Графитовый нагреватель подложек
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(11), 444834 Союз Советских Сокиалистицеских Реслублик61) Зависимое от ав видетельств) Заявлено 27, 07.73 (21950100/26(51 П л явк присоединени Гасударственньа канатет Совета Мкнкстреа ССС аа делан кэабретекке и стерней(71 Заявител ПОДЛОЖЕК ФИТОВЫЙ ГАГР ной с тины 1 Участки пластины, прилегающие5 к токопроводам, дополйительно охлаждаются последними, но потеритепла через токопроводы компенсируются выделением относительно большего количества тепла на участках1 о с .отверстиями, чем на остальныхучастках пластины. Это объясняетсятем, что участки йластины с отверстиями имеют большее погонное сопротивление, чем остальные участки,д в то время как через все участкипластины проходит один и тот жеэлектрический ток,При соответствующем выбореразмеров и количества отверстий приопределенном токе,обуславливающемтребуемую температуру, может бытьобеспечена изотермичность практически всей площади нагревателя.Этопозволяет существенно повыситьвроизводительность вакуумной устаноаки; Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано.для нагревания подложек микросхем.Известные графитовые нагреватели подложек, выполненные в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами, имеют изотермическую зону, площадь которой существенно меньше общей площади нагревателя, и, следовательно, не позволяет с мшксимальной эффективностью использовать вакуумные установки,Цель изобретения - расширение изотериической зоны нагревателя.Это достигается тем, что в теле пластины на участках, прилегаацих к токопроводам, выйолнены отверстия, поперечное сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой температурой нагрева.На чертеже изображен предлагаемый нагреватель, общий вид.Нагреватель вйполнен в виде пластины 1, электрически соединен 2проводами 2 Л телв пласолнены отверстия 3.444834 Составнтелн ВКРИСКОВ техрап екиррекюор н Д я и иа Е и " И.Орлова Заказ ДО зд. М ЯфНИППИосударственного комнтета Совета Мнннсров СССРно делам нзобретеннй н открытийМосква, 3035, Раушскан наб., 4 1 прак 8 т 5 Подписное Предпрнятне Пагент, Москва, Г.59, Бережковская наб., 24 ПРРДМЕТ ИЗОБРЕТЖНИЯГрафитовый нагреватель подложек, выполненный в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами, отличающийся тем, что, с целью расширения изотермической зоны нагревателя, в теле пластины на участках, прилегающих к токопроводам, выполнены отверстия, поперечное сечение и количество которыхвыбраны в соответствии с требуемой 5 температурой нагрева.
СмотретьЗаявка
1950100, 27.07.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3562
СЕДЫХ АНАТОЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ, СИДОРОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: графитовый, нагреватель, подложек
Опубликовано: 30.09.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-444834-grafitovyjj-nagrevatel-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Графитовый нагреватель подложек</a>
Способ изготовления ферритовых пластин и других деталей с отверстиями, идущими в различных направлениях
Номер патента: 139773
Опубликовано: 01.01.1961
Автор: Бродолин
МПК: B22D 17/00, B22D 19/02
Метки: других, идущими, направлениях, отверстиями, пластин, различных, ферритовых
...еп 1111 ь 1 г 1 г 1:а 1111 ь 1:11 шггяпп. 1111 о(11:1 обычпуп) торпообрабкугп;. соотчаю:цпзхпъ 11 ьуц 1 гоп 11.111 1111111": хиппи фот рптъг Прп этом капроп выпи 1 т:11 в;гггя. 22 111% его посте :ж 1221 т 111 г.г 1:1:111 п отверстия.ГРСЬЧЕ 1 ЛЗСМ 1 П.Ж СПОСОЙОЧ УСМКНО ЛШСЕУЧНТЬ ЦМ 11 П 1 ОН 1 К ЕВДДСНН ЕСН х 1(Ч 2 ННЧ(КИХ СХЕМ Н ЗНПОННННННЦНХ Д"ГОН("ГВ С О 1 ВС 1 С 1111 Н:111 г 11 ег рои попок 0.1 пм 11 Чсхппоп 11 11 ос 1 з;111 (ЦЕГГНМОРМОН."г;1 э 11 п. 115151111111111 В рг 1:1.111 ч 11 г 1. 11211112111:1 о 111:ях. отд 1111 п 1 о 1111111 сэ 1 токи что. с пслыо 31111101110111151 11 11 повц 1 о 1111 я 1111 о 1131 з 1 сг 1 з 21. 111111 х 1 с 11 е 11 ь 1 3111111. 11 г 1111 п 1 мср. 113 капрона. 1 ог 1111= 11 патяпутогп Состоянии в П 1 СС(-(1...
