Иотеиа

ОПИСАНИЕ ЗИ 909ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союа Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-аявлено 25.11.1970 (М 1418887/25-28) 1 ПК 6 01 Ь 9/02 присоединением заявки-Приорите Комитет по делам аобретений и открыт при Совете Министра СССР.Г 1,чд,д явите СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНКОНТРОЛИРУЕМОЙ ППОВЕРХНОСТИ С Я ВЕЛИЧИНЫ И ЗНАКА ОТКЛОНЕНИЯВЕРХНОСТИ ОТ ПЛОСКОЙ ПРОБНОЙРИМЕНЕНИЕМ ИНТЕРФЕРОМЕТРА му устройству и с дят о величиИзобретение относится к области измерительной техники и может быть применено, и частности, для измерения неровности или прогиба полупроводниковых пластин и многослойных структур, 5Известен способ определения величины и знака отклонения контролируемой поверхности от плоской пробной поверхности с применением интерферометра.Величину отклонения по этому способу оп ределяют по расстоянию между интерференционными полосами, а знак - по направлению перемещения интерференционных полос.Известный способ имеет ограниченный предел измерения величины отклонения контроли руемой поверхности от плоскости, поскольку зависит от длины волны света, создающего интерференционную картину.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что с целью расширения пределов 20 измерения величины отклонения, наводят объектив на плоскую пробную поверхность, совмещают визирную линию окуляра с фиксированной полосой интерференционной картинынаблюдаемой в окуляр, и снимают отсчет 25 по отсчетному устройству, затем убирают пробную поверхность и вместо нее устанавливают контролируемую поверхность, совмещают визирную линию окуляра с той же фиксиро. ванной полосой путем перемещения объектива, З 0 снимают отсчет по отсчетнопо разности снятых отсчетове и знаке отклонения.В качестве примера осуществления способа можно привести определение величины и знака стрелы прогиба полупроводниковых пластин. В лаоораторных условиях измерение вели. чшы и знака прогиба полупроводниковых пластин можно произвести с помощью микроинтерферометра ЧИИ.В качестве пробной поверхности можно использовать оптическое стекло с тщательно полированной поверхностью, хотя может быть применен любой предмет из любого материала с достато шо отполированной рабочей поверхностью. Пробное стекло помещают перед объ. ективом интерферометра и в окуляр наблюдают интерференционную картину.Визирную линшо окуляра наводят на одну из полос интерференционной картины, например самую темную, и при этом берут отсчет по делениям, нанесенным на головку винта перемещающего объектив.Затем убирают пробное стекло, на предметный столик помещают полупроводниковую пласпшу, наводят объектив на контролируемую поверхность до получения четкой интерференционной картины, одновременно с этим визирную линшо окуляра совмещают с той жеКорректоры: Н. Ф, Коваленкои Т А Бабакина Заказ 333619 Изд.1408 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Коъи 1 тета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская иаб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 фиксированной интерференционной полосой, Перемещают пластину в плоскости, перпендикулярной оси объектива, берут отсчет по делениям на головке винта перемещения объектива в ряде точек, приблизительно в центре пластины, и по наибольшему (или наименьшему) от"чету (в зависимости от того, обращена пластина выпуклостью или вогнутостью к объективу) находят точку, в которой имеет место стрела прогиба. По направлению взятого наиоольшего (пли наименьшего) отсчета относительно отсчетавзятого при наведении объектива на пробную поверхность, судят о знаке прогиба,Поскольку измерение величины отклонения от плоской поверхности по предлагаемому способу нс связано с отсчетом полос интерференционной картины, которая служит в данном случае лишь для наведения на одну фиксированную полосу, наблюдаемую на ней, то предел измеряемых величин отклонения не зависит от длины волны видимого света и ограничен лишь ходом винта перемещения объектива, Точность же измерения по предлагаемому способу ограничена ценой деления на головке винта обьектива. Таким образом, предлагаемый способ проств осуществлении, имеет высокую точность и может быть применен для измерения величины и знака отклонения от плоской поверхпо сти любых поверхностей. Предмет изобретенияСпособ определения величины и знака отклонения контролируемой поверхности от 10 плоской пробной поверхности с применениеминтерферометра, содержащего объектив, окуляр и отсчетное устройство, связанное с объективом, отличающийся тем, что, с целью расширения пределов измерения величины откло пения, наводят обьектив на плоскую пробнуюповерхность, совмеш,ают визирную линию окуляра с фиксированной полосой интерферен.ционной картины, наблюдаемой в окуляр, ч снимают отсчет по отсчетному устройству, за тем убирают пробную поверхность и вместонее устанавливают контролируемую поверх.ность, совмещают визирную лини 1 о окуляра с той же фиксированной полосой путем перемещения объектива, снимают отсчет по отсчет ному устройству и по разности снятых отсчетов судят о величине и знаке отклонения.