Устройство для измерения неэлектрических величин

О йС."А Н И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Саветсиив Социалистический Республик324510 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 01.Х 11.1969 ( 1383182/18-10)к присоединением заявки-Приоритет -Опубликовано 23.Х 1.1971. Бюллетень2 за 1972.Ч.Кл. 6 01 с 7,226 01 р 1508 Комитет по делам иаабретеиий и открытий при Совете Министров СССРУДК 536.531 (088.8) Дата опубликования описания 28.1.1972 Л вторыизобретения М. Е, Ксенофонтов, А. И. Кривоносов, В. С. Папков, Ю. А. Райнов,И, И. Смыслов и М. В. Суровиков Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН Изобретение относится к области измерения электрическими способами температуры и других неэлектрических величии, таких, например, как давление, сила, у скорение, перемещение и т. и, 5Известны интегральные упруго-чувствительные элементы в виде балочек и диафрагм (в качестве несущей конструкции) из моноиристаллов полупроводников и диэлектриков, на которых выполнены диффузионные или эпитакси алыные элементы с выводами. Эти элементы являются чувствительными областями балочки, т. е, преобразуют измеряемую величину в изменение сопротивления, которое репистрируется электрическими способами. 15Известные элементы обладают следующими недостатками; при монтаже электросхемы датчика и сборке интегрального элемента с корпусом:неизбежны мелкие ручные операции, требующие высокой квалификации; для каждого 20 типа датчика конструируется и изготовляется индивидуальный элемент, что не соответствует современным требованиям унификации узлов приборов.С целью унификацииповышения точности 25 измерений, надежности работы и упрощения устройства чувствительный элемент предлагаемого устройства выполнен в виде язычка, образованного криволинейной прорезью в пластине монокристалла, периферийная часть которой Зо служит для закрепления ее в корпусе. Такой элемент является унифицированным, поскольку может быть использован в датчиках для из. мерения различных неэлектрических величин, при этом в зависимости от назначения датчика меняется лишь конструкция его корпуса.На чертеже приведена конструкция предлагаемого устройства.Предлагаемое устройство состоит пз чувствительного элемента 1, выполненного в виде язычка, образованного криволинейной прорезью 2 в пластине 3 монокристалла.На обеих сторонах чувствителыного элемента по интегралыной технологии выполнена полупроводниковая схема 4, от которой выведены напыленные металлические дорожки 5, оканчивающиеся пятачками 6.Периферийная часть защищает чувствительный элемент и создает идеалыное соединение его с корпусом датчика (на чертеже не показан) благодаря отсутствию трения, сжимающих сил, различию коэффициентов термического расширения,Для усиления сипнала, регистрируемого полупроводниковой схемой при изменении измеряемой величины, на кольце изготавливается по планарной технологии полупроводниковый усилитель.Предлагаемая конструкция позволяет автоматизировать пайку выводов к схеме датчика, давиель И. Дубсо виктор В, Блохина 1 схреп Е. Борисова Ксррек 1 о,р Т, Бабакина Тираж 44 Изл."в 1 Ь Когиитста по пслаги иао Москва, отли аукав 3 Министров СС ий при Советаб., и. 4/5 1111 И И тонии и откр 35, Рауьпская бластиаи типографии Костромского управлении по печат при его сборке, поскольку положение унифицированного элемента фиксируется в корпусе, .а расположвние конечных впятачков на коль- ЦЕ СТРОГО ОДИНаЮВО; х 1 УВОтВИтЕЛЬНЫй ЭЛЕМЕНТ защищен периферийной частью пластины от 5 повреждений во время изготовления; чувствительный элемент идеалыно закреплен в корпусе; без пережимов, трения и концентраций напряжения; элемент является унифицированным. ,10Применение интегральной технологии позво.лило создать миниатюрную конструкцию, причем предел миниатюризации еще не достигнут. Устройство для измерения (неэлектричеоких величин,содержащее чувствительный элемент, расположенный в корпусе и выполненный из пла 1 стины монокристалла, и измерительную схему, нанесенную напылением на ее поверхности, отличающееся тем, что, с целью унификации, повышения точности измерений, надежности работы .и упрощения устройства, в нем чувствителвный элемент выполнен в виде язычка, образованного криволинейной прорезью в пластине монокристалла, периферийная часть которой служит для закрепления ее в корпусе.