Система электроснабжения участков сложнозамкнутых электрических сетей (сзс) низкого напряжения
Номер патента: 1157611
Опубликовано: 23.05.1985
Автор: Фокин
МПК: H02J 3/00
Метки: низкого, сетей, сзс, сложнозамкнутых, участков, электрических, электроснабжения
...шин, соединенные нормально отключенным выключателем 7,оборудованным АВР. Линии .8 и 9 присоединены к секции шин 10, выключатель 3 установлен в линии, питающейсекции шин 10. Выключатель 11 соединяет секции шин 10 и 12 и нормально включен, Линии 8 и 9 присоединены к секции шин 1.0 и питают различные участки СЗС, выключатели 11 и 13и линии 14 и 15 присоединены к секции 12 и питают те же участки СЗС,что и линии 8 и 9. Линии 16 и 17присоединены к секции шин 18, линии 16 и 17 питают те же участки СЗС,что и линии 8 и 9, Выключатели 11и 13 нормально включены, выключатель 7 нормально отключен и оборудован устройством АВР. Выключатели 19и 20 секционируют вторую системушин аналогично выключателям 11 и 13.Схема работает следующим образом.При...
Устройство для токовой защиты участка трехфазной электрической сети
Номер патента: 1310937
Опубликовано: 15.05.1987
Авторы: Зисман, Митрофанов
МПК: H02H 3/08
Метки: защиты, сети, токовой, трехфазной, участка, электрической
...пороговогоблока 14, последний срабатывает ичерез элемент ИЛИ 18 подает сигнална исполнительный блок 19, обеспечивающий подачу сигнала отключениявыключателя участка сети.При однофазных к.з. ток нулевойпоследовательности больше, чем придвухфазных к.з. на землю, если отношение результирующих сопротивленийнулевой и прямой последовательностейбольше "1". Для воздушных линий указанное соотношение больше двух.При таком условии большая уставка 40блока 16 выбирается исходя из отстройки от тока нулевой последовательности при однофазном к.з. в конце защищаемого участка, а меньшаяуставка - при двухфазном к.з. на 45землю в той же точке,Аварийные составляющие разностей фазных токов выделяются следующим образом. Переменные напряжения с выхо дов трех...
Способ защиты участка распределительной электрической сети и его присоединений от коротких замыканий
Номер патента: 1367091
Опубликовано: 15.01.1988
Авторы: Михайлов, Проус, Темирев
МПК: H02H 7/22
Метки: замыканий, защиты, коротких, присоединений, распределительной, сети, участка, электрической
...производной тока3в 3-ем присоединении,близка к нулю, что фиксируется на выходе схемы 4 сравнения поврежденногоприсоединения. При этом, на выходахсхем сравнения остальных (неповрежденных) присоединений сигналы отлич- .ны от нуля. Срабатывает реле 5 минимального напряжения только поврежденного присоединения, и при превышениисигнала с выхода преобразователя ток -напряжение поврежденного присоединения уставки реагирующего органа 6 последний срабатывает. Одновременноесрабатывание соответствующих реле 5и органа 6 приводит,к срабатываниюконъюнктораповрежденного присоединения,что приводит к .отключениюавтоматического выключателя Аз,При коротком замыкании на сборныхшинах (точка К на фиг, 1) на выходахвсех реле 5 минимального...
Способ защиты участков силового электрического кабеля
Номер патента: 1653048
Опубликовано: 30.05.1991
Авторы: Аренс, Басишвили, Григорьян, Михайлов, Моргунов, Некрасова
Метки: защиты, кабеля, силового, участков, электрического
...х 10 на номинальное напряжение 6 кВ с использованием защитных трубок.Выполняют разделку конца кабеля, На концевые участки трубок с внутренним диаметром 14 мм, толщиной стенки 1,2 мм и длиной 200 мм из композиции на основе диметилфенилвинилсилоксанавого каучука надевают кольца с вкутрекким диаметром 16 мм, толщиной стенки 1,2 мм и длиной 14 мм, выполненные из тай же композиции. Трубки с надетыми на ких кольцами полностью погружают в бензин марки "Галоша" и выдерживают в нем в течение 15 мик. После выдержки в бензине внутренний диаметр полученной заготовки увеличивается посередине ее да 21,5 мм, а у торцов ее концевых участков - да 20 мм, Сразу же после извлечения из бензина в полученную заготовку через ее концевые участки вводят жилу...
Предыдущий патент: Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Следующий патент: Устройство для определения склонности металла к наводораживанию
Случайный патент: Устройство для слива жидкостей из транспортных средств