Установка для изготовления фотошаблонов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскил(22) Заявлено 2.72 (21) 1745191/18-10 присоединением заявки Ъе сударствемныи комиеоввта Иимистров СССРпо делам изобретемий 32) Приоритет -Опубликовано 15 УДК 531.715.27.05,74, Бюллетень М 18 открыт ания описания 2 о.С 3,75 та опублик Авторыи зоб р ете ноя я С. А, Забузов, Д. В. Тигин и Г. К. Ульянонградский институт авиационного приборос(71) Заявител ия 54) УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕ ФОТОШАБЛОНОВ кий ква имер, ти о 3 служ пучка. С спомога бразуют в расход может птель- лазе 5 форектпвылучеи е зертовыи генератор 4, па ЛГ, Светодел ит для деления луча помощью зеркалательный пучок. Объпараллельный пучокящийся. Сферческо ражение на эоране Оптичес быть, напр ное зеркал ра на два мируется в б и 7 прео от лазера кало 9 стр1Изобретение относится к области приборостроения и может быть, применено в производстве ультразвуковых линий задержки дисперсионного и недисперсионного тлпов, а также полосовых фильтров на поверхностных волнах.Известны интерференционные установки для изготовления фотошаблонов, содержащие оптический квантовый генератор, полупрозрачное зеркало, объектив опорного канала и сферическое вогнутое зеркало.Предлагаемая установка отличается от известной тем, что во вспомогательном канале установлены совместно перемещающиеся в направлении, перпендикулярном оси опорного канала, плоское зеркало и объектив, при этом объектив установлен перемсщаощимся в направлении, параллельном оси опорного канала,Такое выполнение установки позволяет повысить точность изгэтовледия фотошаблопов,На чертеже изображена схема предлагаемой установки, включающей экран 1 для фотопластиоки, четвертьволновую пластинку 2, полупрозрачное делительное зеркало 3, оптический квантовый генератор 4, плоское зеркало 5, объективов б опорного канала, объектив 7 вспомогательного канала, миороаетрический механизм 8, сферическое вогнутое зеркало 9. 1 о В плоскости экрана 1 крепят фотопластинку (на чертеже не показана). Луч света генератора 4 делится зеркалом 3 на два когерентных пучка: опорный и вспомогательный.Плоокое зеркалэ 5 и объектив 7 укреплены 5на микрометрическом механизме 8, который одновременно перемещает зеркало 5 и объектив 7 так, что вспомогательный пучок остается параллельным опорному. Кроме того, объектив 7 установлен с возмэжностью перемещения в направлении, параллельном оси опорного пучка. В задней фокальной плоскости сферического зеркала 9 опорный световой пучок формирует плоскую световую волну в пределах апертуры устройства. В зависимости от положения объектива 7 по отношению к передней фокальной плоскости зеркала 9 формируется световая волна со сферических фронтом, кривизна которого и определяется положением объектива 7, наклон фронта по отношению к фронту плоской волны опреде428351 Предмет изобретения Составитель В. Ванториндактор И. Шубина Текред А. Камышннкова Корректор В. Гут Подписнов СССР раж 506ета Минисрытнй, д. 4/5 Изд. Мо 1607 Тгсударственного комитета Совпо делам изобретений н откМосква, Ж, Раушская наб Заказ 66/387ЦНИ Тип, Харьк. фил. пред. Патент ляется положением плоского зеркала 5 относительно опорного светового пучка,В результате интерференции плоской исферической световых волн в задней фокальной плоскости зеркала 9 формируется изображение с постоянной шириной, штрихов по всейдлине преобразователя,Смещением плоского зеркала 5 и объектива 7 можно плавно в широких пределах изменять ширину штрихов, а следовательно, параметры изготавливаемых фотошаблонов, Повторная засветка фотошаблона при введении вопорный пучок четвертьволновой пластинкипри соответствующем диафрагмировании фотопластинки и правильном выборе режимов 15обработки фотоматериалов позволяет получить фотошаблоны для многоэлементных преобразователей двухфазного типа.Таким образом, в предлагаемой установкеосуществлена возможность плавного изменения угла наклона вспомогательного пучка поотношению к опорному и кривизны его волнового фронта, что позволяет изготовлять фотошаблоны для дисперсионных устройств наультразвуковых поверхностных волнах (УПВ) 25на различные параметры. Изображение фотошаблона представляет собой чередующиесятемные и светлые полосы параллельные другдругу, причем,расстояние между штрихамиизменяется по ивадратичному закону, это 30 соответствует линейному изменению времени групповой задержки в зависимости от частоты подаваемого сигнала в дисперсионных устройствах на УПВ, Изображение неэквидистантного решетчатого преобразователя получается сразу целиком, причем относительная ширина штриха, т. е. отношение ширины штриха к промежутку, оказывается постоянной по всей длине преобразователя, что является одним из основных требований, предьявляемых к фотошаблонам для дисперсионных устройств на УПВ. Установка для изготовления фотошаблонов, содериащая оптический кванто 1 вый генератор, полупрозрачное зеркало, установленное на общей оси опорного и вспомогательного каналов, объектив опорного канала и сферическое вогнутое зеркало, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления фотошаблонов, во вспомогательном канале установлены совместно перемещающиеся в направлении, перпендикулярном оси опорного канала, плоское зеркало и объектив, при этом объектив установлен перемегцающимся в направлении, параллельном оси опорного канала.