Всесоюзная

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельствааявлено 30.17.197 1428971/26-2 Кл. Н 01 37/26 с присоединением заявкиПриоритет Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР. М. Арте явител ПОСОБ ЭЛЕКТРОННО-СТРУКТУРНОГО АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ С ПОМОЩЬЮ ЭЛЕКТРОНОГРАФА МЕДЛЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ2 ф ) на Изобретение относится к способам электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью дифракции медленных электронов и может быть применено в растровой электронной микроскопии.Известны способы электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью электронографа медленных электронов, включающего в себя дифракционную камеру, содержащую электронную пушку. Пушка формирует пучок медленных электронов, зондирующих поверхность исследуемого образца, который располагается в центре сферического экрана, покрытого с внутренней стороны флуоресцирующим составом, В результате взаимодействия зондирующих электронов с кристаллической структурой образца возникают дифрагированные электронные пучки, которые, пройдя через систему селектирующих сеток, создают на экране дифракционную картину. Рисунок этой картины (расположение рефлексов, их интенсивность и т.,п.) зависит от структуры поверхности образца. После расшифровки дифракционной картины можно судить о строении кристаллической структуры исследуемой поверхности.При исследовании поверхностей известным способом электронно-оптическая ось камеры расположена горизонтально. Это приводит к искривлению траектории пучка зондирующих электронов из-за влияния магнитного поляЗемли. Для компенсации магнитного поляЗемли электронографы снабжают катушкамиГельмгольца и отдельным источником для5 их,питания.Цель изобретения - увеньшение влияниямагнитного поля Земли на зондирующий идифрагированные пучки электронов болеепростыми средствами.0 Поставленная цель достигается установкойдифракционной камеры таким образом, чтоее электронно-оптическая ось располагается вплоскости магнитного меридиана под угломмагнитного наклонения. При этом магнитное5 поле Земли оказывает фокусирующее действие на зондирующий пучок в дрейфовом пространстве, поскольку он движется вдоль магнитного поля Земли.Изобретение позволяет отказаться от гроо моздких катушек Гельмгольца и источнокаих питания, что упрощает прибор,На чертеже изображен электроноградифракционная камера которого расположепредложенным способом.5 Электронограф содержит электроннуюпушку 1, экран 2, селектирующие сетки 3,дифракционную камеру 4, исследуемый образец 5, смотровое окно б,Электронная пушка 1, расположснная с0 обратной стороны экрана 2, находящаяся в368676 Предмет изобретенкя Корректоры: Е, Михеева и А. Степанова Составитель Г, Горчакова Заказ 614/11 Изд. Мо 181 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, и р. Сапунова, 2 дифракционной камере 4 и формирующая зондирующий пучок медленных электронов, установлена,под углом к горизонту, причем этот угол равен углу магнитного наклонения и находится в плоскости магнитного меридиана. В центре экрана на электронно-оптической оси пушки располагается исследуемый образец б. Смотровое окно б, являющееся одновременно частью вакуум но-оптической оболочии дифракционной камеры, позволяет наблюдать дифракцию медленных электронов.Пучок медленных электронов, сформированный электронной пушкой 1, направлен нормально к поверхности исследуемого образца б, который находится на электронно- оптической оси прибора. С,помощью гибкого рукава электронно-оптическая ось, а следователыно, и траектория движения зондирующего пучка медленных электронов устанавливаются,под углом магнитного наклонения. Поворотным устройством (на чертеже не показано) осуществляется его совмещение с плоскостью магнитного меридиана. Совмещение, таким образом, траектории движения пучка зондирующих электронов с вектором магнитного поля Земли исключает искривление траектории ,пучка под действием этого поля. Более того, оно оказывает положительное фокусирующее действие на зондирующий 5 пучок,в дрейфовом пространстве, Дифрагированные пучки, выходящие под брэгговскими углами, испытывая постоянное действие магнитного поля Земли, создают симметричную дифракционную картину на флуоресцирую шем экране, которая наблюдается через смотровое окно б дифракционной камеры 4. 15 Способ электронно. структурного анализаповерхности твердых тел с помощью электронографа медленных электронов, включающего в себя дифракционную камеру, отличаюиийся тем, что, с целью уменьшения влия ния магнитного, поля Земли на зондирующийи дифрагированные пучки электронов, дифращионную камеру устанавливают таким образом, чтобы ее электронно-оптическая ось была расположена в плоскости магнитно го меридиана под углом магнитного наклонения.