329501
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 329501
Авторы: Багратишвили, Ков, Крикун, Кулагин, Шиошвили
Текст
ФСАН ИЕ О П Союз Советских Социалистических Республикприсоединением за ПриоритетОпубликовано 09.11.1972, Бюллетень М 7 Комитет вз деламизобретений и открытиори Совете МинистровСССР 1,753,3;621.3.088.8) исания 28.111.19 та опубликования Авторыизобретения иошвили, Э. Н, Тряков, В.А, Кулагин агратишвили, Ш кун явитель фОТОШАБЛОН Изобретение относится к технологии прозводства радиоэлектронной аппаратуры, в астности к изготовлению фотошаблонов. Защитнаясится нанапример, сраспыления т5Условия ида кремния пленкаетаччизпомощьипа УВ Известен фотошаблон, выполненный в виде нанесенного на прозрачную, например стеклянную, подложку металлизированпого изображения требуемой функциональной схемы, покрытого слоем защитного материала, например двуокиси кремния.Относительно низкая микротвердость (795 кг/млт 2) пленки двуокиси кремния позволяет увеличить износостойкость фотошаблонов лишь в 1,5 - 2 раза. Кроме того, из-за близости значений коэффициентов преломления двуокиси кремния (и=1,4 б 2) и оптического стекла (п=1,5153), обычно используемого в качестве стеклянной основы фотошаблона, не достигается увеличение разрешающей способности фотошаблона. жим нанесения пленок нитрн акуумной давление азота вО 10 з лтлт рт. ст.;аподный ток /и =1 -напряжение распыл)рпсп -тишенп 90 -95 ма; итрида си сремнпя в процессе оса нки нитрпд крсх Испы попов, з се конт 5 лона с залп ув ного та НПЮ С 1 раз, а р 0 два разляется повышение ающей способности тания металл ащищенпых п актирования полупроводпп елпченнс нзно спм образом ф езащнщенным азрешающей с зовапием в качсстенки нитрида кремющейся микротвери коэффициентом Целью изобретения зносостойкости и разрфотошаблона. Достигается это исполь е защитного покрытия пл ия (Ь 1 ЗИ 4) ха р актеризу остью 3337-120 кг/лтм реломления тт=2 - :2,02.нитрида кремния нанотрованный фотошаблон, о становки реактивного изи ров анных фотошабленкой 51 зХ 4, в процессовмещения фотошабковоп подложкой покасостойкости изготовленотошаблона по сравнене менее чем в десять пособности более чем в329501 Предмет изобретения Составитель Д. МатевосовТскрсд А. Камышникова Корректор Е. Миронова 1 сдактор Г, Гончарова Заказ 715/13 Изд. М 251 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мишстров СССРМосква, Ж, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Фотошаблон, выполненный в виде папссспного на прозрачную, например стеклянную, подложку металлизированного изображения требуемой функциональной схемы, покрытого слоем защитного материала, отличающийся тем, что, с целью увеличения износостойкостн и разрешающей способности фотошаблона, в качестве защитного слоя использова на пленка нитрида кремния.
СмотретьЗаявка
1478839
Г. Д. Багратишвили, Ш. И. Шиошвили, Э. Н. ков, В. М. Крикун, Ю. А. Кулагин
МПК / Метки
МПК: H01L 21/31
Метки: 329501
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-329501-329501.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">329501</a>