Испаритель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
пп 46 И 64 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикд-ву387050 2) Заявлено 14.11.72 (21) 1845637/22-1с присоединением заявки3) Приоритетпубликовано 25.02.75, Бюллетень7 51) М. Кл. С 23 с 13 сударственный комите Совета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий 53) УДК 621.793,14.(54) ИСПАРИТЕЛЬ лодочкирабочая глублений секция 2 м соосно с ее кромок. материала, а боковых в может быть р печения загрузк ых материало ренин порошко азличным: т расплавили неых сублиКреплен секции 2 п 20 ной шири эквипотен испарител Ширина щирины с 25 от цели п мирующих лее узкимпе экранов озволяет пр ны, так как циальны при 3 к ооковым стенкам менять экраны различточки подсоединения протекании тока через ь.ограничител екций 2 и выб рименения и ся веществ э и, так как и вдоль реберае экраны 3 в секциях исп ных экранов 3 меньше ирается в зависимости спарителя. Для субликраны выполняют боспарение происходит в очленения секций 2. В лужат для удержания арителя. основном этом слу 0 вещества) Дополнительное к авт, с Дата опубликования описани Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения качественных пленок сложного физико-механического состава при изготовлении различных микроэлекцронных устройств при вакуумном напылении материалов.Известен пспаритель типа лодочка, выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которого имеет секции в виде углублений для испаряемых металлов. Однако из известного испарителя выбрасываются части испаряемого материала при испарении с большими скоростями сублимирующихся веществ.Кроме того, подобные испарители при получении пленок сплавного характера не обеспечивают их высокого качества в случае испарения нескольких исходных материалов с близкими температурами испарения, загружаемых в соседние секции испарителя, испаряющихся из жидкой фазы, за счет недостаточного перемещения паров.Цель изобретения - повышение однородности многокомпонентного покрытия путем перемешивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении. Поставленная цель достигается тем, что каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов. На фиг, 1 и 2 изображен предлагаемый псп зритель,Испаритель 1 выполнен в видеиз листового тугоплавкого металлачасть его имеет секции 2 в виде удля испаряемых металлов. Каждаяснабжена экраном 3, установленнысекцией и с зазором относительноЭкраны 3 выполнены из того же ьчто и испаритель 1 и закреплены нстенках секций 2.Крепление экраноразъемным для обесляющихся испаряем вразъемным при испавмирующихся веществ.461164 Для веществ, испаряющихся из расплава 4, их делают более, широкими, так как они служат для формирования направления истечения паров из секций 2.Предмет изобретенияИспаритель по авт. св.387050, отл ич аю щ и й с я тем, что, с целью повышения одноФиг. 1 1гг( фиг. 2 Составитель Л. АнисимоваТехред Т. Миронова Корректоры; А, Николаева и Л, Корогодзнецова кт Тираж 966комитета Совета Министров ССретений и открытийРаушская наб., д. 4/5 Подписи Заказ 842/10ЦНИ р. Сапунова, 2 ипогр Изд.443 Государственног по делам из Москва, Жт фродности многокомпонентного покрытия путем перемешивания паров отдельных компонентов и устранения выброса кусков вещества при испарении, каждая секция снабжена экраном, установленным соосно с секцией и с зазором относительно ее бортов.
СмотретьЗаявка
1845637, 14.11.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6500
КУРИЛИН ГЕОРГИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ, ЛИСОВ АЛЬБЕРТ ФЕДОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: испаритель
Опубликовано: 25.02.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-461164-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель</a>
Предыдущий патент: Испаритель металла в вакууме
Следующий патент: Способ нанесения изоляционных покрытий
Случайный патент: Устройство для загрузки твердых материалов в напорный трубопровод гидротранспортнойустановки