Устройство для контроля качества поверхности

Номер патента: 384004

Авторы: Герман, Ловцов

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваб 01 Ь 1322 Заявлено 18.И,1970 ( 1449963/25-28) заявки М соединен Комитет по делам обретений и открытий ри Совете Министров СССР,1973, Бюллетень24 публикова та опубликования описания 2 Х 111.1 Авторы изобрет Ловцо. И. Герм аявите ОЛЯ КАЧЕСТВА ЛЯ КОН ВЕРХНО УСТРОЙС 2 насос 4. Давление атмосферного постоянным усилием воздействует стину 9 на изделие 1. Регулируя натекателя 7, устанавливают зада ние по измерителю 8. Показания ра 5 характеризуют качество нове делия 1. воздуха с через плаположение ное давле- вакуумметхности из 1. Устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с 15 соплом вакуумную камеру, вакуумный насоси вакуумметр, соединенные с камерой, отличающееся тем, что, с целью повышения гочности контроля эксплуатационной характеристики контактной поверхности полупроводни ковых элементов, оно снабжено съемной вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере 25 н элементами поджима изделия к соплу.2. Устройство по п, 1, отли гающееся тем,что элементы поджима изделия и соплу Выполнены в виде прижимной пластины и силь- фона, герметично связывающего пластину со 30 стенкой съемной камеры, причем полог гьгильфона открыта в атмосферу. лие 1, помещенное мерой б и включают Известно устройство для контроля качества поверхности, содержащее измерительное сопло с рабочей поверхностью, сопрягаемой с поверхностью проверяемого изделия, соединенную с соплом вакуумную камеру, вакуумныи насос и вакуумметр.Цель изобретенияконтроля эксплуатаконтактной поверхноэлементов.Для этого предлагаемое устройство снабжено съемной вакуумной камерой, в которую помещены измерительное сопло и изделие, регулируемым натекателем, соединяющим эту камеру с атмосферой, измерителем давления в этой камере и элементами поджима изделия к соплу.- повышение точности ционной характеристики сти полупроводниковых На чертеже показано описываемое устроство. П ове яемое из елие 1 помещают на соп Р Р д ло 2, образующее вместе с корпусом 3 вакуумную камеру, соединенную с вакуумным насосом 4 и вакуумметром 5. Дополнительная съемная камера б соединена с натекателем 7 и измерителем 8 давления. Прижимная пластина 9, воздействующая на изделие, соединена с камерой б сильфоном 10, открытым в атмосферу.Перед измерением издена сопле 2, закрывают ка 1 редмет изобретени3840 О 4 Редактор Т. Горячева Заказ 2141/5 Изд. У 1560 Тираж 755 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Составитель В. Чудов Техред Л. Грачева

Смотреть

Заявка

1449963

Ю. И. Герман, Д. П. Ловцов

МПК / Метки

МПК: G01B 13/22

Метки: качества, поверхности

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-384004-ustrojjstvo-dlya-kontrolya-kachestva-poverkhnosti.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для контроля качества поверхности</a>

Похожие патенты