Устройство для зондового исследования пучков заряженных частиц

О ПИЗОБРЕТЕНИЯ 307345 Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства1969 ( 1316264/26-25 1 ПК б 01 г 1 аявлено исоединением заявкиоритет Комитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССРпубликовано 21.с 1.1971. Бюллетсиь20 УДК 621.384.6(088,8 та опубликоваиия оиисассия 7.Х.19 Авторы зобретения. Герасименко, В. Б. Фролов, В. В. Жаров и С. В. Андрее витель СТРОЙСТВО ДЛЯ ЗОНДОВОГО ИССЛЕДОВАНИ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦжной ролик 1 правляющие опоры 11, натяизолирующую вставку 13,Проволочный зонд 2 намобарабан 3 и на одном из в5 через направляющие опорылик 12. Все перечисленные эчески изолированы от другства и соединены с приборозондового тока. Барабан ж10 к валу 4, установленномуопорах каретки 9, и связанчей с электроприводом. Внутлена гайка, которой барабавинтом 5, Направляющие ва15 перемещается каретка, и винны со станиной 7. ехнике зондового ых частиц и моазработке электпараметров пучгических целях. тся определение апример, в конпучках, а также ширение области омощью электроонда, перемещаезоне измерений. сится к т заряженн ние при рконтроле техноло ия являе и тока, н ктронных и и рас етров с п очного з его оси в Это дос зонд, имеющий большую барабан в один ряд и пер из витков черезсистему о х его в зону измерений.При вращении барабана зонд перемещается между направляющими опорами в направлении своей оси, благодаря чему выделяющееся в нем при бомбардировке электронами тепло непрерывно уносится. В пучок вводятся все время новые, не нагретые участки зонда.На чертеже показано предлагаемое устройство.Оно включает электронный пучок 1, зонд 2,барабан 3, вал 4, винт 5, направляющие валы б, станину 7, электродвигатель 8, каретку 9, обрабатываемый материал 10 (экран), натигается тем, что длину, намотан на еброшен на одном пор, направляющи При вращении бараоана зонд передвигается между направляющими опорами, где рас 20 положена зона измерений, Пройдя эту зону,зонд снова наматывается на тот же барабан,иеремещающиися при своем вращении по винту относительно направляющих опор. Этообеспечивает равномерную намотку зонда,25 стабильность его движения в зоне исследований и увеличение точности измерения пучка.С той же целью зонд натянут при помощиподпружиненьсого ролика 12, а направляющиеопоры выполнены в виде роликов с клиновид 30 ными канавками,Изобретение отно измерения пучков жет найти примене ронных приборов и ков, используемых вЦелью изобретен пульсаций плотност центрированных эле повышение точност измерения их парам проводящего провол мого в направлении тан в один ряд на итков переброшен 11 и натяжной ролементы электриих частей устройм для измерения естко прикреплен в подшипниковых зубчатой передари вала 4 закрепи соединяется с лы б, по которым т 5 жестко связа.307345 оставитсль Е, Шульгин Тскред Л, Л. Евдонов Редактор 11. рректор А, П. Васильев орченк аказ 23391НИИПИ 1(омит Изд. М 981 Тираж 473о делам изобретений и открытий при Совете Ь Москва, Ж, Раушская наб., д. 4,5 Подписноенистров СССР шография, пр. Сапунова, 2 Чтобы пресечь зондом электронный пучок в заданном сечении, предлагаемое устройство устанавливают на движущийся стол электронно-лучевой машины, обеспечивающей перемещение зонда в плоскости исследования перпендикулярно его оси в зоне измерений, либо перемещают пучок относительно зонда посредством отклоняющей системы. При определении пульсации плотности тока в пучке движение зонда в этом направлении временно прекращают для проведения необходимых измерений.При исследовании пучок направляют на образец 10 из обрабатываемого материала, установленный на заданном режимом (или конструкцией разрабатываемого прибора) расстоянии от электронно-лучевой трубки. При этом создается соответствие условий измерения услови ям процесса, реально осуществляемого при помощи электронного пучка,В образце, отделенном от элементов зондовой цепи изолирующей вставкой 13, для экра нировки устройства от воздействия вторичныхэлектронов выполнен паз, в котором перемещается исследуемый пучок. Предмет изобретения10: Устройство для зондового исследованияпучков заряженных частиц, состоящее из электропроводящего проволочного зонда и системы его перемещения, от,гичающееся тем, что, с целью увеличения точности и диапазо на измерений и обеспечения их непрерывно.сти, зонд выполнен в виде проволоки, намотанной на барабан в один ряд, и переброшен на одном из витков через систему опор.