Датчик усилий

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Содиалистинеских Раси)блинЗависимое от авт. св Заявлено 02,Х,1969 ( детельства1365996/25 С 011 1/ вки Х с присоединением оритет Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРДК 531,761(Ы 8.8) 72. Бюллетень35писания 9.1.1973 ликовано 21.Х 1. ата опубликовани Авторы изобретениько и В. А. Роао И. Бойко, И. Институт полупроводников Ан Украинской СС аявитель ДАТЧИК УСИЛИ н шарнирными опорацами пластины, и синтами, симметрично вных расстояниях от а другая широкая также максимальную рекомбинации за счет ости. Это повышает йчивость к воздейстствительныи эле - схема его наИзобретение относится к области измерительной техники.Известен датчик усилий, содержащий чувствительный элемент, выполненный в,виде пластины собственного, германия с двумя токовыми выводами, вырезанной так, что плоскости широких граней, Ба одном из которых обеспечивается максимальная для данного материала скорость поверхностной рекомбинации за счет шлифованиия поверхности, параллельны оси 110 и направлению тока лежащему в плоскости 1101 и повернутому на угол 30 по отношению к оси 1111 в сторону оси ОО 1).При наличии тока через пластину сжатие или растяжение ее в направлении, параллельном широким граням, приводит к перераспределению:концентрации носителей по толщине пластины. Отклонение полного количества носителей в ограниченной по толщине пластине от раэновесного вкачения особенно велико, если скорость поверхностной рекомбинации электронно-дырочных пар на одной из широких граней мала, а на второй велика. В то же время стабильность датчика существенно зависит от состояния, поверхности грани, на которой скорость рекомбинации мала, что приводит к необходимости герметизации датчика.Предлагаемый датчик отличается от известного тем, что он снабжеми, соединенными с конлопередающими элемерасположенными на ра5 соответствующих опор,грань пластины имеетскорость поверхностнойшлифования ее,поверхнчувствительность и усто0 вию внешней среды.На фиг. 1 изображенмент, общий вид; на фигружения в датчике,Датчик содержит чувствительныи элемент1, выполненный,в виде пластичны собственного германния с двумя токовыми выводами, вырезанной так, что плоскости широких граней 2 и 8, на которых обеспечивается максимальная скорость поверхностной рекомбинации за счет шлифования их поверхностей, параллельны оси 110 и направлению тока, лежащему в плотскости 1101 и повернутому на угол 30 по отношению к оси 1111 в сторону оси ООЦ.25 Шарнирные опоры 4 и б соединены с концами пластины, а силопередающие элементы б и 7, показанные условно стрелками, указы,вающими направление действия силы, симметрично расположены на равных расстоя- ЗО ниях а от соответствующих опор 4 и б.Тираж 406 Подписнооткрытий при Совете Министров СССР к 1 я паб д 4/5 Изд. М 1769омитета по делам изобретенийМосква, Х(-35, Раув зказ 424 НИИ.ПИ ог риф. Сапунова,Датчик работает следующим образом.Измеряемое усилие прикладывается к элементам б и 7. Под дейспвием этого усилия в пластилине возникают напряжения и деформации изгиба. При подаче напряжения питания на токовые выводы пластины в виде одиночных П-образных импульсов длительностью 0,1 - 0,5 м/сек при одном направлении тока носители концентрируются в нейтральной плоскости пластины 1, а области вблизи широких граней 2 и 3 объединены (прямой пинч)при обратном направлении тока носители концентрируются вблизи широких граней 2 и 3. При этом средняя удельная проводимость такой пластины зависит от величины механических напряжений на широких гранях. Чувствительность такого датчика выше, чем чувствительность датчика, подвергнутого одноосному. растяжению или сжатию и имеющего только одну графинь с высокой, скоростью поверхностной рекомбинации. В то же время повышается его устойчивость к воздействию на поверхности пластины внешней среды, так как в его конструкции отсутствует поверхность широкой грани с малой скоростью поверхностной рекомбинации, которая обуславливает в известном датчике нестабильность тензочувствительности при отсутствии герметизации. 5 Предмет изобретения Датчик усилий, содержащий чувствительный элемент, выполненный в виде пластины собственного германия с двумя токовыми вы,водами, вырезанной так, что плоскости широких граней, на одной из которых обеспечивается максималыная для данного материала скорость,поверхностной рекомбинации за счет шлифования поверхности, параллельны оси 11101 и направлению тока, лежащему,в,плоскости 1101 и подвернутому на угол 30,по отношению к оси 11111 в сторону оси 10011, атличаюи 1 ийся тем, что, с целью повышения чувствительности и устойчивости к воздейст вию внешней среды, он снабжен шарнврнымиопорами, соединенными с концами пластины, и силопередающими элементами, симметрично расположенными на равных расстояниях от соответствующих опор, а другая широкая 25 грань пластины имеет максимальную скоростьповерхностей рекомбинации за счет шлифования ее поверхности.