Способ изготовления микроминиатюрных

Номер патента: 362368

Автор: Авторы

ZIP архив

Текст

362368 Союз Советских Социалистических Республикаявлено 22.11.1971 ( 1626483/26-25) с присоединением заявкиКомитет по делаю зобретений и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано 13,Х Дата опубликовани Авторыизобретения Э. М, Мушкарден, А. Ф. Кожухарь и В. А, Якимов Львовский ордена Ленина политехнический институ явител ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМИНИАТЮРНЬ ЭМИССИОННЫХ ПРИБОРОВ С ХОЛОДНЫМ КАТОДОМИзвестен способ изготовления микроминиатюрных приборов с автоэлектронной эмиссией с использованием пленочной технологии. Специально выполняемый рельеф подложки ,позволяет в результате косого напыления получать автоэмиссионные приборы с микрон- ными промежутками,По предложенному способу для упрощения технологического процесса электроды прибора формируются из цельной, предварительно закрепленной заготовки, взятой в виде проволоки, ленты или тонкой пленки, подвергающейся локализованному электр охи мическому анод- ному перетравливанию в электролите с автоматической остановкой процесса по достин ении требуемой величины межэлектродного промежутка. Катодом в электрохимическом процессе служит острый вспомогательный электрод, располагаемый вблизи к перетравливаемому месту заготовки.На чертеже изображена схема для реализации способа, где:1 - основание для крепления заготовки;2 - перетравливаемая заготовка (анод);3 - вспомогательный электрод (катод);1 - электролит;б - отключающее устройство;б - регулируемый источник питания;7 - нормально-замкнутые контакты отключающего устройства. Предназначенную для изготовления микроприбора заготовку в виде отрезка проволоки, ленты или тонкой пленки укрепляют любым подходящим способом, например пайкой или 5 склеиванием, на основании из изоляционногоматериала, хорошо согласующегося по температурному коэффициенту с материалом заготовки. Одновременно на том же основании в средней его части укрепляют вспомогатель ный электрод, предназначенный для локального электрохимического травления заготовки. В качестве вспомогательного электрода может быть взято тонкое металлическое лезвие или тонкая проволока. Толщина лезвия 15 (диаметр проволоки), а также размер зазорамежду заготовкой и катодом должны быть взяты настолько малыми, насколько требуется локализировать размеры области интенсивного травления.20 Заготовка и вспомогательный электродвключаются в схему согласно чертежу. В качестве отключающего устройства используется любое устройство, реагирующее на изменение сопротивления перетравливаемой загс товки, увеличивающееся по мере продолжительности процесса. Резкий скачок сопротивления происходит в момент образования межэлектродного промежутка. В отключающем устройстве должна быть предусмотрена воз можность регулировки уровня срабатывания.Тираж 404о делам изобретений и открытий при Совете МиниМосква, К, Раушская наб., д. 4/5 одписное ов СССР ипография, пр, Сапунова,Отклоняющим устройством макет оыть, насема, состояп)ая из моста сравнения, электронного усилителя с регулировкой уровня срабатывания и исполнительного реле, контакты которого размыкают цепь травления, Размеры вытравленной в заготовке области зависят от выбранного начального зазора сзаготовка - вспомогательный электрод, от их размеров и уровня срабатывания отклоняющего устройства.Способ дает возможность получать зазоры в интервале 0,5 - 500 гиклп Предмет изобретения Способ изготовления микроминиат;орпыхэмиссионных приборов с холодны.и катодом с помощью электрохимического травления, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса, цельную заготовку предварительно закрепляют на изоляционном основании, устанавливают вспомогательный электрод, концентрирующий электрическое поле в электролите у заданного участка 1 Оповерхности заготовки, и электрохимически перетравливают заготовку на этом участке с автоматическим прекращением процесса по достижении желаемой величины межэлектродного промежутка.15

Смотреть

Заявка

1626483

Э. М. Мушкарден, А. Ф. Кожухарь, В. А. Якимов Львовский ордена Ленина политехнический институт

Авторы изобретени

МПК / Метки

МПК: H01J 1/30, H01J 9/02

Метки: микроминиатюрных

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-362368-sposob-izgotovleniya-mikrominiatyurnykh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления микроминиатюрных</a>

Похожие патенты