Измерительный ртутный зонд
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Изобретение относится к электронной промыпленности, в частности кустройствам коитроля и исследованияэлектрофизических параметров полупроводниковых структур, и является усо 5вершенствованием изобретения поавт.св, В 974463.Цель изобретения - повышение надежности контактирования и точностиизмерений за счет того, что измерительный ртутный зонд снабжен расположенным под острым углом к оси симметрии зонда прозрачным отводом с капилляром, заполненным ртутью, с косымсрезом на конце, плоскость которогоперпендикулярна оси симметрии зонда.На чертеже представлена конструкция измерительного ртутного зонда.Измерительный ртутный зонд содержит основание 1, выполненное из магнита,к которому крепится емкость 2,заполненнаядиэлектрической жидкостью3, в которой имеется пузырек газа,свнесенным внутрь нагревателем 4, 25прозрачный отвод 5 с, капилляром 6,сообщающийся с полостью 7, заполненной. ртутью. Прозрачный отвод 5 расположен под острым углом к оси симметрии зонда и имеет косой срез 9 наконце, плоскость которого перпендикулярна оси симметрии зонда. Электрический контакт 10 с ртутью выполнен из металла, не взаимодействующе-го с ртутью. Между ртутью и диэлек 35трической жидкостью расположена мембрана 11,Зонд работает следующим образом.После установки зонда на исследуемую поверхность включается нагреватель 4 и жидкость 3 расширяясь, выталкивает ртуть в капилляре 6 прозрачного отвода 5 к поверхности образца 8 до образования контактной площадки на исследуемой поверхности.При этом визуально или с,помощьюмикроскопа, располагаемого параллель"но оси симметрии зонда над объектомизмерения, используя то, что отвод5 выполнен из прозрачного материала,расположен под острым углом к осисимметрии зонда и имеет косой срезна конце, осуществляется визуальныйконтроль положения ртутного мениска относительно среза капилляра отвода. В случае необходимости, когда имеется область среза капилляра, незаполненная ртутью, производится дополнительная корректировка положения мениска ртути до полного заполнения ею среза капилляра отвода. При этом обеспечивается стабильная площадь контактирования, определяемая площадью капилляра. Использование в качестве основания 1 магнита упрощает перемещение зонда. Газовый пузырек в жидкости предохраняет механизм от чрезмерного возрастания давления,Величина острого угла, под которым располагается прозрачный отвод к оси симметрии измерительного ртутного зонда, определяется требуемой площадью контактирования и необходимой точностью контроля процесса контактирования и лежит в пределах 30-60ОПредлагаемая конструкция измерительного ртутного зонда дает воэможность контролировать площадь контактирования и при необходимости корректировать ее, что позволяет получить постоянную величину площади контакта ртути с исследуемой поверхностью. Тем самым достигается повышение надежности и точности измерений, Кроме того, сквозь прозрачный отвод возможен визуальный контроль точностиконтактирования с объектами малых, соизмеримых с диаметром мениска ртути размеров.При этом измерение производится без нарушения целостности защитных пленок, напыленного материала и структуры исследуемой подложки.оФормула изобретения Измерительный ртутный зонд по авт.св. У 974463, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности контактирования и точности измерений, сквозной аксиальный капилляр выполнен из светопроницаемого материала и расположен под острым углом к оси симметрии зон" да, причем на конце капилляра выполнен косой срез, плоскость которого перпендикулярна оси симметрии зонда,
СмотретьЗаявка
4237270, 30.04.1987
КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МВТУ ИМ. Н. Э. БАУМАНА
БАРЫШЕВ ВЯЧЕСЛАВ ГРИГОРЬЕВИЧ, СТОЛЯРОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСЕЕВИЧ, СИДОРОВ ЮРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: зонд, измерительный, ртутный
Опубликовано: 23.03.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1552260-izmeritelnyjj-rtutnyjj-zond.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измерительный ртутный зонд</a>
Измерительный ртутный зонд
Номер патента: 974463
Опубликовано: 15.11.1982
МПК: H01L 21/66
Метки: зонд, измерительный, ртутный
...иглуи механизм перемещения ртути к измеряемой поверхности, состоящий из магнита 2, к которому крепится емкость 3, заполненная жидкостью 4, в которой имеется пузырек газа. Емкость снабжена нагревателем 5, который может быть размещен снаружи или внутри ее (фиг, 2), и сообщается с капилляром 6, заполненным ртутью 7. Капилляр 6 выполнен аксиально в диэлектрическом, не смачиваемом ртутью диске 8. Электрический контакт 9 между ртутью и магнитом иглы выполнен из металла, не взаимодействующего со ртутью. Между ртутью и жидкостью емкости размещена мембрана 10.Зонд работает следующим образом.При опускании зонда на исседуемую поверхность и включении нагревателя 5 жидкость 4 расширяется и выталкивает ртуть в капилляре 6 к поверхности образца, На...
