Устройство для послойного стравливания
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 361413
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. б 01 п 1/32Н 011 7/68 Заявлено 26.1 т/.1971 ( 1645278/26-25)с присоединением заявкиПриоритет Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР(088.8) Опубликовано 07,Х 1,1972, Бюллетень1за 1973 Дата опубликования описания 19.1.1973 Авторыизобретения Л, А. Гончаров, Г, И. Шманенкова, Г, И. Александрова и П, А, Леонов Заявитель Государственный научно-исследовательский и проектный институтредкометаллической промышленности УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОСЛОЙНОГО СТРАВЛИВАНИЯ МАТЕРИАЛАДля послойного стравливания материала на поверхность обрабатываемой детали наносят маски. Недостатками такого способа травления являются ограниченность температурного интервала, длительность процесса, неточность получаемого контура..Изобретение позволяет расширить температурный интервал обработки до температур 200 в 3 С, ускорить процесс и обеспечить высокую точность обработки контура за счет выполнения реакционного сосуда в виде стакана без дна, оканчивающегося острой кромкой, упругого прижимаемой к поверхности образца.Стакан выполнен, например, из полимерного фтороорганического соединения, химически стойкого к агрессивным средам и сохраняющего упругость в широком интервале температур. Профиль стакана задается контуром травления поверхности.На чертеже показано предложенное устройство.Устройство состоит из расположенных соосно реакционного сосуда 1 и корпуса 2, предметного столика 8, на котором размещен образец 4, и резиновой подушки 5, Реакционный сосуд имеет профиль, сечение которого в точности соответствует контуру травления.Нижняя кромка реакционного сосуда скошена так, что в сечении образуется зуб с углом50 - б 0.5 Гермстичный прижим реакционного сосудак образцу осуществляют при ввинчиваниисосуда в корпус. Наличие резиновой подушкипод предметным столиком позволяет исследовать хрупкие материалы,10Предмет изобретения1. Устройство для послойного стравливанияматериала, содержащее реакционный сосуд,отличающееся тем, что, с целью ускорения и15 повышения точности травления в широкоминтервале температур, реакционный сосуд выполнен в виде стакана без дна, оканчивающегося острой кромкой, упруго прижимаемойк поверхности обрабатываемого материала,20 расположенного на предметном столике соосно с реакционным сосудом,2. Устройство по п. 1, отличающееся тем,что реакционный сосуд выполнен, например,из полимерного фтороорганического соедине 25 ния, химически стойкого к агрессивным средам и сохраняющего упругость в широкоминтервале температур.Составитель Г. Борисевич Техред Т. Миронова Корректор Е Миронова Редактор Т. Орловская,Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 4401/15 Изд.,26, Тираж 404 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1645278
МПК / Метки
МПК: G01N 1/32, H01L 21/308
Метки: послойного, стравливания
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-361413-ustrojjstvo-dlya-poslojjnogo-stravlivaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для послойного стравливания</a>
Предыдущий патент: Состав для сохранения флуорохромированных
Случайный патент: Пипетка с автоматической регулировкой наполнения