Номер патента: 358019

Автор: Ошм

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Со 1 оа Соеетскит Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимо от авт. свидетельства.Ч 1.1970 ( 1461335/28-13),Кл. В 04 Ь 500 В 051) 5 08 Заявле соединением заявкимитет по делам Приоритет изобретений и открытпри Совете 1 т 1 инистроСССР УДК 66.067,57(088.8) бликовапо ОЗ.Х.1972. Бюллетень,34та опубликования описания 21,Х 11,972 Авторизобретения шмян Заявител ТРИфУГА 2 Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов с использованиемпроцессов фотолитографии, а точнее к нанесению тонкой пленки фоторезиста на полупроводниковые пластины в поле действия центробежцых сил.Известна центрифуга для нанесения пленкифоторезиста ца полупроводниковую пластину,включающая сборник фоторезиста, установленную внутри последнего вращающуюся оправку для вакуумного закрепления пластины,канал для подвода вакуума, вакуумное уплотнение и электродвигатель,Предлагаемая центрифуга отличается от известной тем, что оправка установлена на валу 15электродвигателя, а вакуумное уплотнение выполнено в виде вращающихся шайб из антифрикционного материала и неподвижного диска, размещенного между ними, при этом каналы для подвода вакуума выполнены в тсле диска. Это упрощает конструкцию и сокращает время разгона центрифуги.Центрифуга может быть снабжена распорным кольцом, установленным между шайбами,что уменьшает износ последних. Шайбы могут 25быть выполнены из теплоизоляционного материала, например фторопласта, Это уменьшаетнагрев оправки.На чертеже изображена предлагаемая центрифуга, 30 Центрифуга включает сборник фоторезиста 1, вращающуюся оправку 2 с полупроводниковой пластиной 3, устацовленную через глухую втулку 4 с пазами для подвода вакуума ца валу электродвигателя 5, На втулку 4 одеты две вращающиеся шайбы 6 из ацтифршсццонцого материала, два промежуточных резиновых кольца 7 для уплотнения оправки 2 и втулки 4 с шайбами 6 н размещенного между ними диска 8, жестко закрепленного ца обойме 9 электродвигателя 5 и имеющего каналы для подвода вакуума.При включенном вакууме под действием силы атмосферного давления шайбы 6 поджцмаются с двух сторон к диску 8, что обеспечивает вакуумное уплотнение вращающихся деталей.Для уменьшения износа шайб 6 центрифуга снабжена распорным кольцом (О, установленным между шайбами 6.Уплотцяющие шайбы 6 выполнены из теплоизолирующего материала, например фторопласта, благодаря чему оправка 2 надежно теплоцзолцрована от зоны трения и це подвергается нагреву.11 сцтр и фуга работает следующим образом, На полупроводниковую пластину 8 наносится несколько капель жидкого фоторезиста, затем центрифуга приводится во вращение с определенной скоростью в течение определен358019 Предмет изобретения 7 Р 3 + о 70 87 Составитель Н. Карамышева Текред Л. Богданова Корректор А. Васильева Редактор С, Титова Заказ 4070/11 Изд. Мо 1635 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мпппстров СССРМосква, Ж.35, Рауновская паб., д, 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 ного времени, в результате чего на пластинеооразуется топкая пленка фоторезиста,1, Центрифуга для папессц плсц фоторезиста на полупроводниковую пластину, включающая сборник фоторезиста, установленную внутри него вращающуюся оправку для вакуумного закрепления пластины, канал для подвода вакуума, вакуумное уплотнение и электродвигатель, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции и сокращения времени разгона центрифуги, оправка установлена на валу электродвигателя, а вакуумное уплотнение выполнено в виде враитающихся шайб из антпфрикционного материала и неподвижного диска, размещенного между 5 ними, при этом каналы для подвода вакуумавыполнены в теле диска.2, Центрифуга по п. 1, отличающаяся тем,что, с целью уменьшения износа шайб, она снабжена распорным кольцом, установленным 10 между шаибами.3. Центрифуга по п. 1, отличающаяся тем,что, с целью уменьшения нагрева оправки, шайбы выполнены из теплоизоляционного материала, например, фторопласта.

Смотреть

Заявка

1461335

М. А. Ошм

МПК / Метки

МПК: B04B 5/00, B05C 9/00

Метки: 358019

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-358019-358019.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">358019</a>

Похожие патенты