416582

ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидетельствааявлено 27.1.1972 ( 1741016/18-10) М Кт 6 011 присоединением заяв Государственныи комитетСовета Мнннстраа СССРпо делам нзобретвннйн открытий иоритет юллетсньДК 3 7879. вторыизобретен п; нцов и Л. В. Новико аявител ДАТЧИ ЛВНИЯ ик. Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к датчикам давления с индуктивнымпреобразователями.Известны датчики давления, содержащие корпус, в котором закреплены две мембраны, образующие замкнутую полость, сообщающуюся с измеряемой средой, и являющиеся одновременно якорями индуктигного преобразователя перемещения. Однако мембрана известного датчика изготовлена из металла и, являясь определяющим элементом для характеристик датчика, не может обеспечить его высокого качества. Кроме того, под действием тепла во время работы датчика меняется модуль Юнга материала мембраны, а следовательно, и ее натяжение, что приводит к изменению чувствительности датчика.Целью изобретения является повышение точности измерения в условиях переменных температур измеряемой ореды.Эта цель достигается тем, что мембраны выполнены из кварца, и их поверхности, обращенные к катушкам индуктивности, покрыты слоем ферромагнитного материала, например, пермаллоя, а противоположные, контактирующие с измеряемой средой, - слоем материала с высоким коэффициентом внутпеннего трения, например. хрома,На чертеже изображен предлагаемый датКорпус датчика состоит из двух секциймагнитопроводов 1. В каждую секцию вложена катушка 2 пндуктивности, намотанная на втулку 3 из диэлектрика, Между катушками 5 рязме.цены две мембраны 4 в виде кварцевыхдисков, на поверхностях которых, обращенных к катунскам индуктивпости, нанесен слой 5 ферромагнетпкя, например, пермаллоя, а ня противоположных поверхностях нанесен слой 10 6 хрома. Магнитопроводы предварительно сусилием прижаты друг к другу и склеены по шву 7. Датчик имеет штуцер 8 для подвода давления измеряемой среды и штуцсры 9 и 10 для подвода эталонных уровней давления.15 Измеряемос дявлсппе подводится к штуцеру 8 и, воздействуя на мембраны 4, прогибаст их. Изменение величины индуктивности катушек 2 фиксируется электронными приборами. Через штуцеры 9 и 10 подводятся эта лонным уровни дявлс:шя с постоянной температурой.При изменении температуры измеряемойсреды коэффициент магнитной проницаемости йспеом ягнптпаго с,".оп 5 не меняется, гя :; я;25 этот слой защищен кварцевой мембраной 4.Вместе с тем упругие свойства мембран 4 пе изменяются, так как они изготовлены пз кварца, обладающего малым коэффициентом линейного расширения и сравнительно мяло 30 меняющимся от температуры модулем Юнга.4 165) "2 Сос.авптель Л, НикиточкииаРедактор 3. Твердоклебова Техрс, Г. Васи:п,ева 1 орректор Т. Добровольскаи Изд Мз 518сударствеиного по делам изо Москва, Ж,Заказ 552/ Тираж 760комитета Совета Миппсгроретений и открытийРаугпскап нао., д. 4/5 Подпись)оССР 11 И пографип, пр. Сапунова, 2 1 олщина кварцевой пластины велика по орявнению с толщиной ферромагнитного слоя, и именно свойствами кварца, а не ферромагЗстнкя о 1 рсдсляются механические свойства зСт)1)лн 1. 1 як кяк З 11 дуктнвные кятункЗ г)нтяюг нсремсщым токо. в нескоггьЗо,чеся г- ЗОБнгОге)н, то нз-зл сЗипэффскГя )3 работе зрнЯгяОг 1 ЗГЗст)зе лько повс)хностныс СГЗОн с)ср ром агнсткГЗ, а следовательно, тол;ЗЗ)нп ферромагнетика может быть достаточно маля.Слой хрома выполняет роль демпфвря колебяЗщй мембраны 4 и, снижая ее добротность, даст возао)Ззность использовать датчик при более высокочастотных процессах. Дисснпация колсоательной энергии при изгибе происходит в основном в наружных слоях мембраны 4, я слой хрома настолько мал, что нс влияет на сгсб 1:л.:гост ес механических свойств. з.)Го нс является феррамагнетиком и поэОму нс вносит искажений в картину магийтного полядатчика, Вместе с тем хром обладает больши.:коэффициентом внутреннего трения. Предмет изобретенияДатчик давления, содержащий корпус, в коОром закреплены две мемораны, Обр; зуОнс замкнутуо полость, сообщающуюся с измеря- смой средой, и катушки индуктивностн, о т л ня О и и й с 5 Гем, что, с целью н)ВынЗсЗн;точности измерения в условиях перемепьх температур измеряемой среды, в нем мембраны выполнены из кварца, и их говерхностн, обращенные к катушкам, покрыты слоем фер ромагнитного материала, например пермаллОЗЗ, я Гротнв)погкнЗе, ногтакт)рГОЗцЗс измеряемой средой, - слоем материала с высоким коэффициентом внутреннего Греция, пг - пример, хрома.