Способ измерения величины зазора между двумядеталями

ОП И САН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ3 9839 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства- Заявлено 27 1 Ч.1970 ( 1429934/25-28) ПК б 01 Ь 11/14 присоединением заявки-ПриоритетОпубликовано 02.Х 1.1971. БюллетеньДата опубликования описания 22.Х 11.197 Комитет по делам аобретений и открытий при Совете Министров СССР. Г. Земск ов, В. Т. Стогиушеико, В. В. Архипов, В, А, С В. А. Фаткин и М. Г, БарановСевастопольский приборостроительный институ велье Заявит СПОСОБ ИЗМЕРЕН ЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА МЕЖДУ ДВУМЯДЕТАЛЯМИ Изобретение относится к области измерениялинейных размеров в машиностроении.Известен способ измерения величины зазора между двумя деталями с использованиеминтерферометра, заключающийся в том, что 5контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра,пучок света интерферометра направляют накромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, исполняющей роль подвижногозеркала интерферометра,Но так как измерение осуществляется визуально, непосредственным счетом количестваинтерференционных полос, то точность полученного результата измерения зависит от степени квалификации оператора, кроме того, повышение производительности контроля ограничено возможностью восприятия перемещения интерференционных полос человеческим 20глазом.Цель изобретения - повысить точность ипроизводительность измерения.Достигается это тем, что световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательныхпучка света, один из которых направляют нафотоэлектронный умножитель, предназначенный для регистрации начала и конца измерения зазора по изменению освещенности фото катода. Другой пучок света направляют на неподвижное и подвижное зеркала, отразившись от которых, интерферированный пучок света направляется на второй фотоэлектронный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фотокатод.На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.Световой поток от ОКГ 1 разделяют свето- разделительной пластиной 2 на два пучка 1 и 11, Поток лучей пучка 1 объективом 3 фокусируют в плоскости, образующей измеряемый зазор 4, расположенный в фокальной плоскости объектива, Отразившись от кромки одной из проверяемых деталей, поток лучей попадает на светоразделительную пластину 2 и далее на фотоэлектронный умножитель 5. Поток лучей пучка 11 полупрозрачным зеркалом б разделяют на два пучка 11, и 11 п. Пучок 11, направляют к зеркалу 7, а световой пучок 11 о - к зеркалу 8. При изменении расстояния между плечами 11 и 11 б отраженные световые потоки от зеркал 7 и 8 на полупрозрачном зеркале б, образуют интерференционную картину и далее поступают на фотоэлектронный умножитель 9 в виде темных и светлых полос. При изменении освещенности фотокатода фотоэлектронного умножителя 5 (а это происходит при расфокусировке светового пятна в момент его поРедактор С, П. Ежкова Корректоры: Л. Корогод и А. Николаева Заказ 3636/12 Изд.1556 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская нао., д, 44 Типография, пр. Сапунова, 2 падания в проверяемый зазор) включается фотоэлектронный умножитель 9, непосредственно регистрирующий количество интерференционных полос, проходящих через фотокатод, По окончании прохождения зазора световое пятно снова попадает на кромку детали, находящуюся в фокальной плоскости объектива, изменяется величина отраженного светового потока, приходящегося на фотокатод фотоэлектронного умножителя б, который фиксирует конец измерения. Истинная величина измеряемого зазора определяется в величинах кратных длине волны оптического квантового генератора и определяется в мм в соответствии с известным уравнением:Б=п 1,где и - число полос, зарегистрированныхсчетчиком;Х - длина волны ОКГ,Предмет изобретенияСпособ измерения величины зазора между двумя деталями с использованием интерферо 4метра, заключающийся в том, что контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра, пучок света интерферометра направляют на кромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, которая исполняет роль подвижного зеркала интерферометра, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и производитель ности измерения, световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательных пучка света, один из которых направляют на фотоэлектронный умножитель, предназначенный для 15 регистрации начала и конца измерения зазорапо изменению освещенности фотокатода, а другой - на неподвижное и подвижное зеркала, отразившись от которых, интерферированный пучок света направляется на второй 20 фотоэлектронный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фото- катод.