1 или ввутренией 1 ифиии.1 койверхцостью гОтло ки. 1 цости подложки 1 ид це 1 иу иравную требуемой тол 11 ио плецю 1 11 ьпокрытия 4 меры. Плецкд или иок 1 чт 11 и4 запо:шлет пдз тдк, то ее и.ш О.,свободц;1 я ц 11511 идр 1 ес 1;д 5совпадает с идру;-,иой ци.и 1 и.р 1 ческоповерхцост 1,ю полложкн 1. Кроме гог 1,нд внутренней поверхцост. подложкивыполнен второй пдз, Олцорогигыи Госновным, дно 5 которого у;1 длсцо Огвнутренней цилиндрицеской поверхности подложки 1 цд величицу Ь, равную требуемой толщине пленки или покрытия 6 меры. Плецкд или покрытие6 заполняет второй паз тдк, цто ее(или его) свободцдя цилиндричег.кднповерхность сонпдгдег с впутреццейцилиндрической поверхностью подложки 1. Пазы вьп 1 олцецы в виде кольцевьгканавок11 р)че леейне 1)язмеры меры толщины пленок определяются исходя из размеров и характерстик датчиков поеряемгх толщиомеров покрытий, а также исходя из кривизи поверхностей кс итролируемых этими то;гомерлми ие гл:ей,ору иртов) 5 ют с:е уГм Обрл -зом, 1011,брлт ислый Ипр, обрябатывл и его илружиую и внутреннюю поверхс( ги необходимого диаметра, 11 я нлружи(н внутренней поверхности и говэ(г плзы в гиде кольцеых ка и; вок тлким образом, чтобы соблюдал;, т.гиил иочожс 11 в репеллх э-Р . м.раблтывлют цил;и;рические поверх о. т по;ож( 1 и донья 3 и э ил э в ; со-тие г( тг с требованиям 20Оу ков и:ос илрлетрос: . из,о" иих операций глубина сб(.; и,.о и( илирлнлегни радиуса 25 :рзи дои,си 3 э плзсв лттестус.гся с в:сокой точностью, лиример с о.",о ситических методов. 1 лееилиос.я в илръжый илз пе,; 4 тлк, гоб с с иобогнля поверхность сов и;дилл с лружиой цилиндрической поверхностью оложки 1, 11 роверяют цилиндрчиость и;ружиой поверхностимеры, т. с. (рхх поверхностей подложки леих Ь у котролруя э 35 сог(д(.е вориих поверхностей пленкиподло(жки 1. После этого нанос,г стенку 6 во внутренний паз под- ложки 1 тлк чтобы ее свободная повсрхиость совплдалл с внутренней ци лдричсссо поверхностью подложки 1 11 роверяют цл(дричость внутренней поверхност меры, контролируя совпадение поверхности пленки 6 и подложки 1. Несовпадение влиндрических по верхностей допусклегся в пределах +5 мкм и учитыгается в аттестате меры толщины пленок в качестве поправки. 11 оверку и градуировку толщиномеров покрытий с помощью данной меры осуществляют следующим образом, Нулевую точку шкалы поверяют, устанавливая датчик поверяемого тогиомера на любой участок 2 наружной поверхности меры. Зятем перемещают датчик нл участок меры с пленкой (. 11 окязаия голшииомера при нахождении датчика нл этом участке сравнивают с аттестованной толой пленкиПри поверке толщииомеров для измерения толщин покрытий на внутреннихх цлиндрическх поверхностях, датчик поверяемого толщиномеря усталвт нл либой участок 2 внутренней поверхности меры. Далее устанавливают датчк толщиномера ил участок меры, где имеется пленка 6. Срлвилт иокллиня толщиномерл с аттестованим зииенцем толщины 1 пленки меры и по рлзще судят о годности оеряе",о ( толоеряВыолее гдр еского паза ил иаружой и внутренней иоверхности подложки 1 в виде кольцевых каилвок позволяет точнее аттестоватьего глубину, точнее обеспечить совпадение свобогиой поерхости пленкис соответствующей поверхностью мерыи, тем слю, повысить точность атгестлции толгцы пленки нл подложке.Ф о р м у л из о б р е т е н и яМера толщины пленок по авт.св.1( 813129, о т л ии ю щ л я с ятем, что, г. целью повншения точностипри поверке вихретоковых толщииомеров с проходными преобразователями,подложка выполнена в вде полого цилиндра, ня внутренней поверхности которого выполнен второй пазаттестованный по глубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхностьсовпадает с внутренней поверхностьюполого цилиндра, л пазы выполнены ввиде кольценых канавок,1627823 екунова Редактор Ю.Сереи орректор М.щарош ехред М к зводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужг Гагарина, О 1 Заказ 330НИИПИ Государ Тираж 381венного комитета по изобретениям113035, Москва, Ж, Раушская н Подписноеоткрытиям при ГКНТ ССд. 4/5