418711
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 418711
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ418711 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельства188064Заявлено 20.12.71 ( 1726901/26-25)с присоединением заявкиПриоритет М. Кл, С 01 Ь 9/02-Государственный комитет Совета Мииистрав СССР во делам изабретеиий и открытийОпубликовано 05.03.74, БюллетеньУДК 535,411(088,8) Дата опубликования описания 20.08.74 Авторизобретения Н. В. Трофимова Заявител Й ИНТЕРфЕРОМЕТ ДВУХЛУ т (2 - тд р)ЪСОЗИзобретение относится к устройствам для измерения и программирования малых перемещений.Известны устройства аналогичного назначения, в которых для определения перемещения по каждой координате используется свой двухлучевой интерферометр.По основному авт. св.188064 известен также интерферометр для измерения малых перемещений объекта в одном направлении, построенный по схеме Майкельсона и содержащий фотоэлектронное устройство для счета интерференционных полос и систему подвижных и неподвижных зеркал. Целью изобретения является упрощение оптических схем двухкоординатных интерферометров и расширение возможностей определения малых перемещений по двум координатам с помощью одного интерферометра,Для этого в измерительном плече предложенного интерферометра под некоторым углом к световому лучу устанавливается два параллельных зеркала, одно из которых может перемещаться вместе с объектом измерений не в одном, а в двух направлениях,Оптическая схема двухлучевого интерферометра для измерений малых перемещений в двух взаимно перпендикулярных направлениях представлена на чертеже,Интерферометр состоит из источника света 1,осветительной системы, содержащей линзы 2,3 и диафрагму 4, светоделителя 5, зеркала 6плеча сравнения, зеркал 7, 8, 9 измерительно 5 го плеча, подвижных устройств 10, 11, 12 дляперемещения объекта измерений и зеркала 7в двух взаимно перпендикулярных направлениях, устройства 13 для регистрации интерференционной картины,0 При одновременном перемещении подвижного зеркалаи объекта измерений в двухнаправлениях сдвиг интерференционной картины пропорционален отношению где Л - перемещение объекта в направлении, перпендикулярном плоскости зеркал 7 ц 9;20 т - число отражений светового луча цри одном проходе на зеркале 7 или 9; а - угол падения ицтерферирующего луча на наклонноезеркало 7.При смещении объекта измерений вдоль ка кой-нибудь одной координаты сдвиг интерференционной картины пропорционален приведенному соотношению, в котором перемещение У. необходимо заменить ца перемещение 1 по соответствующей координате, умноженное на ЗО синус или косинус угла падения света а,урил Тираж 760митета Совета Министровтений и открытийушская наб д, 4/5 Изд.551сударственного к по делам изобр Москва,) Ж, Р писное аказ 1771/4ЦНИИП Сапунов Типографи При установке зеркал 7 и 9 под углом 45 к падающему световому лучу (а = 45) сдвиг интерференционной картины при одинаковых перемещениях по любой координате одинаков и пропорционален 2 1 т.Таким образом, возможность перемещения подвижного зеркала в двух взаимно перпендикулярных направлениях позволяет определять (программировать) перемещение объекта в направлении, перпендикулярном плоскости наклонных зеркал, или же измерять смсщение объекта сначала по одной координате,а затем по перпендикулярной. Предмет изобретения5 Даухлучевой интерферометр для измерениямалых смещений по авт. св.188064, отл ич а ю щ и й с я тем, что, с целью поочередного измерения смещений по двум направлениям, подвижные зеркала интерферометра выполне ны с возможностью перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях.
СмотретьЗаявка
1726901, 20.12.1971
МПК / Метки
МПК: G01B 9/02
Метки: 418711
Опубликовано: 05.03.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-418711-418711.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">418711</a>