Измерительный ртутный зонд
Номер патента: 617726
Опубликовано: 30.07.1978
МПК: G01R 1/06
Метки: зонд, измерительный, ртутный
...ртутный зонд.Зонд состоит из диска 1, выполненного изпеэлектропроводного и не смачиваемого ртутью материала, со сквозным аксиальным25 30 35 Составитель Ф. ЦРедактор В. Левитов Техрсд О. Т ареградскиирина Корректор А. Степанов Изд.50 осударственного по делам 113035, Москвааз 1357/8Н Тираж 1122Совета Министрй и открытийушская наб. д, 4 ПодписноеСР комитета зобретен Ж, Р апунова,ипогра ия, п 3капилляром 2, заполненным ртутью 3, и хорошо обработанной рабочей плоскостью 4 дисковой заглушки 5 из электропроводного и не смачиваемого ртутью материала, плотно вставленной конусообразно заостренным выступом 6 в капилляр 2, и металлической иглы 7, упирающейся острием 8 в конусное углубление 9 на дисковой заглушке 5.Зонд работает следующим...
Измерительный ртутный зонд
Номер патента: 860360
Опубликовано: 30.08.1981
Авторы: Золотухин, Криворотов, Марончук
МПК: H05K 1/11
Метки: зонд, измерительный, ртутный
...несмачивания конусной заглушки, во тствне перемещению ртути верхностн контакта,860360 20 НИИПИ Заказ 7576/3ираж 889 Подписное Цель изобретения - повышение надежностиработы.Поставленная цель достигается тем, что изме.рительный ртутный зонд, состоящий из контакт.ного устройства с капилляром, заполненнымртутью, и механизмом для перемещения ртути,снабжен металлическим стержнем, расположен.ным внутри капилляра, диаметр которого меньше половины диаметра капилляра,Наличие металлического стержня в капилляре улучшает воспроизводимость площади ртут.ного контакта с объектом измерения при многократной установке зонда.Диаметр металлического стержня не долженбыть больше половины диаметра капилляра, впротивном случае изменяетсй форма и...
Измерительный ртутный зонд
Номер патента: 995000
Опубликовано: 07.02.1983
Авторы: Лысенко, Мамалыгин, Набережных, Яковлев
МПК: G01R 1/06
Метки: зонд, измерительный, ртутный
...диска 1, выполненного иэ неэлект. ропроводного и несмачиваемого ртутью материВНИИПИ Заказ 63229 Тираж 708 Подписи Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул.Проектная 3 995000ала, со сквозным аксиальным капилляром 2,заполненным ртутью 3, и дисковой заглушки4 иэ .электропроводного и несмачиваемогортутью материала, плотно вставленной конусообразно заостренным выступом 5 в капилляр2, и металлической иглы 6, упирающейся острием 7 в конусное углубление 8 на дисковой заглушке 4. Зазор между гранями остриязаглушки соединен с системой 9 сжатого газачерез канал 10, выполненный в контактном 1 одиске 1 или в заглушке 4, Система 9 сжатого газа снабжена регулятором 11 давления.Зонд работает следующим образом,При опускании зонда на исследуемую поверхность...
Измерительный ртутный зонд
Номер патента: 1058008
Опубликовано: 30.11.1983
МПК: H01L 21/66
Метки: зонд, измерительный, ртутный
...тем, что измерительный ртутный зонд снабжен дополнительным капилляром, заполненным газом, электродом с диэлектрическим покрытием и измерителем емкос" ти с регулятором тока нагревателя, причем электрод расположен внутри дополнительного капилляра, один конец которого сообщается с емкостью, 40 заполненной ртутью, а другой герметизирован, при этом электрод соединен с измерителем емкости, другой вход которого соединен с ртутью, а выход измерителя емкости соединен с 45 регулятором тока нагревателя.На чертеже схематично изображен измерительный ртутный зонд, разрез.Измерительный ртутный зонд содержит намагниченную иглу 1, магнит 2, 5 О на котором закреплена замкнутая емкость Ь механизма перемещения ртути, включающего полость 4,...
Предыдущий патент: Способ установки теплового экрана
Следующий патент: Фазовращатель
Случайный патент: Способ получения 2-амино-пиримидина