Двухлучевой интерферометр для контроля качества поверхностей оптических деталей и аберраций

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидЗаявлено 22.Х 11,1971 (Л ельс 1727961/25-28) 1. Кл. б 01 Ь 9/ с присоединением заявкиосудврствеииыи комитвСовета Маистров СССло делам изобретенийи аткромтий риоритет публиковано 29.И 11. ата опубликования о 73. Бюллетень3исания 15.1.1974 УДК 531,715.1(088.8) Авторизобретет П, Контиевский явит УХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВАПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ И АБЕРРАЦИЙОБЪЕКТИВОВ О Изобретение относится к об:асти контрольно-измерительной техники и мокет быть использовано, в частности, для контроля полированных поверхностей в оптическом производстве, а также для контроля аоерраций объ ективов и других оптических систем.Известен двухлучевой интерферометр, например интерферометр Цендера-Маха, содсржащии осветительное и наблюдательное устройства и систему из плоских зеркал и свето делителей, имеющую две ветви.Предлагаемый пнтерферометр отличается от известного тем, что с целью повыцения точности контроля он снабжен оборачивающей сстемой, например, в виде трех плоских зер кал, установленной в одной из ветвей с возможностью поворота Относительно Оптчсскоп оси пнтерферометра.В предлагаемом иптерферометре отступления поверхности от заданной формы, обладаощие осевой симметрией, не вызывают искривления наблюдаемых в поле зрения интерферометра полос равной толщины, в то время как В изВсстпых интерферометрах местные ошибки наблюдаются на фоне общи:(, допуск 2 на которые, как правило, в 5 - 10 раз больше, чем допуск на местные ошибки. Это приводг к тому, что местные ошибки не могут быть:змерены с достаточно высокой точностью, В предлагаемом интерферомстрс наблюдаются 3 только местные ошибки. Общие ошибки не вызывают искривления полос рдвой толщины и,следовательно,:с ограничивают точности измерения местных ошибок.На чертеже приведе а схема предтагаемогоинтерферо., етра для случая контроля плоскихповерхностей.Иптерферометр содержит осветительное устройство, Вклочаюцсе псточнп( 1 излученп 5,конденсор 2 и диафрагму 3; объектив 4, в фокальной плоскости которого находится диафрагма 3; систему пз свстодслптелей 6, 6 изеркал 7, 8; обордчптдопхуо систему пз трехплоских зеркал 9, 10 и 11, Выполненную пои 1 ротпой относ;тельно оптической оси О - Оинтерфсрометрд, Кдртпнд ш тсрферепцпп двухпучков, отражеп;ых от контролируемой поверхности 12, рассматривается наблюдательным хустрогством (например, глазом), помещенным за диафрагмой 13, расположенной вфокдльной плоскости обьектпва 11. Одна пзгетвей В интер(Ьерозетре образована сгетодслителем 5, зеркалом 7 и светоделптелем 6, адругаясветодслптслем 5, зсркдлом Ь и светоделитслем 6.Контроль Вогпутых сферических поверхностей осуществляется оез объективов 1 и И.Контролируемая поверхность хустандвгпваетс 5таким образом, что изображение цсптра сферы совпадает с диафрагмами 3 и 13,396543 4плоскостью, проходящей через оптические осиосветительного и наблюдательного устройств. Двухлучевой интерферометр для контролякачества поверхностей оптических деталей и аберраций объективов, содержащий осветительное и наблюдательное устройства и систе му из плоских зеркал и светоделителей, имеющую две ветви, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен оборачивающей системой, например, в виде трех плоских зеркал, установленной в од ной из ветвей с возможностью поворота относительно оптической оси нтерферометра. б Составитель ЛобзоваРедактор О. Юркова Техред Т. Курил ектор Л. Орло Тираж 755овета Министровоткрытийаб д. 4/5 Заказ 368416ЦНИИП Изд.1912 Государственного комитета по делам изобретений Москва, Я(.35, Раушскадп ьсн Типография, пр. Сапунова 3При контроле аберраций проверяемый объектив устанавливается между светоделителем о и поверхностью 12, которой может служить, например, эталонное плоское зеркало.Контроль местных ошибок поверхностей и аберраций объективов с помощью предлагаемого интерферрометра осуществляется по величине искривления полос равной толщины, Поворот оборачивающей системы относительно оси О - О разворачивает один из интерферирующих пучков, падающих на контролируемую поверхность. Таким образом, интерферирующие пучки развернуты один относительно другого на угол, вдвое больший угла между главным сечением оборачивающей системы и Предмет изобретения