Смазочно-охлаждающая жидкостьдля полирования полупроводниковыхматериалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 420655
Авторы: Изобретени, Кузнецов, Мовшиц, Москаленко, Песоцкий, Спектор, Турчанинов
Текст
П ИСА НИ ОБРЕТЕН И 0 420655 Союз СоветскиоциалистицескихРеспубттик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М. Кл. С 10 пт 3/16 рисоединением заявкисударствеииыи комитетавета Мииистрав СССРпа делам изааретеиийи открытий(54) СМАЗОЧНО-ОХЛАЖДАЮЩАЯ Ж ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДМАТЕРИАЛОВ ОСТЪ ОВЫХ Изобретение относится к обработке поверхности полупроводниковых материалов, в частности к смазочно-охлаждающим жидкостям, используемым при полировке алмазными пастами полуйроводниковых материалов,Известно применение при обработке поверхности полупроводниковых материалов алмазными пастами в качестве смазывающе-охлаждающей жидкости (СОЖ) этилового спирта.Применяемые СОЖ имеют ряд недостатков, т. к. этиловый спирт обладает недостаточным смазывающим свойством. Кроме того, процесс полировки с применением СОЖ является чисто механическим.Предлагается смазывающе-охлаждающая жидкость на основе этилового спирта с добавлением воды и глицерина, а также с введением едкой щелочи до рН 10 - 15.Целесообразно использовать умягченную воду.Этиловый спирт и ионно-очищенная вода обеспечивают отвод тепла и унос отходов шлифования из зоны обработки, глицерин осуществляет смазку в зоне обработки. Испытания показали, что максимальныйудельный съем при полировке монокристаллического кремния достигается при использовании СОЖ следующего состава (в об, %): этиловый спирт 55; вода 35, глицерин 10, КОН(1 ЧаОН) до рН 10 - 12,5.СОЖ приготавливают следующим образом.В приемный бункер механического смесителя емкостью 1,5 л заливают 350 мл воды0 (удельное сопротивление более 1 Мгом) и добавляют 55 мл этилового спирта. После тщательного перемешивания в течение 2 - 3 мин в смеситель добавляют 10 мл глицерина с последующим перемешиванием в течение 3 - 5 мин. По окончании перемешивания СОЖ доводят до рН 10 - 12,5 добавлением концентрированной щелочи.В качестве полировальника (при полировкемонокристаллических пластин кремния) ис 0 пользуют синтетическую замшу. Число оборотов полировальпика 50 - 55 об/мин, а удельное давление 60 - 80 г/см.Процесс полирования ведется следующимобразом.5 Замшевый полировальник перед использованием обильно смачивают водой, после чего на него устанавливают оправки с пластинами.СОЖ подают на полировальник с помощью капельницы со скоростью 25 - 30 капель в ми нуту Состав СЭтиловый спиртГлицеринВодаЩелочь об. % 50 - 6 10 - 1до 100 до рН 10 - 1. Засецкий, А. С. Кузнецов, А, И. Москаленко, Б. И. Мовшиц, С, Л. Спектор, Ю, Н. Турчанинов и Г. С, Песоцкий Завод чистых металлов3Этиловый спирт и умягченная вода обеспечивают отвод тепла и унос отходов шлифования из зоны отработки, глицерин повышает смазочные свойства, Добавление едкой щелочи придает СО% химическую активность, увеличивая скорость съема материала в единицу времени.Применение этой СОК позволяет повысить чистоту обработки поверхности полупроводниковых материалов, увеличить выход в готовую продукцию, сократить время и уменьшить расход алмазных паст на обработку единицы продукции. 420655 Предмет изобретенияСмазочно-охлаждающая жидкость для полирования полупроводниковых материалов на основе этилового спирта, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения смазочных свойств жидкости, в ее состав введены глицерин и вода с добавлением щелочи до рН 10 - 15 при следующем соотношении компонен 1 о тов, об. о/о.Этиловый спирт 50 - 60 Глицерин 10 - 15 Вода до 100Заказ 2138/5 Изд.707 Тираж 537 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1754807, 29.02.1972
изобретени Э. П. Засецкий, А. С. Кузнецов, А. И. Москаленко, Б. И. Мовшиц, С. Л. Спектор, Ю. Н. Турчанинов, Г. С. Песоцкий
МПК / Метки
МПК: C10M 173/02
Метки: жидкостьдля, полирования, полупроводниковыхматериалов, смазочно-охлаждающая
Опубликовано: 25.03.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-420655-smazochno-okhlazhdayushhaya-zhidkostdlya-polirovaniya-poluprovodnikovykhmaterialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Смазочно-охлаждающая жидкостьдля полирования полупроводниковыхматериалов</a>
Способ изготовления мягкой эластичней емкости (тары) для хранения и транспортирования питьевой воды, жидких пищевых продуктов, а также кислот, щелочей и других агрессивных сред
Номер патента: 147753
Опубликовано: 01.01.1962
Авторы: Двейрин, Колпачев, Раевский, Хрущев, Штейнберг
МПК: B29C 65/50, B29C 65/58, B29D 22/00, B65D 88/16
Метки: агрессивных, воды, других, емкости, жидких, кислот, мягкой, питьевой, пищевых, продуктов, сред, также, тары, транспортирования, хранения, щелочей, эластичней
...полиэтиленовым покрытием внутренней стороны, вырабатываемого известным методом; такой материал состоит из следующих слоев;резиновый слой (наружный) каркасный слой из текстиля, резиновый слой (внутренний) и полиэтиленовое покрытие.Из полотнищ 1, число которых зависит от ширины материала и размеров изготовляемой емкости, последнюю собирают следующим путем.Полотнища 1, обращенные полиэтиленовым покрытием 2 внутрь изготовляемой емкости, устанавливают кромками в стык одно к другому. С наружной стороны полотнищ 1 по месту стыка кромок (шва емкости) приклеивают прорезиненную ленту 3 посоедством растворимой в бензине пасты, приготовленной на основе смеси полиэтилена с полиизобутиленом и содержащей канифоль. Лента 3 является элементом,...
