Измерительный ртутный зонд

Номер патента: 1552260

Авторы: Барышев, Сидоров, Столяров

ZIP архив

Текст

Изобретение относится к электронной промыпленности, в частности кустройствам коитроля и исследованияэлектрофизических параметров полупроводниковых структур, и является усо 5вершенствованием изобретения поавт.св, В 974463.Цель изобретения - повышение надежности контактирования и точностиизмерений за счет того, что измерительный ртутный зонд снабжен расположенным под острым углом к оси симметрии зонда прозрачным отводом с капилляром, заполненным ртутью, с косымсрезом на конце, плоскость которогоперпендикулярна оси симметрии зонда.На чертеже представлена конструкция измерительного ртутного зонда.Измерительный ртутный зонд содержит основание 1, выполненное из магнита,к которому крепится емкость 2,заполненнаядиэлектрической жидкостью3, в которой имеется пузырек газа,свнесенным внутрь нагревателем 4, 25прозрачный отвод 5 с, капилляром 6,сообщающийся с полостью 7, заполненной. ртутью. Прозрачный отвод 5 расположен под острым углом к оси симметрии зонда и имеет косой срез 9 наконце, плоскость которого перпендикулярна оси симметрии зонда. Электрический контакт 10 с ртутью выполнен из металла, не взаимодействующе-го с ртутью. Между ртутью и диэлек 35трической жидкостью расположена мембрана 11,Зонд работает следующим образом.После установки зонда на исследуемую поверхность включается нагреватель 4 и жидкость 3 расширяясь, выталкивает ртуть в капилляре 6 прозрачного отвода 5 к поверхности образца 8 до образования контактной площадки на исследуемой поверхности.При этом визуально или с,помощьюмикроскопа, располагаемого параллель"но оси симметрии зонда над объектомизмерения, используя то, что отвод5 выполнен из прозрачного материала,расположен под острым углом к осисимметрии зонда и имеет косой срезна конце, осуществляется визуальныйконтроль положения ртутного мениска относительно среза капилляра отвода. В случае необходимости, когда имеется область среза капилляра, незаполненная ртутью, производится дополнительная корректировка положения мениска ртути до полного заполнения ею среза капилляра отвода. При этом обеспечивается стабильная площадь контактирования, определяемая площадью капилляра. Использование в качестве основания 1 магнита упрощает перемещение зонда. Газовый пузырек в жидкости предохраняет механизм от чрезмерного возрастания давления,Величина острого угла, под которым располагается прозрачный отвод к оси симметрии измерительного ртутного зонда, определяется требуемой площадью контактирования и необходимой точностью контроля процесса контактирования и лежит в пределах 30-60ОПредлагаемая конструкция измерительного ртутного зонда дает воэможность контролировать площадь контактирования и при необходимости корректировать ее, что позволяет получить постоянную величину площади контакта ртути с исследуемой поверхностью. Тем самым достигается повышение надежности и точности измерений, Кроме того, сквозь прозрачный отвод возможен визуальный контроль точностиконтактирования с объектами малых, соизмеримых с диаметром мениска ртути размеров.При этом измерение производится без нарушения целостности защитных пленок, напыленного материала и структуры исследуемой подложки.оФормула изобретения Измерительный ртутный зонд по авт.св. У 974463, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности контактирования и точности измерений, сквозной аксиальный капилляр выполнен из светопроницаемого материала и расположен под острым углом к оси симметрии зон" да, причем на конце капилляра выполнен косой срез, плоскость которого перпендикулярна оси симметрии зонда,

Смотреть

Заявка

4237270, 30.04.1987

КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МВТУ ИМ. Н. Э. БАУМАНА

БАРЫШЕВ ВЯЧЕСЛАВ ГРИГОРЬЕВИЧ, СТОЛЯРОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСЕЕВИЧ, СИДОРОВ ЮРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: зонд, измерительный, ртутный

Опубликовано: 23.03.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1552260-izmeritelnyjj-rtutnyjj-zond.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измерительный ртутный зонд</a>

Похожие патенты