Способ изготовления электролюминесцентного

ЗЗИ 82 Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства %в М. Кл. Н 05 Ь 33/10 Заявлено 23.Ч 1,1971 (гй 1692231/24-7)с присоединением заявки М -Приоритет -Опубликовано 15,Ч,1973, Бюллетень Ъо 21Дата опубликования описания ЗОЛ 11,1973 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 628.9.03(088.8) Авторыизобретения Л, К. Богданова и А, А. Вдовеиков Заявитель СПОСОб ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО УСТРОЙСТВАПредлагаемое изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении низковольтных электролюминесцентных индикаторов,Известен способ изготовления пленок, электролюминесценция в которых возбуждается постоянным напряжением,В соответствии с этим способом основной активатор (марганец) вводят в испаряемый сульфид цинка. При испарении происходит фракционирование испаряемой шихты. В результате концентрация активатора, а следовательно, и свойства электролюминесцентной пленки существенно зависят от таких плохо контролируемых факторов, как скорость испарения, полнота испарения навески. Кроме того, в постоянном поле эти пленки электролюминесцируют только желто-оранжевым светом с максимумом излучения около 585 нл. Способы изготовления пленок с другим цветом электролюминесценции в постоянном поле не известны.По предлагаемому способу воспроизводимость концентрации основного активатора и получение пленок различного цвета свечения достигается тем, что сульфид цинка испаряется нелегированпым, а примесь вводится только в активную область пленки испарением ее из независимого испарителя, В качестве примеси выбирается соединение элемента, образующего в сульфиде цинка центры, люминесцирующие без ионизации, что обеспечивает высокую яркость свечения в постоянном поле.Способ изготовления состоит из следующих процессов. Подложку из термостойкого стекла, например ЛК, ЛК, С-3, С-1, предварительно покрытую прозрачным проводящим слоем Яп 02,или ХпОз, прогревают в вакууме не хуже 10 - з торр около 10 20 лтин при температуре 500 С. Затем температуру подложки снижают до 250 - 260 С и испаряют на нее навеску - 30 лтг сульфида меди, В этой части способ не имеет существенных отличий от известных способов. За тем на слой сульфида меди конденсируютпленку нелегированного сульфида цинка, испаряемого при температуре 1200 С. Навеска сульфида цинка - 2,5 г. Время полного испарения этой навески - 30 мин. За 10 - О 15 мин до полного испарения сульфида цинка включают испаритель с навеской соединения легирующего элемента. В качестве такого соединения используют сульфиды или фториды марганца или редкоземельных эле ментов в зависимости от требуемого цветасвечения. Например, для получения пленки с оранжевым цветом свечения испаряют навеску 30 - 40 лтг сульфида марганца, а,для получения зеленого цвета свечения - 50 - 60 .цг трехфтористого тербия.381182 Предмет изобретения Составитель Е. СафоноваТсхрсд Т. Миронова Корректоры Е. Михееваи Е. Мироноваеда ктор В. Фельдман Заказ 331/1130 Изд.546 Тираж 755 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фнл. пред, Патент Температура испарителя в обоих случаях 1600 в 17 С. Испарение сульфида цинка и легирующей примеси прекращают одновременно, После охлаждения подложки до :50 С на пленку напыляют, например, испарением алюминия, металлические электроды требуемой геометрии.Изготовленные описанным способом образцы электролюминеоцируют при возбуждении постоянным напряжением =- 20 в при такой полярности, когда алюминиевый электрод положителен,Способ изготовления электролюмишесцентного устройства путем конденсации на проводящей подложке слоев сульфида меди и сульфида цинка, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости кон центрации основного активатора и получениязаданного цвета свечения при возбуждении постоянным напряжением, сульфид цинка испаряют нелегированным, а активирующую примесь, например, в виде сульфидов или 10 фторидов марганца (для свечения оранжевого цвета) или сульфидов или фторидов тероия (для свечения зеленого цвета) испаряют ,из независимого испарителя на последнем этапе испарения сульфида цинка, причем ис парение сульфида цинка и активирующейпримеси прекращают одновременно.