Способ изготовления отрицательного и положительного электродов охлаждающего полупроводникового термоэлемента
Номер патента: 128520
Опубликовано: 01.01.1960
МПК: H01L 35/34
Метки: отрицательного, охлаждающего, положительного, полупроводникового, термоэлемента, электродов
...прессования. ения дмет изо ельного электродов на основе теллурпщи йся тем что а) пресс-форме, а й тер моо бр а ботке в изготовления отрицательного го полупроводникового терм ений путем прессования, производится в холодной 1 б ые электроды подвергаются п и положитоэлементатличаюз подогревоследующ Спосооохлаждающстых саедпрессованиотпрессовавакууме,Предлагаемый способ отличается от известных тем, что прессование производится в холодной (без подогрева) пресс-форме, а отпрессованные электроды подвергаются последующей термообработке в вакууме.Применение такого способа упрощает технологический процесс изготовления электродов и позволяет получать электроды, обладающие более высокими техническими свойствами.Согласно предлагаемому способу...
Устройство для улавливания паров спирта из углекислого газа, выделяющегося в процессе получения спирта
Номер патента: 137484
Опубликовано: 01.01.1961
Автор: Тарарыков
МПК: C12F 3/04
Метки: выделяющегося, газа, паров, процессе, спирта, углекислого, улавливания
...нижней 3 решеткам оложенной иеиду этими ре ткой 2 смонтирован цилин плены несколько горизон переливные для воды трубь фективности донны межтов, омыВаееткой трубтри которо- расположен м колпаком137484ху цилиндрическим колпаком 8 труба 9 для перемещения углекислого газа.Углекислый газ, содержащий пары спирта, поступает в колонну 1 снизу, проходит через распределительный барботер 10, поднимается вверх через систему трубчатых элементов 4, трубу 9, попадает далее под колпак 8, оттуда через слой воды и сита 6 выходит в полость под верхней стенкой насадка 5 и отсасывается из нее через патрубок 11.Вода, предназначенная для поглощения паров спирта, поступает вначале в верхнюю часть колонны 1 - в насадок 5, При пропускании через нее углекислого...
Способ количественного определения хлорхолинхлорида
Номер патента: 767639
Опубликовано: 30.09.1980
Авторы: Блиновский, Розина, Тучков
МПК: G01N 31/08
Метки: количественного, хлорхолинхлорида
...построенному по результатам Фотоколориметрирования хроматограмм стандартных растворов чистогоХФ.Градуировочный (калибровочный) график строят следующим образом.На аналитических весах взвешивают 1 г хлорхолинхлорида с точностью до 0,01 г. Навеску переносят в мерную колбу на 200 мл и растворяют в 1-ной соляной. кислоте. Объем доводят до метки. С помощью бюретки переносят в 4 мерные колбы на 100 мл соответственно 1, 4, 7 и 10 мл полученного стандартного раствора ХХХ и разбавляют до 100 мл дистиллированной водой.50 г катионитовой смолы типа Ку-8 разматывают на шаровой мельнице и просеивают через сито с отверстиями 0,1 мм, 40 г измельченной смолы переносят в коническую колбу на 250 мл,заливают 100 мл О, 1 н. МаОН и взбалтывают 1 ч. Затем...
Питательная среда для выращивания гусениц тутового шелкопряда
Номер патента: 1546032
Опубликовано: 28.02.1990
Авторы: Клесов, Мадьяров, Муминов, Насириллаев
МПК: A01K 67/04
Метки: выращивания, гусениц, питательная, среда, тутового, шелкопряда
...гидролизе сахароэы в пищеварительном процессе образуется глюкоза и фруктоэа, у"нонгмость последней значительно ниже, чем глюкозы, тогда как при замене сахаровы в диеты добавляются гидролизаты, в основном содержашие гпюкозу. При полной замене сахарозы на гидродизаты показатели несколько снижаются иэ-за присутствия в них сопутствующих-отпугивающих веществ, Однако, как видноиэ примера 2, полную замену сахароэыв рецептах питательных сред для гусениц мпадших возрастов можно использовать при комбинированной технологии выкормки, т.е. 1-111 возраста искусственной питательной средой, далее 17 и Ч возраста - листьями шелковицы. Эта технология является наиболее приемлемой при внедрении в шелководческие хозяйства. Лучшие результаты получают при...
Следующий патент: Способ очистки сточных вод мыловаренногопроизводства
Случайный патент: Жалюзийное решето