Багратишвили

Номер патента: 329501

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Багратишвили, Ков, Крикун, Кулагин, Шиошвили

МПК: H01L 21/31

Метки: 329501

...двуокиси кремния (и=1,4 б 2) и оптического стекла (п=1,5153), обычно используемого в качестве стеклянной основы фотошаблона, не достигается увеличение разрешающей способности фотошаблона. жим нанесения пленок нитрн акуумной давление азота вО 10 з лтлт рт. ст.;аподный ток /и =1 -напряжение распыл)рпсп -тишенп 90 -95 ма; итрида си сремнпя в процессе оса нки нитрпд крсх Испы попов, з се конт 5 лона с залп ув ного та НПЮ С 1 раз, а р 0 два разляется повышение ающей способности тания металл ащищенпых п актирования полупроводпп елпченнс нзно спм образом ф езащнщенным азрешающей с зовапием в качсстенки нитрида кремющейся микротвери коэффициентом Целью изобретения зносостойкости и разрфотошаблона. Достигается это исполь е защитного покрытия...