Твердотельный генератор низких частот

/О НИЯ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ омби- . поы име- еталим кон ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬТИ(46) 07,10,83 . Бюл. % 37 (72) С, Г. Калашников, Б, В. Корнилов, Ю. И. Завадский и И. В. Карпова (71) Ордена Трудового Красного Знамени институт радиотехники и электроники АН СССР(54)(57) 1. ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ГЕНЕРАТОР НИЗКИХ ЧАСТОТ на основе полупроводниковой пластины, имеющей два кон-такта и область, в которой реализованы условия для возникновения колебаний электроннодырочной плазмы типа рек национных волн, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью управления частотой и амплитудой генерируемых олебаний и снижения порогового напряжения, на верхности полупроводниковой пластин ется изолятор, на который нанесен м лический слой, служащий управляк)щ тактом.2, Генератор по п, 1, отличающ и й с я тем, что, изолятор выполнен из оясла иа кремниевой пластине и-типа проводимостью 5 10 Ом смкомпенсированной цинком.Репактор Орловская Техреп А.Бабинеп Корректор А, Повх Заказ 7991/1 Тираж 703 П опписное ВНИИПИ Госупарственного комитета СССР по пелам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., п, 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгороп, ул. Проектная, 4 1 4392Изобретение относится к электроннойтехнике и электронике.Известный твердотельный генераторработает на основе воэбужпения рекомбинационных волн в полупровопниковомматериалелегированном опреаеленным., образом.В препложенном генераторе на поверх ности ПОлупровопниковой пластины им 9 фФется изолятор, на который нанесен металлический слой, Этим снижается величина напряжения, начиная с которого воэбужпаются колебания в МЙП-структуре,Кроме того, при такой конструкции можно менять в некоторой полосе частоту 15генерируемых колебаний и их амплитупу,изменяя напряжение, приложенное к ввепенному третьему электропу. Нанесеннаяна поверхность полупровопника пленкадиэлектрика защищает прибор от внешних 20воздействий и стабилизирует его работу.В препложенном генераторе обеспеченавозможность управления характеристиками тока (амплитудой, частотой) с по-мощью напряжения смещения, приклапывае мого к металлическому контакту, расположенному на слое окисла, нанесенного наповерхность полупровопника,Препложенный генератор низкочастотных колебаний изображен на чертеже. З 0Генератор прецставляет собой МЙПструктуру на основе пластины 1 кремния0 -типа, легированной таким образом,чтобы в некоторой ее области выполнялись условия воэбужпения рекомбинацион- з35ных волн, Йля получения такой областикремний 1 -типа компенсируют цо упельного сопротивления, большего или равного 5 10 Ом, см.На пластине кремния, компенсированной цинком, выполнено пва алюминиевых 55 гконтакта 2 и 3 (аноп и катоп). На них подается постоянное напряжение от батареи смещения 1 5 В. Расстояние между этими контактами поряпка активной области (100 мк). Управляющий контакт 4 отпелен отполупровопниковой пластины слоем окисла 5,Йля получения МПЙ-структуры изготовляют пластину кремния 11 -типа компенсированную цинком в которой при комнатной температуре наблюпаются авто- колебания тока, связанные с возникновением рекомбинационных волн. Затем после электрохимической обработки поверхности на ней нри низкой температуре (Т 4 650 С)О наращивают окисел толщиной о 1 =0,2 мкм Области металлизации /2, 3, 4/ фон. мируют при низкой температуре фотолитографией, К областям металлиэации припаивают при низкой температуре (Т 4; 400 С) алюминиевые контакты в форме проволоки диаметром д =20 мкм. Готовые пластины размером 1 х 1 мм2 монтируют на пержателях, которые закрывают колпачками и герметизируют. Генераторы на основе МЙП-структурыимеют такие характеристики: областьчастоты 40-400 Гц, рабочие напряжения1 5 В, амплитупа генерируемых синусоипальных колебаний 0,5-50 мв. Частотаавтоколебаний под действием напряженияна третьем контакте (1 5 В) изменяется более чем на 10%, Амплитупу колебаний можно изменять более .чем в 10 раз.Препложенный генератор технологичен, так как ля его изготовления применяются основанные в электронной промышленности метопы планарной технологии,Генератор работает при низких рабочихнапряжениях 1-5 В,