318808

1.;ОПИС",АНИЕИЗОБРЕТЕН И Я Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ . Зависимое от авт. свидетельства-Заявлено 20,Ч.1970 ( 1441051/25-28) МПК С 01 Ь 11/02 с присоединением заявки-Приоритет -Оупблгтковаво 28.Х.1971. Бюллетень32Дата опубликования описастия 30.1 Ч.1972 йомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 531.715(088,8) Авторыизобретения А. И. Карташев и С. Н. Ивашевский Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ Изобретение относится к области приборостроения и может найти применение в машиностроении, метрологии и в других областях, связанных с точным измерением длин.Известно устройство для измерения малых перемещений, содержащее двухлучевой интерферометр Майкельсона, имеющий источник света - лампу накаливания, и зеркало, жестко связанное с подвижным измерительным стержнем. Недостатком известного устройства является наличие ошибок, связанных с визуальной оценкой смещения ахроматической полосы, что приводит к снижению точности измерения, а также невысокая производительность.Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что, с целью повышения производительности и точности измерения, в качестве источника света интерферометра применена электроннолучевая трубка, а устройство снабжено фотоэлектрическим приемником, на который проецируется световой поток, выходящий из интерферометра, и блоком регистрации, связанным с фотоэлектрическим приемником и отклоняющими пластинами электроннолучевой трубки.На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства.Устройство содержит двухлучевой интерферометр, имеющий источник света - электроннолучевую трубку 1, неподвижное зеркало 2, подвижное зеркало 3, связанное с измерительным стержнем 4, разделительную икомпенсирующую пластины 5, объектив б,проектирующий световое пятно с экранатрубки 1 через пластины 5 на зеркала 2 и 3,объектив 7, фотоприемник 8, на который объектив 7 проецирует световой поток, блок регистрации 9,10 Предлагаемое работает следующим образом,Источником света является сфокусированное светящееся пятно на экране трубки 1.Объектив б проецирует световое пятно через15 пластины 5 на поверхности зеркал 2 и 3. Благодаря этому из всего интерференционногополя образуется только та часть, которая засвечивается этим пятном. Подвижное зеркало3 укреплено на измерительном стержне 4 и20 вместе с ним может перемещаться вдоль осистержня. Объектив 7 собирает световой потокна фотоприемник 8. Устройство работает всходящихся пучках и отъюстировано так, чтоиз всей интерференционной картины высвечи 25 вается только та часть, которая соответствуеткраю ахроматической полосы, При перемещении стержня 4 происходит изменение положепия ахроматической полосы, что вызывает изменение сигнала на выходе фотоприемника 8,З 0 Сигнал подается через усилитель на отклоняю318808 оставитель Л. ЛобзоваТехред Л. Евдонов Корректор Е. Ус едактор К. Шанауров Иза1507 Тираж 473 елам изобретений и открытий при Совете осква, Ж, Раушская иаб., д, 4/5 Заказ 2363ЦНИИПИ Комитета дписио быстров СССР ипография Главмосстроя щие пластины трубки 1 и фактически является сигналом обратной связи, так как смещает световое пятно на экране трубки до тех пор, пока не наступает равновесие между изменением освещенности, вызванным смещением ахроматической полосы, и изменением положения изображения пятна в проекционной системе. Таким образом, световой поток, попадающий на фотоприемник 8, остается неизменным по величине. Величина напряжения сигнала обратной связи соответствует смещению ахроматической полосы. Измерение величины напряжения выполняется с высокой точностью регистрирующим устройством, например потенциометром, что позволяет произвести относительное измерение длины с повышенной точностью. Указанное устройство позволяет выполнять автоматические измерения длин методом сравнения с образцовыми деталями. Предмет изобретения Устройство для измерения малых перемещений, содержащее двухлучевой интерферометр Майкельсона, имеющий источник света и зеркало, жестко связанное с подвижным изме О рительным стержнем, отличающееся тем, что,с целью повышения производительности и точности измерения, в качестве источника света интерферометра применена электроннолучевая трубка, а устройство снабжено фотоэлек трическим приемником, на который проецируется световой поток, выходящий из интерферометра, и блоком регистрации, связанным с фотоэлектрическим приемником и отклоняющими пластинами электроннолучевой трубки.