Магнитная головка ц. ля создания магнитного поля при измерениях эффекта холла в тонких пленках

Номер патента: 347705

Авторы: Колосницын, Лабунов

ZIP архив

Текст

описд 4"ие ИЗОБРЕТЕН Ия 347705 Союз Советокив Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. сЗаявлено 181971с присоединением зПриоритетОпубликовано 10.ЧДата опубликования етельства Хе Ло 1624071/18 10 Кл. С 01 г ЗЗ 06 вкц М Комитет по деламобретений и открытий.1972. Бюллетень М 2 описания 28 Ч 11,197 С 538,632:621.317.4 (088,8) при Совете Министре Авторы изобрете бунов и Б. С. Колосницын радиотехнический институ. А Мин тель МАГНИТНАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ СОЗДАНИЯ МАГНИТНОГО ПОЛ ПРИ ИЗМЕРЕНИЯХ ЭФФЕКТА ХОЛЛА В ТОНКИХ ПЛЕНКА0 г Изобретение относится к радиотехнике, в частности к устройствам, с помощью которых осуществляется изготовление и измерение параметров пленок, используемых в радиотехнических устройствах.Известные конструкции магнитных головок, применяемые в измерительных установках це позволяют измерять холловскце характеристики непосредственно в вакуумной камере и в процессе напыления пленки, При извлечении пленки цз камеры ца цей мгновенно образуется тончайший слой окисла, препятствующий получению точных результатов. Кроме того, после замеров вновь производить напылешге не представляется возможным - препятствует окисел.Цель изобретения - осуществление измерений непосредственно в вакуумной камере в процессе напыления.Для этого в предлагаемом устройстве сердечник и перемычка соединены между собой шарнирно, а на торце среднего стержня закреплена вместе с маской подложка с предварительно напыленными ца цее токовыми ц холловскими контактами, при этом в процессе напыления и па время измерений сердечник и перемычка соответственно размыкаются ц замыкаются.На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство. Ъстройство содержит распаечцые клеммы 1,ца держателе которых коммутцрлотся выводы холловских контактов (ца чертеже не показаны), откидную пружину 2, катушку электро мапшта (головки) 3, тягу 4, средний стержень5, подложку 6, маст; 7, каркас 8, пружцццыц зажим 9, холловскце контакты 10, уголок 11, Ш-образный сердечник 12, перемычку 13, изоляционную прокладку 14, дополнительные 10 уголки 15, шарнирное соединение 16 и скобу 17.В зазор между средццм стержнем 5 ц перемычкой 13 помещают подложку 6, а на цее кладут маску 7. Подложку ц маску закреп.пя ют зажцмамц 9 ца торце стержня 5. В вакуумной камере головку крепят на уголках так, чтобы перемычка 13 находилась прямо над цспарцтелем. К началу напыления перемычка откидывается в 1 шз, цаптпляемый материал 20 осаждается ца подложке, По достижении требуемой толщины напыления управляющий сигнал через тягу 4 ц скобу 17 воздействует на перемычку. Последняя перекрывает магнитопроводящие стержни сердечника 12, замыкая 25 тем самым магнцтопровод и прекращая подач цапыляемого материала на подложку. Предмет изобретения 1 агш 1 тцая головка для создания магнитно- поля прц измерениях эффекта Холла в тон347705 Г;.Ъ РА ьа снятой аеремы той Составитель Б, Переверзев дактор Т. Иванова Техред Л. Богданова Корректор С. Сатагуловааказ 26406 Изд.1108 Тираж 406 Поди исно ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова ких пленках, содержащая катушки индуктивности и Ш-образный сердечник с укороченным средним стержнем, перекрываемым с зазором перемычкой, отличающаяся тем, что, с целью осуществления измерений непосредственно в вакуумной камере в процессе напыления, сердечник и перемычка соединены между собой шарнирно, а на торце среднего стержня закреплена вместе с маской подложка с предварительно напыленными на пее токовыми и холловскими контактами, при этом в процессе напыления и на время измерений сердечник и перемычка соответственно размыкаются и замыкаются.

Смотреть

Заявка

1624071

В. А. Лабунов, Б. С. Колосницын Минский радиотехнический институт

МПК / Метки

МПК: G01R 33/07

Метки: головка, измерениях, магнитная, магнитного, пленках, поля, создания, тонких, холла, эффекта

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-347705-magnitnaya-golovka-c-lya-sozdaniya-magnitnogo-polya-pri-izmereniyakh-ehffekta-kholla-v-tonkikh-plenkakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Магнитная головка ц. ля создания магнитного поля при измерениях эффекта холла в тонких пленках</a>

Похожие патенты