Устройство для измерения параметров тонких диэлектрических пленок

Номер патента: 329483

Авторы: Гессен, Морозов, Эпшгеми

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 329483ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРЖОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистическик Республик( 144028626-9) ависимое от Л 1. Кл. С 01 г 27/26 Заявлено 19 тт.1970 с присоединением з иоритет Комитет по делам изобретений и открыт при Совете Министре СССР.31;торнизобретенни В. Гессен, Ю в и С. Л. Эиге о Здявггсль СТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНК 1 Х ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕОКчсскнм электродом 4, ракоторого имеет сферичежка помещается в паз изоки г), а верхний метдллнзакреплен на штоке 6, нд )010 ХСТДН 013 ЛСНЯ 1)МЧК . пружина 8 )б)сс нсчнвдет ннс мсжлу )лск г)Олггми, 1 1 1С М 0ТР 031 1И10 ,талл 1 н верхним мбочая поьерхскую форму. Пл 51 ционной прческий электверхнем концКдлнбрОВ 211,сьбхогимое11 с 1 с)д:гн11) 1 Д Н Н Н ). одло КЛ 2 Д Од -г Ко ОаяГЕРОН брет с лмст гройст ЛНЭЛС 1 )11 СС )ь, сод ой мс гогг.;. сс ости й РОЗ лнснд д,1 Хэлскжен.неча ОЧ 1 1 ОГ лип.1)Ы 1 Изоорстсние относится к радиоэлектротехнике и может быть использовано в олях промышленности, выпускающихпользующих диэлектрические пленки.Известные устройства для измерения параметро 3 тонких диэлектрических пленок, например диэлектрической проницаемости итднгснсд угла потерь, содержащие лвд элсктн),1 а с )дсполо)ксннОЙ хсжду нп.н измср 510 мой нлсшсой, имеют невысокую точность измсрсння.Целью нзооретения является устранениеэтого недостатка.Посгавленная цель достигается тем, что рабочая поверхность одного из электродов покрыта слоем токопроволящей резины, а рабочая поверхность другого выполнена в форме выпуклого шарового сегмента,1-1 а чертеже представлена схема предлагаемого устройства. 20Измеряемый образец пленки 1 помещенмежду нижним электролом, представляющимсобой пластину 2 из токопроводящей резины,закрепленную нд металлической подложке ),во лля ггзмсрсння пдрдмстров тон(г)нчсскнх плснок, нднрн)1 ср литой и)Онпцдемостн и тднгенсд мгла ер)кдпгсс л 132 электрола с раснол)- жлу ними измеряемойленкой, отг тем, что, с целью повышения змсрсння, рабочая поверхность олектролов покрыта слоем токоггровоны, и рабочая поверхность другого 13 1)01) хгс 131 э 1 пх клого ц 12 РОво 0 ссг:1 аказ 356,15 11 зд М 2341,1111 П 11 Ел 1 иста ио делам изобретении и

Смотреть

Заявка

1440286

Г. В. Гессен, Ю. Г. Морозов, С. Л. Эпшгеми

МПК / Метки

МПК: G01R 27/26

Метки: диэлектрических, параметров, пленок, тонких

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-329483-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-parametrov-tonkikh-diehlektricheskikh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения параметров тонких диэлектрических пленок</a>

Похожие патенты