Раствор для травления никеля и ковара•: cз; ar•gt; amp; ., -•. •,: , • •г. -и 1: ••: .,: ; .: шияд

Номер патента: 327263

Авторы: Камбур, Карпенко, Кидалюк

ZIP архив

Текст

Союз Советскиз Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 20.Х.1969 (йй 1369031/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 26,1,192. Бюллетень5Дата опубликования описания 6.111,1972 М. Кл. С 231 1/00 Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров СССРУДК 621,794,41:669.1524 25 (088,8) Авторыизобретения Э. С. Карпенко, Б. А. Камбурьян и В. Н, Кидалюк Заявитель С 3.:Атт РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ НИКЕЛЯ И КОВАРА 250 10 Неровностьвытравленного края, лгк Скорость Температура травления,ли/ликтравителя,30 44 65 90 25 30 40 50 20 25 Изобретение относится к области хцмцче. ской обработки никеля и ковдрд и может быть использовано в электронной промышленности, приборостроении и радиопромышленности, в частности, для изготовления рамок выводов при производстве интегральных микросхем и для изготовления деталей сложной конфигурации фотохимическим методом.Известен раствор для травления ццкелц ковара ца основе хлорного железа.Однако в известном растворе в процессе травления цд поверхности образуется трудцорастворимый шлам, который и репятствуег равномерному травленшо, снижая скорость травления и качество поверхности.Предлагаемый раствор отличается от известного введением в его состав азотной и уксусной кислот при определенном соотношении компонентов, что позволяет интенсифицировать процесс и обеспечить равномерное травление без образования шлама. Предлагаемый раствор содержит хлорное железо, азотную и уксусную кислоту при следующем соотношении компонентов, мл/л:хлорное железо 450 - 490 г/лазотная кислота(уд, вес. 1,05) 240 - 260 П р и м е р. Проводилось двустороннее травление никеля в растворе следующего состава, лг,г:хлорное железо(уд. вес. 1,05) 250прц темпердтуре 25 - 50 С.Скорость трдвлецця и неровность вытравленного края в зависимости от температуры рдствора представлены в таблице. Предмет изобретения 1. Рдсгвор для травления никеля и ковард30 ца основе хлорного железа, отлп гающпггслКорректор Е, Зимина Редактор В. Новоселова Заказ 54626 Изд, Ъв 162 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 тем, что, с целью интенсификации процесса иобеспечения равномерного травления без образования шлама, в его состав введены азотная и уксусная кислоты,2, Раствор по п, 1, отличающийся тем, чтов него введены азотная и уксусная кислоты при следующем содержании компонентов,лл/л:хлорно железо 450 - 490 г/лазотная кислота

Смотреть

Заявка

1369031

Э. С. Карпенко, Б. А. Камбурь, В. Н. Кидалюк

МПК / Метки

МПК: C23F 1/28

Метки: ar•gt, ковара, никеля, раствор, травления, шияд, —г

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-327263-rastvor-dlya-travleniya-nikelya-i-kovara-cz-argt-amp-g-i-1-shiyad.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления никеля и ковара•: cз; ar•gt; amp; ., -•. •,: , • •г. -и 1: ••: .,: ; .: шияд</a>

Похожие патенты