Мера толщины пленок

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(1) М Кп 3 6 01 В 7/06 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(23 ПриоритетОпубликовано 15,0333 Бюллетень М 10 Дата опубликования описания 150383 72) Авторизобретения Р.К. Лаанеотс Заявитель ллинский полнтехническн(54) ИКРА ТОЛЩИНН ПЛЕН 01Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для по- . верки и.градуировки средств измере- ния толщины покрытий.По.основному авт. св. 9 813129 известна мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настрой-, ки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз,. . аттестованный по глубине, пленка вне сена в упомянутыйпаэ, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки (1).1Недостатком известной меры является то, что она не позволяет проводить поверку и градуировку толщино" меров для замера двухслойных покрытий, например, толщины олова с подслоем меди на стали и аналогичных им, т,е. мера толщины пленок имеет узкую область применения, что ограничивает технологические возможности ее использования.Целью изобретения является расщи рение технологических воэможностей меры толщины пленок.Поставленная цель достигается тем, что в мере толщины пленок, содержащей подложку с участком для настройки толщиномеров. на ноль и пленку,нанесенную на подложку, на верхней.поверхности подложки выполнен паэ,аттестованный по глубине, пленкавнесена в .уйомянутый паз, а ьерхняяповерхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекакхцннся сосновным пазом и имевций глубину,большую последнего, во второй пазнанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза,На фиг. 1 изображена мера толщиныпленок,.внд спереди в сечении;на,фиг. 2 - то же, внд сверху.Мера толщины пленок содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настрой"ки на ноль толщиномеров, как дляоднослойных, так и для двухслойныхпокрытий, и пленку 3. На этой же поверхности подложки 1 выполнен основной паз, дно 4 которого удалено отверхней поВеркности подложки 1 навеличину Ь, равную требуемой толщинепленки 3. Пленка 3 ;,аполняет основной паз так, что ее верхняя поверх- ЗО ность совпадает с верхней поверхно1004748 Формула, изобретения Составитель А, Черны)Техред Е,Харитончик Корректор Н, Корол едактор Н. Горвааказ 1850/49 Тираж 600 Подпис ноеПИ Государственного комитета СССРо делам изобретений,и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ВН 1303 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная 4 стью подложки 1, Кроме того, наповерхности подложки 1 выполнен второй паз, пересекакщийся с основным,прй этом дно 5 второго пазаудаленоот верхней поверхности подложки 1 навеличину Ь + Ь , равную требуемойсуммарной толщийе пленки 3 и подслоя6, который заполняет второй паз так,что его верхняя поверхность совпадает с поверхностью дна 4 основногопаза.Прочие размеры меры определяютсяисходя из размеров измерительных головок толщиномеров,При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 донья 4 и 5 пересекающихся пазов доводят до высОкого класса шероховатости, что.позволяет с высокой точностью аттестоватьих глубину, например, интерференционным способом.После нанесения подслоя 6 во второй паз, проверяют плоскостностьповерхности дна 4 основного паза иверхней поверхности подслоя б, .добиваясь их совпадения. Затем наносятв основной паз пленку (покрытие) 3 итакже проверявт плоскостность верхней поверхности подложки 1, чтобыобеспечить .совпадение верхних поверхностей пленки 3 и подложки 1.)Поверку и градуировку толщиномеРов двухслойных покрытий выполняютс помощью комплекта мер с различнойтолщиной подслоя 6 и пленки 3,Нулевую точку шкалы толщиномераповеряют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок2 меры толщины пленок, затем перемещают датчик на участок с двухслойным покрытием, состоящим иэ пленки 3 иподслоя б. Показания толщиномерасравнивают с аттестованной толщинойпокрытия.Устанавливая датчик толщиномерана участок меры, где имеется покрытие, состоящее иэ пленки 3 без подслоя б, проводят поверку (градуировку) толщиномера для однослойного покрытия.10 Комплектомер позволяет поверитьхарактеристику толщиномера в различных точках.Преимуществом предлагаемой мерытолщины пленок является расширение 15. технологическик воэможностей, таккак она прзволяет проводнть поверкуи градуировку толщиномеров как дляоднослойных, так и для двухслойныхпокрытий.20 Мера толщины пленок по авт. св,Р 813129 о тл и ч а ю щ а я с ятем, что, с целью расширения технологических возможностей, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекающийся с основным пазом и имеющий глубину,большую последнего, во второй пазнанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 813129, кл. 0 01 В 7/06, 1981 (прототип)г