Способ очистки графитовых изделий

Номер патента: 394303

Авторы: Авдеенко, Ларионов

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик.Ч, Кл, С 01 Ь 31,0 111971 ( Заяв исоедипением заяв асударстеенный камитеСовета Ыинистраа СССРпа делам изобретенийи открытий иоритет зДК 621.039.546(088,8 Опубликовано 22.Й 11.1973. Боглетень Ле Дата опубликования описания 28 ХП.1973 Авторыизобретения 1. А. Авдеенко и В. В. Лдрионо явитель ПОСОБ ОЧИСТКИ ГРАФИТОВЫХ ИЗДЕЛИ МестоОтбора пробя иагни алю мини ХЛОР ле 1 10 05 110 Првоа От изделия, изготовлен-Оба ема НОГО ИЗ ЗаГОТОВКИОчщенной по из- Споверх вестному способуНОсти 3. 10 10 10 5 10 8 10(1 10 0 Прпоа От издет и я, Очи щегпя 5 гО предлагаемом СИОСООУ10 Изобретение относится ак технологии оаистки графитовых изделц "1, например тиглей, ло,очек, используемых в полупроводниково 1 технике в уеловиях, пде неизбежен непосредственный контакт особо чистого расплава полупроводниковых материалов с прафитоз,Известен опособ очистки прафитовых изделий для полупрсводниковой техники нагреванием в ореде инертного газа, затем,в смеси с галоидсодержащим газом с последующим охлажлением в восстановительной среде, на. пример в углеродсо;ержащей засыпке.Повышение качества очистои графитовых издезоий обеспечивается тем, что процесс охлаждения очищенных издезпий ведут .в ваку,ме, При этом необходимо процесс нагревания и охлаждения вести в раздельных объемх, что позволяет устранить явление обрат- ССО ЗаГряапсИя ОЧИПси.,ЫХ ЗЛС.Ий прМЕС 5 З 1, Ыэ ДЕЛа,Ш 1 МС 51 и И 1 ОСССС ИГРСВД:151,П р и м е р. Грдритсвый ти егь, пре.идзнд.ценный;ля очистки, позещаот в герметически закрывающуюся камеру и нагревают и атмосфере геля до 1000 - 1100 С, д затем в смеси гелия с фреоном - 12 до температ 11 10 .".400 С. После выдержки при э;ой телНературе в те 1 еюе 0 5 япн фреои и е.и перекрь- вдот, очищеннь 1 й тиге.ь поренос 5 т 1 к,ме 1 ру о х л д ж де ня, Г д е с о 3 д а ю т р д 3; 51 и: ен 1, е и о 1 51,. - )кд 1 10 ил рг, ст. Содерждпе 1,иоесе 5 в 15 О.ищенноьм изделии контролируют сектрасьным анализом. Резуль.ат 1;1 ализа приведены в таблице. Одержание элемента в прООе, вес. а рг-рекн 1, еда ООРИз таолицы видно, что содержа:ие при."всей в Грсоях, Отооряцньк из с(оьс(яе с ио. ве(ркности издел(ия, оч(ицепного предлагаедьв (Гсодом, в 1 О - 100 раз ниже, чем в про. бах, 1;=",тык От излии, изготсвленнык:з Очи(исины; ГО язвеиохс иосоо, з(готовтк. Колиетгео хлора и фтора в оч(иитеино(з по ире:21 гаемос спосооу из;(ел:и нижеио:1 о величины менее 1 10 - (вес Предмет изооретения С(посс(О очистки графитовык изделий дл 1 (иол(прсводни(ксвой те:ни(1(и путем нагревя:ия в среде нсртисго Гяза, 2 22 тем в смеси12.О;1 додер;1,2 иих ;зов с ис,е, Гонии". Охлаждением, отли(аоиийся тем, что, с цельо повышения качества оис;си, охлаждение ведут в (вакууме.С(савптсгп, В, Ларионов Рсао(о К. Юанаурова Тсхрел Т. Ускова Коррскоры Л. Новожтова Г, Михеева 3 а и; З 14(1 Иад, Ле 1 ВЗЗ Тирпи,1 ПоОп(спос ЦНИИПИ Государственного комитета СоветаЪинстров СССР по делам и"обретений и открытий Москва, (К-З 5, Раушская наб., д 415 Типография, пр. Сапунова, 2

Смотреть

Заявка

1631908

М. Авдеенко, И. В. Ларионов

МПК / Метки

МПК: C01B 31/04

Метки: графитовых

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-394303-sposob-ochistki-grafitovykh-izdelijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки графитовых изделий</a>

Похожие патенты