Устройство для контроля тонкопленочных элементов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик089 26 Государствеииый комитет Совета Министров СССР по делам изобретений(бЗ) УДК 621,317 332 3(088 8 ликовано 05,10 юллетень 3 ткрытии Дата опубликования описания 05.08,75(71) Заявите механический институт евс(5 УСТРОИСТВО ДТОНКОПЛЕНОЧНЫ КОНТРОЛЯЭЛЕМЕНТОВ инта 1 ва кронштейна 1 О напы) Заявлено 13,02,73 (21присоединением заявки М Изобретение относится к микроэлектрониИзвестны устроиства для контроля тонкопленочных элементов, например резисторов, в процессе их вакуумного напыления, содержащие закрепленные в стойке подпру- жиненные контакты и блк измерения.Цель изобретения - повышение надежности и точности устройства - достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено дополнительной парой пружинныхкон% тактов, каждый из которых механически связан с закрепленными в стойке подпружиненными контактами и электрически изолироваи от них.На чертеже приведено устройство для контроля тонкопленочных элементов,На основании 1 расположены две стойки 2 и 3 из изоляционного материала, на каждой из которых закреплено по два пружинных контакта 4, 5 и 6, 7, две соединительные планки 8 и 9 из изоляционного материала, каждая из которых механическискрепляет попарно пружинные контакты 6,7 и 4, 5 соответственно, два микрометрическнх в 0 и 11, д 2 и 13.Устройство работает следующим образом. При открытой вакуумной камере на расположенное в ней основание 1 помещают подложку 14 с заранее напыленными контактными площадками 15 и 16, Переключатель 17, соединенный с прибором 18 контроля контактов, ставят в положение а. При этом тумблер 19 разомкнут, Микро- метрическим винтом 10 регулируют давление на пружинные контакты 6 и 7 через соединительную планку 8 до тех пор, пока контакты не прикоснутся к контактной площадке 15. Момент возникновения контакта и величина переходного контактного сопротивления регистрируются прибором 18.После возникновения контакта тумблер 19 замыкается, переключатель 17 переводигся в положение Ю, и все операции настройки для правой пары пружинных контактов выполняются в такой же последовательности, как и для левой пары,Весь блок измерения, состобора 18, измерителя сопротивл1 ад М 3 Раж 76 одпнсное 1 Ш 1 осударственного комитета Спо делам изобретений и о Москва, 113035, Раушская вета Министров СССкрмтийнаб., 4 Предприятие Патент, Москва, Г 59, Бережковская наб., 24 ляемой пленки 20, переключателя 17 итумблеров 19 и 21, располагается за пределами вакуумной камеры. Предмет изобретения Устройство дж контроля тонкопленочных элементов, например резисторов, в процессе их вакуумного напыления, содержащее закрепленные в стойке подпружиненные контакты и блок измерения, о т л ичающееся тем, что,сцельюповышения его надежности и точности, оноснабжено дополнительной парой пружинныхконтактов, каждый из которых механически связан с закреппенными в стойке подпружиненными контактами и электрическиизолирован от них,
СмотретьЗаявка
1882089, 13.02.1973
ИЖЕВСКИЙ МЕХАНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
ЖАРАВИН АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, СТЕРХОВ ВИТАЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ТОКАРЕВ НИКОЛАЙ ДМИТРИЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01C 17/00
Метки: тонкопленочных, элементов
Опубликовано: 05.10.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-445930-ustrojjstvo-dlya-kontrolya-tonkoplenochnykh-ehlementov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для контроля тонкопленочных элементов</a>
Предыдущий патент: Установка для изготовления эмалированных проводов
Следующий патент: Автомат для сборки сердечников магнитопроводов
Случайный патент: Способ вертикальной сварки