ZIP архив

Текст

Союз СсаатскизСоциалистическими Республик Зависимое от авт. свидетельстваМ Кл Н ОЯс 3/02 явлено 30.111.1971 ( 164081026-9) с присоединением заявкиКоавитет по делам аобретвиик и открыт при Совете Мииистро СССР(088.8) Опубликовано 13.Х 11.1972. Бюллетеньза 19 Дата опубликования описания 7.П.1973 Авторы зобретенцяМ. А. Панко ороца, С. В. Пономаре А ЗаявитНТАКТИРО В ЭЛЕКТРОЛИТЕ СТРО ЙСТВО положен внутри э Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления тонкопленочных микросхем методом фотолитографии с последующим ацодированием пленки в электролите.Известно устройство для контактирования в электролите, преимущественно при производстве тонкопленочных схем, содержащее держатель и контактирующий узел, выполненный в виде заостренного штыря. Оцо позволяет осуществлять контакт только за пределами электролита. В случае попадания электролита на контакт происходит его окисление, и процесс анодирования пленки прекращается.Описываемое устройство отличается тем, что контактирующий узел расположен внутри эластичного стакана и упирается в его дцо с возможностью его прокалывапия в процессе коцтактирования. Устройство для контактирования при анодировании обеспечивает надежный сухой контакт в среде электролита.На чертеже схематически изображено описываемое устройство.На держателе 1 с помощью оси 2 установлена колодка 3, на которой укреплен контактирующий узел 4. Узел выполнен в виде заостреццого штыря ц рас пастичного стакана 5.Устройство работает следующим образом.Г 1 одложку с ацодцруемой схемой устанавливают в держатель. Под децствием пружины о колодка, поворачиваясь ца оси 2, прижимает контактирующий узел к контактной площадке подложки, При этом за счет деформации стакана происходит герметизация в местах коц тактирования, а контакт, завулканизировацный в контактирующем узле, продолжая движение под действием пружины, прокалывает каучуковую перемычку на торце контактирующего узла и осуществляет коцтактирова нце с контактной площадкой подложки.Предмет изобретения Устройство для контактирования в электролите, преимущественно при производстве тоц коплецочных схем, содержащее держатель иконтактирующий узел, выполненный в виде заостренного штыря, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контактцрования в электролите, контактирующий узел расположен внутри эластичного стакана и упирается в его дно с возможностью прокалывания его в процессе коцтактировация.362517 актор Л. Изд.1050 Тираж 404 Подписное елам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., к. 4/5 пя, пр. Сапунова, 2 по Заказ 181/16ЦНИИПИ Комитета п оставитель Л. РубинчиТехред Т. Миронова орректоры: Л. Новожилов и Л. Бадылам

Смотреть

Заявка

1640810

А. В. Ворона, С. В. Пономарев, М. А. Панков

МПК / Метки

МПК: H05K 3/02

Метки: 362517

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-362517-362517.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">362517</a>

Похожие патенты