Интерференционный способ излерения линейных размеров образцовых оптических деталей

О П И С А Н И Е 14197 ЯИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(21) 1819014,/25-2 2) Заявлено 10.08,7 с присоединением заявкеи-осударственныи комитет Совета Министров СССР по делам изобретенийн открытий(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ОБРАЗЦОВЫХ ОПТИЧЕСКИХДЕТАЛЕЙ2 Изобретееее Относитс 5 к измспитс;1 шюйТех 11 ке и может найти применение в оптикомсханическоц промышленности для измерения высоты образцовых деталей, имеющих впд кону"а, усеченного конуса, пирамиды или призмы с углом при вершине 90,11 звестеи интерререиционный способ измсрсция линейных размеров образцовых опеи 1 еских деталей, например длины илоскопараллельиых концевых мер, на иитерферометре с 10 источником белого света, заключающийся в сравнении измеряемой детали с исходной, при котором разность длины определяется непосредственно по величине смещения полос нулевого порядка, наблюдаемых на измеритель иых поверхностях сравниваемых деталей. При этом измеряемая разность определяется В дшнах световых волн. Погрешность измерения порядка -0,1 5 к,1. Однако непосредственно использовать способ для измерения вы соты конусов и призм из прозрачного .;ятериала с углом при вершине 90 нс прсдстяв- Л 51 ЕТСЯ ВОЗМОЖНЕ 1 М ВСЛЕДСТВИС ОТСУТСТВИЯ БТО- рой изояертельной плоскости у коиНЕсскОЙ чета Ец 25С целью возможности измерения Высотыконусов и пэизм из прозра"НОГО эятсрияля с углом при вершине 90 по предлагаемому способу используют в качестве исходцоц детали аттестованную плоскопараллельную пласти- зо цу, изготовленную из того жс материала, что и измеряемая деталь, а расстояние между ее 11 лоскпми иовеэхцост 51 ми раВНО двоению 1 Высоте конуса цли призмы,На фиг. 1 изображена схема для измерения высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90 ня двухлучеВом цнтерферометре; на фиг. 2 - вцд поля зрения пптсрферометра при измерении.В рабочую ветвь интерферометра устанавливают измеряемый конус 1 с предварцтель. но притертой к нижнему основанию зеркала 2. В эталонную ветвь интерферометра к зеркалу 3 притирают аттестованную плоскопараллельную пластину 4 с размером удвоенноц высоты конуса и иготовлециую из того жс материала.Лучи белого света, идущие от источника (на схеме ис показан), падаот ца поверхность свстоделительио 11 пластины 5, где разделяются ца два пучка.Предлагяемьш способ осуществляют следующим образом.Один пучок света отражается от пластины 5 и падает по нормали на прозрачну 1 о аттестованную пластину 4. Одна часть этого пуч. ке 1 Отэаэкястс 51 От Верхне 1 пОВс 1 э .ности пластины, другая часть проходит пластину и отражается от зеркала э, зятем обе част 1 пучка идут в обратном направлении, проходят пла1 Риг. Г Составитель Лобзова Тскрсд Л. Васильева Корректор Л. Чуркина Редактор В. Новоселова Зака 3067 11 зд, Ув 1115 Тираж 760 Г 1 одписнос Ц 1 П 1 ИП 11 Государственного ком 1 птета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, К, Раугиская наб., д. 4/5Обл. тин. Кострок 5 ско 1 о уиравлснип издательств, полигра(ьпн и книжной опои.ц сти 11 у д, сООиряитс 51 00 ьс 1 стивоз б в плоскости гыходной щслп 7 и попадают в глаз наблюдателя.Второй пучок света проходит через пластину 5 и падает на поверхность 8 нижнего основания конуса 1. Одна часть пучка отражается От этоп пОВерхности, другая ясть прохОдпт еонус Внутри и Отряжяетс 5 От зсре 11 ла 2, Далее обе этп части пучка света возвращаются к пластине 5, отракаотея от ес разделительной поверхности и собираются при гОмощ;1 объектива 6 В плоскости выходной щели 7, отеудя тяеже 510 П 11 дс 1 От В глаз нябл 10 дяте;5.Оба пучка света, имеющие разность ход 1, ;птерфсрируют между собой,Способ пзверения Высоты Основан и 11 звс. стном гсоыетр 1 П 1 сстол сооодяжении, сост 051- щем в том, что длина пути луча внутри конуса равна удвоенной его высоте, если угол при вершине 90, а падающий луч направлен по норз 1 яли 1 с нпжнеч Ос 110 Вяпию конуса. 1 яличис и эталонной Ветви интерферометря плоскопараллельной аттестованпой пластины толщиной, равной удсвоенной высоте конуса и изготсвле 1 шой,из той же заготовки стекла, что и конус, позволяет создать одинаковые оптические условия для лучей в ветвях и наблюдать В белом свете две системы интер 11 ере 11- ционных полос равной толщ 11:1 ы афпг. 2). Система 1 образована лучами, отраженными от поверхпости 8 конуса 1 и верхней поверхноС 5 пи пластины 4, система П образова,на лучами, прошедшими пластину и конус и соответственно отраженными от зеркал 2 и 8.По взаимному смещепию ахроматическихполос двух интерференционных систем определяют отклоневне удвоенной высоты конуса от толщины плоскопараллельной пл астины.1 О Для того, чтооы Отл 111 ит При:1 адлсжность яхрохятичесеих полос к той илн другой интерференционной системе, пластину 4 изготсвляют с небольшим уменьшением размера к нижнему основанию, следовательно пптерфсреп ционныс системы будут различаться по размеру. Предмет изобретенияИнтерференционный способ измерения линейных размеров образцовых оптических де талей, заел 1 очающийся и сравне 1 гии измеряемой детали с исходной, от.1 ииа 1 оши 11 сп тем, что, с целью возможности изберс 11 и 5 Высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90, используют В качест ве исходной детали аттестованну 1 о плоскопараллельную пластину, изготовлснну 10 из того жс матсриала, что и измеряемая деталь, а ряостояние между ее плоскии поверхностями равно удвоенной высоте конуса илп пр 1 змы.