Способ получения моносилана
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(51) М. Кл.еС 01 333/О 440706/23-2 6 присоединением заявки3) Приоритет Государственный иомитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий юллетень37 аяия 17.12.76 10,7(45) Дата опубликования о Л, Волков, А. И, Кузнецов и Л. М. Антипин 72) Авторы изобретен 1) Заявител 4 ОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА Изобретение относится к химическои электронной промышленности, в частноси к получению моносилана особой степен н токсисилана гидана происхэдитпкилов, взятых итаксиальнои технологии изготовлениялупрэводниковых приборов,О илан емн еране н ексным еи,чение нтов, аствори что ого мо- водств соба явля тура протност примерсэдержа 1 О%ть моноакже повыс суммарным тх примесей дэожность получ пени чистоты,траэтоксисилана емого ием определяемьпроцесс дает возм илан высокой ст вать тетраэтоксисилан,ется дешеагается восста укта предлкоксисил пример теткоторый явл и, н трия дост гидридом н ным продуктом, Кромея не содержит птов 111 и Ч групп вым и ле 1 ктого, гидридуглерода и дрид натрия в иния связыв рисутт лету боран,Кроме того, гствии триалкилал 5 чие соединения б римесеи, постр ттример д мен истэты, пригодного для использова Известен способ получения монос путем восстановления соединений кр в частности тетраэтоксисилана,комп алюмогидридами в среде растворите Процесс ведут при 150-160 С в те нескольких часов,Недостатками известного спо ются довольно высокая темпера цесса, его длительность и дефици указанных восстановителей,Для упрощения процесса, а т шения степени чистоты получакольку их летучие соедин в процессе его полученияВосстановление тетраэ ридом натрия до моносил в присутствии алюминийа шению к гидриду натрияФМоН+ОАО +5(ОС Н ) - фН +4 йаР.4 1 л.Реакция протекает в интервале темптур 4-100 С с высоким выходоможе 96% от теоретического), которьвисит от порядка смешения компонеПроцесс может проводиться без ртеля в избытке тетраэтоксисилана,способствует получению более чистносилана. Поскольку освоенэ произ чень чистых алкоксисиланов, на327781 Составитель Л. ГруздевРедактор Н, Корченко Техред А, Богдан Корректор И. Гэксич Заказ 5399/130 Тираж 630 Подписное ЦНИИПИ Государствечного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 в нелетучие боргидриды,что обеспечиваетглубокую очистку моносилана от диборана в процессе получения и значительноупрощает стадию очистки продукта,П р и м е р, В кварцевый реактор,предварительно заполненный сухим аргоном,с магнитной мешалкой, обратным холодильником, соединенным с двумя ловушками,охлаждаемыми смесью из сухого льда,ацетона и спирта, термометром и капельной воронкой заливают 20 мл толуола и22,2 г триизобутилалюминия. При помощидозатора в реактор при комнатной температуре добавляют измельченный гидриднатрия в количестве 4,82 г. К полученному раствору при перемешивании постепенно прибавляют 5,2 г тетраэтоксисиланамарки ОСЧ. В ходе реакции температураподнимается от 20 до 35 оС, Выделяющийся моносилан для очистки от паров тетраэтэксисилана и тэлуэла пропускают черезохлажденные до -78 С ловушки, Выход мо- о носилана, определяемый по весу кремния,полученного термическим разложением моносилана при 900 оС, 97% от теоретического , Реакция заканчивается в течение5 мин. формула изобретения щ 1, Способ получения мэносилана путемвосстановления тетраалкоксисиланов гидридом в среде растворителя, э т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса и повышения степени чистоты про. у дукта, в качестве гидрида используют гидрид натрия и процесс ведут в диапазоне температур 4-100 оС. р 2, Способпоп 1, отличающ и й с я тем, что в качестве растворителя применяют триалкилалюминий,
СмотретьЗаявка
1440706, 05.06.1970
ВОЛКОВ В. Л, КУЗНЕЦОВ А. И, АНТИПИН Л. М
МПК / Метки
МПК: C01B 33/04
Метки: моносилана
Опубликовано: 05.10.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-327781-sposob-polucheniya-monosilana.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения моносилана</a>
Предыдущий патент: Способ получения карминомицина 1
Следующий патент: Осциллографический феррометр
Случайный патент: Поворотный механизм