299044
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 299044
Авторы: Данилина, Иванова, Электронной
Текст
ОЛ ИС ИЗОБРЕ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ С т. свидетел исимое от Заявлено 17 Х.1969 ( 1 с присоединением заявкПриоритет -Комитет по делам забретений и открытийнистро зетеССС Опубликовано 16 111.1971, Б Дата опубликования описа Авторы зобретения Т, И. Данилина и Томский институт радиоэлектроники и электронной техни вит ПЛЕ АПЫЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕ УСТРОЙ СТВО дмет изооретени я напыления диэлектричеержащее газоразрядную каю анодом, холодными като- системой и держателем подееся тем, что, с целью улучнапыляемых пленок, анодформу, а держатель,подиз диэлектрика и размещен бласти газового разряда. Устроиство длских пленок, содмеру, снабженнуб дами, магнитнойложки, отличаюш,щения качестваимеет П-образнуюложки выполненпод анодом вне о Изобретение относится к области радиотехники, в частности к конструктивному выполнению устройства для напыления диэлектрических пленок, используемых при изготовлении микросхем.Известны устройства для напыления диэлектричесиих пленок, содержащие газоразрядную камеру, снабженную анодом, холодными катодами, магнитной системой, создающей магнитное поле, направленное перпендикулярно электрическому полю и держатель подложки, на которую напыляется диэлектрическая пленка.Однако устройства не обеспечивают получения сильно окисленных однородных пленок с высокими диэлектрическими параметрами из-за электронно-ионной бомбардировки пленок при напылении.С целью получения высококачественных аленок в предлагаемом устройстве используют анод П-образной формы, а подложку размещают под анодом вне области газового разряда.На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.Газоразрядная камера 1 содержит П-образный анод 2 и магнитную систему, полюсные наконечники 3 и 4 которой снабжены,насадками 5 и б из распыляемых материалов и выполняют роль катодов, Охлаждение анодов и катодов производится при помощи не показанной на чертеже системы водяного охлаждения, подключенной к патруокам 7.Под анодом вне области газового разрядаразмещена подложка 8 на держателе 9, выполненном из диэлектрического материала.Для подачи газа в камеру служит патрубок 10. Нагрев подложки до напыления осуществляется нагревателем 11, Для защиты подложки от напыления при очистке катодов разрядом служит подвижная заслонка 12. Расстояние от анода до подложки может регулироваться. С увеличением этого расстояния увеличивается однородность пленок по толб щине, но уменьшается скорость напыления,которая дополнительно регулируется величиной разрядного тока, напряженностью магнитного поля и давлением газа в камере.299044 Составитель Ю. КозловРедактор Т, И, Морозова Техред Л. Л. Евдонов Корректор А, П. Васильева Тип, Харьк. фил, пред. Патент Заказ 13 П 493 Изд. Хв 345 Тирак 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Рачыская наб д. 4.,5
СмотретьЗаявка
1330277
Т, Данилина, Е. В. Иванова Томский институт радиоэлектроники, электронной техники
МПК / Метки
МПК: H05K 7/00
Метки: 299044
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-299044-299044.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">299044</a>
Предыдущий патент: Способ получения герметизированных соединений
Следующий патент: Устройство для контроля радиоэлементов
Случайный патент: Маслоотделитель для компрессионных холодильных установок