Способ получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя

Союз Советскигг Саггиалистическигг РеспублиггЗависимое от авт. свидетельства-М. Кл. б 11 Ь 5/70 Заявлено 05 Л 11.1971 ( 1637114/18-10)с грисоединением заявки-Приоритет Комитет по делам изовретеиий и открытий ори Совете МииистровОпубликовано 14. т(1.1973. Бюллетень26 УДК 534.852(088,8) с4 сДата опубликования описания 17,1 Х.1973 Авторыизобретения Б, М, Раков, ф. М. Назаров, Г. Н, Самойлов, А, ф, Безъязьтков,Ю. Г, Кирьянов, Е. П, Белов, И, С, Толмасский, М. В, Соболевский,Ю. В, Разоренов и В, П. Гераськов Заявитель СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГНИТОТВЕРДОГО РАБОЧЕГО СЛОЯ МАГНИТОНОСИГЕЛЯСо (СО),КО-+-Со + ЗСО + ИО (1)Со.(СО,) ХО-+-2 СоО + 6 СО + К, (2) Изобретение отнгосится к областиг приборостроения, в частности к технологии изготовления носителей магнитной записи информации.Известны способы получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя электролитическим или химическим осаждением металлов.Технология известных способов сложна и не позволяет получить достаточно равномерные по толщине и однородные по физическим и магнитным свойствам слои, что ограничивает использование носителей с таким покрытием для записи дискретной информации с высокой плотностью.С целью получения магнитотвердого рабочего слоя мапнитоносителя с достаточяо высокой однородностью рабочего слоя по магнитным свойствам, позволяющей обеспечить высокую плотность записи информации, по предлагаемому способу магнитный металлический слой наносят на предварительно нагретую поверхность изделия путем парофазного термического разложения легколетучих металлоорганических соединений, например паров карбонилнитрозила кобальта, в герметичной камере с последующей термической обработкой изделия в востановительной среде,Процесс термического разложения паров карбонилнитрозилга кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100 - 500 С,в при остаточном давлении в камере покрытия 110 -мм рт, ст. до 10 мм рт. ст., кроме того указанный процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при пар циальном давлении паров карбонилнитрозила0,1 - 10 мм рт. ст. нга нагретой подложке.Карбонилнитрозил кобальта, находящийсяв герметичной емкости испаряется и его пары собираются в испарителе, откуда с постоян ной скоростью направляются в камеру покрытия, в которой находится предварительно очищенная и нагретая подложечка. Пары карбонилнитрозила кобальта, попадая на нагретую подложку, разлагаются с осаждением ме таллического покрытия и выделением в газовую фазу продуктов реакции, которые непрерывно удаляются вакуумнгым насосом.В процессе термического разложения карбонилнитрозида участвуют следующие реак ции; Реакции (1) и (2) проходят одновременгно,однако преимущественно протекает реакция (2), поэтому полученное покрытие, в основ ном состоит из окиси кобальта.Корректор В. Брыксина Редактор М, Макарова Заказ 2443/15 Изд. Ио 1608 Тираж 576 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раугпская наб., д. 45Типография, пр. Сапунова, 2 Получение покрытий ведут на подложке, нагретой до температуры 100 в 5 С, и при остаточном давлении в камере покрытия от 1 10 -мм рт. ст. до 10 мм рт. ст.Процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа (инертного или восстановительного) с малым парциальным давлением (0,1 - 10 мм рт. ст.) паров карбонилнитрозила кобальта.Полученные покрытия подвергаются термической обработке в восстановительной среде (водород, окись углерода и т. п.) при температуре 200 в 5 С.После проведения термического восстановления покрытия приобретают магнитные свойства.Предмет изобретения 1. Способ получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя путем нанесения тонкого мапнитотвердого металлического слоя на поверхность очищенной подложки, отличиющийся тем, что, с целью повышения однородности рабочего слоя по магнитным свойствам, магнитный металлический слой нанюсят 5 на предварительного нагретую поверхность изделия путем термического разложения паров карбонилнитрозила кобальта в герметичной камере с,последующей термической обработкой изделия в восстановительной среде.1 о 2. Способ по п, 1, отличающийся тем, чтопроцесс термического разложения паров карбонилнитрозила кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100 - 500 С, и при остаточном давлении в камере покрытия 15 1 10 -мм рт. ст, до 10 мм рт. ст.3. Способ по п, 1, отличающийся тем, чтопроцесс термического разложения паров карбонилнитрозила кобальта ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при 20 парциальнюм давлении паров карбониднитрозила 0,1 - 10 мм рт. ст. на нагретой подложке.